_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 24(3)

24(3) Схема электронно-лучевой установки

В основе электронолитографии лежит непосредственная генерация, или проекционный перенос изображения с помощью электронного луча.

Схема электронно-лучевой установки представлена на рис.6.14, где ис­точником электронного излучения является термокатод. Система линз по­зволяет сфокусировать луч, а системы отклонения луча и перемещения сто­лика, на котором располагают подложку, дает возможность сканировать спонсированным лучом по поверхности подложки. Существует несколько способов сканирования луча по поверхности: растровое, векторное и комбинированное (рис.6.15). При растровом сканировании (рис.6.15,а) луч проходит по всей обрабатываемой поверх­ности, экспонируя лишь заданные участки. При векторном сканировании (рис.6.15,б) луч перемещается в заданное местораспо­ложение будущего элемента и экспонирует этот участок, перемещаясь затем к месту расположения следующего. Последний способ более выгоден, если формируется небольшое число элементов, или невелика площадь необходимой засветки.

Способы сканирования электронного луча

а-растровый б) векторный

Схема установки для электронолитографии.

1 - термокатод

2,3 - система диафрагм

4,6 - магнитные линзы

5 - система отклонения луча

7 - подложка

8 - столик-держатель