Литература / Шишкин Г. Г. , Шишкин А. Г. Электроника 2009 (1)
.pdf80 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
нарно-эпитаксиальные плоскостные диоды на основе арсенида
галлия. Для них при диаметре контакта порядка 1 мкм постоян
ная времени удовлетворяет неравенству Cr6 < 10-12 с, что обеспе
чивает работоспособность диода на частотах вплоть до 100 ГГц.
Для обеспечения малых значений паразитных емкостей и
индуктивностей выводов корпуса СВЧ-диодов часто выполня ются в виде элементов фидерных линий; так, например, при ис пользовании коаксиальных линий выводы диодов имеют коак
сиальную конструкцию, легко интегрируемую с СВЧ-линией; в
волноводных линиях диод с контактами монтируют непосред
ственно в отрезке волновода. Бескорпусные диоды используют в
микрополосковых линиях.
Специфика применения диодов в различных устройствах СВЧ отражается набором характерных электрических парамет ров. Основными специфическими параметрами детекторных ди одов являются: рабочая длина волны Л, чувствительность по току
/Зт = IвпlРnд (Jвп - выпрямленный ток, Рпд - мощность СВЧ-сиг
нала), а также коэффициент стоячей волны (КСВ). Параметр /Зт из
меряется в режиме короткого замыкания цепи выпрямленного
тока и составляет /Зт ~ 1 А/Вт при Л = 3 ... 10 см и Рnд = 0,1 мВт.
Важнейшими характеристиками смесительных диодов явля
ются рабочая длина волны, потерн преобразования, относительная
шумовая температура, выпрямленный ток (при заданной мощности СВЧ-сигнала), КСВ и ряд других параметров.
Потери преобразования (в дБ) определяются величиной
Lnp (дБ) = 10 lg (РвхlРп. ч), где Рвх и Рп. ч - соответственно мощ ности входного И выходного СВЧ-сигналов на промежуточной
частоте. Для снижения потерь в смесительных, так же как и в детекторных, диодах, надо уменьшать прямое напряжение, об ратный ток, емкость, сопротивление базы и увеличивать нели
нейность ВАХ. Типичные значения потерь преобразования со ставляют Lnp ~ 5 ... 10 дБ. Относительная Шумовая температура tш = Ршf(kT Лf), где Рur - мощность шумов в диоде, Лf - поло
са пропускания. Параметр tш важен для приемных устройств. Типичные значения tш лежат в пределах 2 ... 3 при Т = 293 К.
Одними из самых распространенных видов СВЧ-диодов яв
ляются переключающие диоды~ которые предназначены для ком
мутации сигналов в различных СВЧ-устройствах. Эти диоды включаются в СВЧ-тракт через управляющее устройство, кото
рое задает постоянную составляющую напряжения или тока че-
Глава 3. Полупроводниковые диоды |
81 |
рез диод. В зависимости от управляющего .сигнала диод мо
жет находиться или в открытом состоянии, закорачивая тем са
мым СВЧ-линию, или в закрытом. В первом случае СВЧ-тракт закрыт и коэффициент отражения близок по модулю к единице,
а во втором- СВЧ-линия открыта и коэффициент отражения близок к нулю.
Переключающий диод имеет очень малую барьерную емкость
Сбар = Свыв и при прямом смещении малое суммарное сопротив
ление, состоящее из сопротивления перехода (rдиф) и сопротивле ния базы и контактов (r6 ). Обратное напряжение, прямой ток и рассеиваемая мощность должны быть достаточно большими. Чем больше допустимая рассеиваемая мощность, тем больше и максимальная мощность коммутируемого СВЧ-сигнала.
Для уменьшения сбар необходимо уменьшать площадь пере хода, а для увеличения прямого тока, наоборот, площадь пере хода делается большей. Из-за противоречивости этих требова ний использование р-п-переходов и переходов металл - полу
проводник не позволяет достичь наилучших параметров при
переключении. Поэтому в качестве переключающих диодов ис
пользуются р-i-п-структуры, в которых между сильно леги
рованными областями п+- и р+-типа располагается i-слой с ма лой проводимостью, близкой к собственной. Из-за малой прово
димости i-слоя даже при нулевом напряжении он практически
полностью обеднен носителями зар.~ща. В то же время из-за вы
сокой степени легирования п+- и р+-областей обедненный слой в
них имеет очень малую протяженность. Как результат, толщи
на обедненного ело.я 106 приблизительно равна ширине i-слоя (единицы - десятки мкм) и барьерная емкость практически не зависит от напряжения. Следовательно, в р-i-п-диодах мож
но получить малые, практически не меняющиеся от напряже
ния емкости диода (десятые доли пФ) при достаточно больших напряжениях пробоя (до 1000 В) и площадях перехода, которые обеспечивают большой допустимый прямой ток (до сотен мА).
При подаче прямого смещения за счет инжекции носителей
из п+- ·и р+-областей i-слой запо.ri:няется электронами и дырка
ми, которые при больших прямых токах образуют квазинейт
ральную электронно-дырочную плазму. Из-за большой концент рации носителей сопротивление i-слоя очень мало (менее О, 1 Ом).
Для его уменьшения необходимо увеличивать время жизни но сителей в i-слое. Скорость накопления и рассасывания носите-
82 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
лей зависит от скорости процесса рекомбинации и дрейфовой скорости носителей. Эти процессы определяют один из основ
ных параметров переключательных диодов - время перенлюче
ння. Теоретически предельное время переключения есть вели чина порядка времени пролета через i-слой носителей заря да, движущихся с предельной дрейфовой скоростью, т. е. скоро
стью насыщения.
Основные специфические параметры переключающих ди одов как приборов СВЧ:
-потерн пропускания в открытом состоянии тракта (десятые доли дБ);
-потерн запнрання в закрытом состоянии (десятки дБ);
-время прямого восстановления при подаче на диоды функ-
ции включения (от нескольких нс до нескольких мкс);
-время обратного восстановления при подаче обратного на
пряжения (от нескольких нс до нескольких мкс).
Указанные параметры определяют времена переключения СВЧ-тракта с диодом из открытого в закрытое состояние или наоборот, в течение которых потери достигают заданных значе ний.
Характерные предельно допустимые параметры: переключае мая в непрерывном режиме СВЧ-мощность (до единиц Вт), импульс ная СВЧ-мощность (до 1 кВт) и рассеиваемая мощность.
З.З. Импульсные диоды
Этот тип диодов используется в ключевых и цифровых схемах, а также в устройствах преобразования и формирования импульс ных сигналов. Импульсные диоды должны иметь малую длитель ность переходных процессов, чтобы обеспечить импульсный ре жим работы. Современные импульсные диоды позволяют рабо
тать с сигналами длительностью до наносекундного диапазона.
Основные параметры, определяющие инерционность диодов, -
это барьерная емкость и скорость рассасывания накопленного
в базе заряда носителей (см. п. 2.5):
Для уменьшения значений указанных параметров в им
пульсных диодах делают малую площадь электрического пере
хода и снижают время жизни неравновесных носителей заряда в базе за счет дополнительного легирования ее атомами золо
та, которые создают в запрещенной зоне кремния уровни лову шек. Основными исходными материалами для изготовления
Глава 3. Полупроводниковые диоды |
83 |
импульсных диодов являются кремний и арсенид галлия. Поми" -
мо р-п-перехода, в импульсных диодах используется контакт
металл - полупроводник. В соответствии с используемой техно логией импульсные диоды бывают точечные, сплавные, микро
сплавные, диффузионные, мезадиффузионные и эпитаксиально- ·
планарные.
Основным импульсным параметром является время восста
новления обратного сопротивления - tвос• определяемое как вре
менной интервал от момента подачи обратного напряжения до
момента, когда обратный ток диода уменьшается до заданного
значения. Для сверхбыстродействующих диодов tвос < 0,1 мкс, а для быстродействующих - О,1 :;;;:; tвос:;;;:; 10 мкс.
Помимо tвос' другим импульсным параметром является
tуст - время установления прямоr:о сопротивления диода, которое
определяет интервал времени от начала импульса прямого тока
до момента уменьшения напряжения на диоде до 1, 2 установив
шегося значения.
К специфическим импульсным параметрам относятся также
следующие: rимп - максимальное импульсное сопротивление, пред
ставляющее отношение максимальной амплитуды импульса пря
мого напряжения на диоде к току через него; !вое.макс - макси
мальный ток восстановления, определяемый наибольшим обратным
током ~осле переключения напряжения на диоде с прямого на об
ратное; Сд - емкость диода при заданном обратном напряжении; Qпк - заряд переключения, переносимый обратным током после
переключения диода с прямого на обратное напряжение при со ответствующих значениях прямого и обратного напряжений;
Ипр. и. макс - максимальное падение напряжения на диоде в прямом
направлении при заданной силе импульсного прямого тока. Наименьшее врем-я переключения имеют диоды Шоттки, в ко
торых практически отсутствует эффект накопления неосновных
носителей заряда.
К импульсным диодам отнасятся также диоды с накоплением
заряда (ДНЗ).
Импульсные ДН3 конструируются таким образом, чтобы
они запасали заряд во время протекания прямого тока, а после
переключения пропускали ток в обратном направлении за ко роткое время. Таким образом, эти диоды отличаются тем, что в них при переключении с прямого напряжения на обратное дли тельность стадии восстановления обратного сопротивления ма-
84 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
ла по сравнению с длительностью стадии высокой обратной про
водимости, в результате чего формируется почти прямоуголь
ный импульс обратного тока. Для реализации таких процессов
толщина базы должна быть намного меньше диффузионной
длины, а на границе, п-базы с п+-подложкой формируется тор мозящее электрическое поле п-п+-перехода, не пропускающее неосновные носители (в данном случае дырки) в подложку. Но сители накапливаются вблизи р-п-перехода (с другой стороны
базы) и рассасываются за э.ФФе:ктивное время жизни ('t8Ф) неос
новных носителей в базе, :которое в диодах с накоплением заря
да составляет десятки-сотни наносекунд. Диффузионная длина
LP не превышает 10 м:км при толщине базы порядка 1 м:км. Диоды с накоплением заряда используются в генераторах на
носекундных импульсов, в умножителях и делителях частоты,
а также других быстродействующих схемах.
3.4. Стабилитроны
Стабилитрон - это полупроводниковый диод, предназначен ный для стабилизации напряжения в электронных схемах. Ста билитроны применяются во вторичных источниках питания, ог раничителях, источниках опорного напряжения и т. д. Простей шая схема стабилизации напряжения приведена на рис. 3.3, а.
В основе работы стабилитронов, за исключением одног.о ти
па - стабисторов, лежит лавинный или туннельный пробой в р-п-переходе, т. е. стабилитроны работают при обратном сме
щении. Лавинный механизм пробоя р~ализуется при относи
тельно малом уровне легирования примесями базы диода. На-
Rогр
+
г |
RH |
|
А |
Jcтt |
tJH ин |
|
|
VD |
С' |
||
|
|
|
с |
|
|
|
С" |
|
|
|
в |
|
а) |
|
б) |
|
|
|
Рис. 3.3 |
~
~
I
и
[ст мин
Jcт'<J~
[ст макс
Глава 3. Полупроводниковые диоды |
85 |
пр.яжение стабилизации при лавинном пробое, как правило, превышает 6 В. При большой концентрации примесей возниRа ет туннельный пробой, напряжение стабилизации при Rотором менее 6,3 В. Как следует из БАХ (рис. 3.3, б), напряжение на участке пробоя слабо зависит от протекающего через прибор то
Rа. Это напряжение пра:ктичесRи равно напряжению стабилизации
Ист· Минимальный ток стабилизации !ст.мин соответствует началу
пробоя, т. е. началу вертиRального участка БАХ (точRа А на рис. 3.3, б), где дифференциальное сопротивление rдиФ резко уменьшается и стано:вится малым. Максимальный ток стабилиза
ции Iст. макс (точRа В на рис. 3.3, б) регламентируете.я допустимой
мощностью рассеивания. Напряжение стабилизации Ист опреде
ляете.я при заданном значении тока стабилизации Jст (точка С на рис. 3.3, б) на рабочем участRе АВ стабилитрона.
Рассмотрим работу простейшей схемы стабилизации напря жения (см. рис. 3.3, а), Rогда напряжение на резисторе нагрузки
Rн равно Ин= Ист· Ток через ограничивающий резистор Rогр равен
I = (Е - ист)/Rогр' при этом ток через стабилитрон JCT = I - !;,_,
а TOR нагрузки JH = истfRн (точRа с на рис. 3.3', б). Предполо
жим, что напряжение на входе схемы изменилось на величину
ЛИ". В рабочей точRе С дифференциальное сопротивление ди
ода rдиФ много меньше общего сопротивления схемы, поэтому
тоR через стабилитрон при увеличении входного напряжения
на ЛИ" возрастет на величину ЛJ" = ЛИ"/Rогр и примет значе
ние, соответствующее точке С". Возрастание тоRа через стаби литрон приведет к увеличению общего тока I, протеRающего че
рез резистор Rогр• таRже на величину ЛJ", что приведет к воз
растанию падения напряжения на резисторе Rогр· В результате напряжение на нагрузRе практически не изменяется. Подобные
процессы будут протеRать и при изменении напряжения на
-ЛИ'. В этом случае рабочая точка переместится в положение
С', а тоR у м е н ь ш и т с я на величину ЛJ'. Для получения хо
рошей стабилизации дифференциальное сопротивление стаби
литрона должно быть как можно меньше по сравнению с Rогр и
Rн. Аналогичные процессы будут происходить при изменении
значения сопротивления нагрузки. Это также будет приводить
к изменению общего тока в схеме и, следовательно, к измене
нию падения напряжения на Rогр' что восстановит первоначаль ное падение напряжения Ист на Rн.
86 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
|
|
|
Поскольку напряжение пробоя |
|
|
зависит от температуры, то темпе |
0,10 |
|
ратурный коэффициент напряжения |
|
стабилизации аст = (1/Ист)(dИст/dТ) |
|
0,05 |
|
|
|
при I ст = const является одним из |
|
|
|
|
о о---~----~--~--;- |
||
|
15 |
и, в важных параметров стабилитро- |
-о,05 |
|
на. Температурный коэффициент |
|
напряжения стабилизации у при |
Рис. 3.4 |
боров с лавинным пробоем являет- |
|
|
|
ся положительным, а с туннель |
ным - отрицательным. На рис. 3.4 приведена кривая, из кото рой можно оценить разброс значений а.ст для различных типов стабилитронов.
Для кремниевых высоковольтных стабилитронов с лавин
ным пробоем значение коэффициента аст может быть значи
тельно уменьшено при последовательном их соединении с од
ним или двумя р-п-переходами, смещенными в прямом на
правлении. Поскольку прямое напряжение уменьшается при
повышении температуры, то за счет этого происходит компенса
ция увеличения напряжения пробоя основного р-п-перехода. Такие стабилитроны с термокомпенсацией называются прецизи онными. Они обычно примеnяются в качестве источников опор ного напряжения. Помимо стабилитронов общего назначения и
прецизионных, в радиоэлектронных схемах нашли применение
импульсные идвуханодные стабилитроны, а также стабисторы.
Импульсные стабилитроны используются как для стабили
зации напряжения, так и в качестве ограничителей амплитуды
импульсного напряжения или смещения уровня постоянного
напряжения на величину Ист· Импульсные стабилитроны явля
ются быстродействующими приборами, поскольку их время пе
реключения определяется только перезарядкой барьерной ем
кости из-за того, что при пробое нет накопления неосновных но
сителей в базе. Время нарастания тока лавины или туннельного прохождения электронов через потенциальный барьер пренеб
режимо мало(< 10 пс).
Двуханодные стабилитроны изготавливаются на основе двух
встречно включенных р-п-переходов. Внешние выводы осу- 1
ществляются от областей р-типа, которые являются анодами. 1
:'1i
При подаче напряжения любой полярности один из стабилитро-
нов смещен в прямом, а другой в обратном направлении. По
следний работает в режиме пробоя, а первый, прямосмещен-
Глава 3. Полупроводниковые диоды |
87 |
ный, переход осуществляет термокомпенсацию подобно преци зионному стабилитрону. Двуханодные стабилитроны, помимо
стабилизации напряжения, применяют в схемах двухсторонне
го ограничения напряжения, в системах защиты цепей от пере напряжения любой полярности.
Стабилитрон, в котором для поддержания постоянства на
пряжения используют прямую ветвь БАХ, называют стабисто ром. Эти приборы имеют значительно меньшее напряжение ста
билизации (< 1 В) по сравнению с лавинными и туннельными стабилитронами, поскольку работают при пр:Ямом смещении. Для увеличения напряжения стабилизации используют после
довательное включение нескольких отдельных стабисторов или
изготовление такого соединения внутри корпуса одного прибо
ра, чтобы уменьшить rдиФ и сопротивления базы r 6 в стабисторах
применяют высоколегированный кремний. Напряжение стаби
лизации в этом случае составляет величину порядка О,7 В, что
соответствует уЧ:астку относительно больших прямых токов для
одиночного р-п-перехода. Параметр аст отрицателен и ПО по
рядку величины лежит в пределах 0,1 ... 0,4% /0 С. Стабисторы иногда используют вместе с другими типами стабилитронов в
качестве термокомпенсаторов.
3.5. Варикапы
Варикапы - это полупроводниковые диоды, использующие
при своей работе зависимость барьерной емкостир-п-перехода
от обратного напряжения. Эта зависимость называется вольт-фа
радной характеристикой (ВФХ).
Варикапы применяются в схемах электронной перестройки
частоты колебательного контура, в усилительных параметриче
ских схемах, в делителях и умножителях частоты, в управляе
мых фазовращателях и других устройствах.
Основными исходными материалами для изготовления вари капов являются кремний и арсенид галлия. Варикапы создают
ся на основе эпитаксиально-планарных структур, сплавных и
диффузионных технологий. Эпитаксиально-планарные варика
пы имеют оптимальные параметры.
Важнейшей характеристикой варикапа явл~ется ВФХ, т. е.
зависимость Свар = f(U), или Сбар = f(U06P) (см. гл. 2, рис. 2.8).
В качестве важного параметра выступает коэффициент Кс, ха-
88 Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
рактеризующий относительное изме
нение емкости и определяющий кру- .'
тизнуВФХ:
Кс = (dСбар/dИобр)/Сбар•
Величина Кс определяет относи
тельное изменение резонансной час
Рис. 3.5
тоты ffio колебательного контура (Ск -
емкость, Lк - индуктивность, рис. 3.5) при совместной работе
с варикапом:
На схеме, представленной на рис. 3.5, С» Сбар и управляю щее напряжение И подается на варикап VD, через высокоомный резистор R, уменьшающий шунтирование варикапа и колеба
тельного контура малым сопротивлением источника питания.
При варьировании обратного напряжения происходит измене
ние емкости варикапа, что приводит к смещению резонансной частоты колебательного контура.
К основным специфическим электрическим параметрам ва
рикапа относятся: емкость при номинальном, максимальном и ми
нимальном напряжениях, которая измеряется на заданной часто те; коэффициент перекрытия по емкости; добротность; частотный диа
пазон; температурные коэффициенты емкости ТКСв = dC8 /(C8 dT) и добротности ТКQв = dQ8/(Qв dT).
Электрическую модель варикапа можно получить, исполь
зуя общую модель диода (см. рис. 2.10), в которой необходимо исключить элементы VD и СдиФ и добавить индуктивности вво
дов L 8 , емкость корпуса Скорп• сопротивление rдиФ' заменив r 6 на rпот = r6 + rк, где rк - сопрот:Ивление контактов. Для нормаль-
. ной работы емкость выводов варикапа должна. быть заметно меньше барьерной емкости.
Эквивалентная схема варикапа показана на рис. 3.6, а. При
работе на низких частотах в эквивалентной схеме можно иск лючить LB, скорп• пренебречь сопротивлением базы rб, в основ
ном определяющим величину r пот• которая мала по сравнению с
емкостным сопротивлением Хе= 1/(ФС6ар); эквивалентная. схе
ма (рис. 3.6, б) вырождается в параллельное соединение резис тора Rп и емкости Сбар (здесь Rп заменяет параллельное соедине-
|
Глава 3. Полупроводниковые диоды |
89 |
|
г----------, |
|
||
1 |
rдиф |
1 |
|
1 |
|
1 |
|
1 |
rпот |
1 |
|
1 |
[ |
|
|
6)
а) |
в) |
Рис. 3.6
ние rдиФ и R06P, показанные на рис. 3.6, а). Добротность Q вари
капа для низких частот вычисляется по формуле Qн. ч = wRпСбар·
С увеличением частоты (w = 2тtf) изменяется соотношение между реактивной и активной проводимостями и Qн. ч будет увеличи
ваться (рис. 3. 7, левая ветвь кривой). Для получения больших
значений rпер = rдиф• а следовательно, и высокой добротности Qн. ч
при Ry » rдиФ' целесообразно использовать полупроводники
с большой шириной запрещенной зоны (Si, GaAs).
На высокой частоте емкостное сопротивление Хе= l/(wC6ap)
становится малым и в эквивалентной схеме варикапа можно не
учитывать большое параллельно включенное активное сопро
тивление перехода. Однако сопротивление базы r 6 "" rпот может оказаться сравнимым с Хе, поэтому его исключать нельзя. В ре
зультате эквивалентная схема будет выглядеть согласно пока
занной на рис. 3.6, в.. Для такой последовательной схемы заме
щения добротность вычисляется в соответствии с выражением
Qв. ч = 1/(wrбСбар).
Как видно из этой формулы,
Qв. ч уменьшается с ростом часто
ты (см. рис. 3. 7). Физически это
означает, что уменьшается отно
шение реактивного сопротивле
ния варикапа к сопротивлению
потерь rпот"" rб.
Основное применение варика
пы находят на ВЧ и СВЧ, поэто му для определения их доброт-
Q
250
200
150
100
О 20 40 60 80 f, МГц
Рис. 3.7
