_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 22(3)

22(3) Способы сканирования

В основе электронолитографии лежит непосредственная генерация, или проекционный перенос изображения с помощью электронного луча.

Существует несколько способов сканирования луча по поверхности: растровое, векторное и комбинированное (рис.6.15). При растровом сканировании (рис.6.15,а) луч проходит по всей обрабатываемой поверх­ности, экспонируя лишь заданные участки. При векторном сканировании (рис.6.15,б) луч перемещается в заданное местораспо­ложение будущего элемента и экспонирует этот участок, перемещаясь затем к месту расположения следующего. Последний способ более выгоден, если формируется небольшое число элементов, или невелика площадь необходимой засветки.

Способы сканирования электронного луча

а-растровый б) векторный