_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 25(3)

25(3) Ионолитография

В основе электронолитографии лежит непосредственная генерация, или проекционный перенос изображения с помощью электронного луча.

Преодолеть самый большой недостаток электронолитографии, а именно эффект близости, возможно при использовании в качестве актиничного излучения не электронного пучка, а ионного. При этом большая масса ионов приводит также к уменьшению рассеяния, а более высокая эффективность поглощения ионов позволяет повысить производительность процесса.

Наряду с высоким разрешением (0.1-0ю2 мкм) процессы ионолитографии открывают возможность осуществления не только литографии, т.е процесса переноса изображения, но и непосредственного проведения процессов фотолитографии