Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Литература / Шишкин Г. Г. , Шишкин А. Г. Электроника 2009 (1)

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
05.06.2026
Размер:
30.97 Mб
Скачать

50

Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ:: ПРИБОРЫ

напряжения лавинного пробоя. При высоких температурах окру­ жающей среды возможен пробой, сочетающий оба механизма.

В заключение подытожим основные причины, приводящие к

различию идеализированных и реальных ВАХр-п-перехода. При

обратном смещении основными физическими процессами, обус­

ловливающими указанные различия, являются: ток термогенера­

ции в обедненном слое, ток утечки и пробой перехода. При Прямом

напряжении в начальной части характеристики это ток рекомби­

нации-генерации, а при больших напряжениях - налич~е сопро­

тивления базы. Для ил.irюс'l'рации влияния указанных причин на рис. 2. 7 приведены реальные и идеализированные БАХ крем­

ниевого перехода, где по оси абсцисс отложено напряжение,

нормированное на тепловой потенциал, а по оси ординат - от­ носительная плотность тока (!0 ~ тепловой ток, соответствую- щий идеализированному р-п-переходу). На рис. 2. 7 участок «а»

соответствует преобладанию генерационно-рекомбинационного то­

ка, «б» - преобладанию диффузионного (инжекционного) тока,

участок «В» характеризуется высоким уровнем инжекции, «Z» -

влиянием последовательного сопротивления базы, участок «д» объясняется наличием тока термогенерации в обедненной области и обратного тока утечки, участок «е» - пробойр-п-перехода.

"

108

 

 

 

/

,,,.....-г

 

107

 

 

 

Пробой

 

 

 

 

 

1

/

 

 

6

 

 

J

 

 

~"' перехода

10

 

 

 

//f\

 

1

 

 

 

 

 

 

 

105

 

 

 

1

Реальная прямая

 

61

 

 

 

характеристика

104

 

 

 

/

Реальная обратная

 

il

 

 

 

)

 

 

 

/

д

 

103

 

 

 

 

 

 

 

 

-

 

v

 

 

характеристика

 

 

а~

 

'-"-

 

 

 

10

2

~" f-

 

 

 

 

Идеализированная

 

~·)/"

 

 

 

 

 

прямая характеристика

101

 

 

 

 

/

/~~:~~~я характеристика

/

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ированная

 

 

v

 

 

 

 

 

 

-

10-1

5

10

15

20

25

\\

 

о

30

 

Рис. 2.7

Глава 2. Контактные явления в полупроводниках

51

2.4. Электрическая модель р-n-перехода

Барьерная емкость. Как показано при рассмотрении физиче­

ских процессов в р-п-переходе (см. п. 2.1), по обе стороны от

металлургической границы возникают объемные заряды ионов

доноров (:концентрация Nд) и акцепторов (:концентрация Na).

Величины этих зарядов зависят от формы перехода, температу­ ры и ряда других факторов, приводящих к изменению толщи­ ны обедненного слоя, в частности, от приложенного напряже­

ния. Наличие зарядов противоположного знака в этой области приводит к появлению емкости, которая называется барьерной. Эта емкость оказывает влияние на работу р- п-перехода при об­ ратных напряжениях. Барьерная емкость р-п-перехода опре­

деляется выражением С6ар = dQ06 /dU, где dQ06 - дифференци­

альное приращение объемного заряда, вызванное достаточно малым изменением приложенного напряжения. (Q06 - объем­

ный заряд, сосредоточенный внутри р-п-перехода.) Таким об­

разом, влияние С6ар в электрических схемах проявляе~ся при

изменении во времени напряжения на переходе. В этом случае,

помимо тока, определяющего ВАХ, в р-п-переходе протекает

емкостный ток I(t) ~ dQ06 /dt = (dQ06 /dU)(dU/dt). В несиммет-

ричном р+-п-переходе со ступенчатым распределением приме­ си объемный заряд Q 06 = qSNдl0(U) определяется шириной обед­

ненного слоя l0 , которая зависит от приложенного напряжения

смещения r;.

 

 

 

 

Учитывая, что согласно (2.12) l 0(U) = J2ee0 (<p0 -

U)/(qN д),

получаем для барьерной емкости С6ар формулу

 

- ldQ 1

qNE0 E

SE0E

 

(2.26)

С=

об=S

2(<t>o - И)

= --

бар

dU

lo

 

Поскольку с ростом модуля \И\

 

 

при обратном включении толщи­

 

 

на обедненного слоя l0 возрастает,

 

 

емкость сбар уменьшается с уве­

 

 

личением обратного напряжения.

 

 

Зависимость емкости от прило­

 

 

женного

напряжения называет­

 

 

ся вольт-фарадной харакrернстикой

 

 

(ВФХ). На рис. 2.8 приведены ВФХ

-10 -8 -6 -4 -2

О 2 И/ч>т

для р+-п-перехода со ступенча-

Рис. 2.8

 

52

Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

тым (кривая 1) и линейным (кривая 2) распределениями приме­ сей, построенные в относительных (безразмерных) координа­ тах. Штриховая кривая соответствует некоторому другому воз­ можному распределению примесей в переходе.

Диффузионная емкость. При подаче прямого напряжения су­ ществуют две причины, обусловливающие емкость р-п-пере­ хода: изменение зарядов в обедненном слое и изменение кон­ центрации инжектированных носителей в нейтральных облас- , тях вблизи границы перехода в зависимости от приложенного

прямого напряжения.

В результате при подаче прямого напряжения полная ем­

кость равна.с= сбар + сди~' где сдиф - диффузионная емкость.

Емкость СдиФ связана с диффузией неосновных носителей, ин­

жектированных через переход при прямом смещении, и опреде­

ляете.я зарядом этих носителей, накопленных за пределами об­

ласти перехода.

В слуЧае несимметричного р+-п-перехода Сдиф определяется

зарядом дырок QP (QP » Qn), накопленным в базе. Интегрируя распределение (2.17) Лрп(х) (п. 2.2) для толстой базы W 6 » LP (LP - диффузионная длина для дырок), получим

(2.27)

где 'tэФ - эффективное время жизни неосновных носителей (ды­

рок в п-области), зависящее от скорости рекомбинации (в дан­

ном случае 'tэФ ;:::; 'tp).

Для тонкой базы (W6 « LP) и малого переменного сигнала на

низких частотах диффузионная емкость определяете.я следую­

щим выражением

(2.28)

При И» <!'т диффузионная емкость равна

{2.29)

где ток I приблизительно равен току инжекции, что для крем­ ниевого перехода справедливо при И> 0,4... 0,5 В. Диффузион-

Глава 2. Контактные явления в nолуnроводниках

53

ная емкость при И> 0,4...0,5 В

 

С,пФ

 

 

 

 

значительно превышает барьер­

 

 

 

ную, для И < 0,4 ...0,5 В, наобо­

 

20

 

рот, барьерная емкость больше

 

 

 

диффузионной (рис. 2.9).

 

 

 

Для диффузии неосновных

 

10

 

носителей через базу и установ­

 

 

 

 

 

ления заряда неосновных но­

 

 

 

сителей в общем случае необхо­

 

 

 

димо время порядка 'tэФ· На вы­

-0,8

-0,4 о 0,4

И/r.рт

соких частотах, когда ro:::::: 4/'tэФ'

 

 

 

Рис. 2.9

диффузионная емкость умень-

шается с ростом частоты, и при

ro » 4/'tэФ она стремится к нулю, поскольку в течение малого пе-

риода т = ro27t « 'tэф заряд не успевает изменяться синхронно с

напряжением и dQP/dU =О.

Эквивалентная схема р-n-перехода. Для многих практических применений при разработке электронных схем необходимо ана­ литическое описание полупроводниковых приборов, когда сами приборы заменяются электрическими моделями. Наиболее рас­ пространенным способом моделирования прибора является его

эквивалентная электронная схема, представляющая прибор в

виде соединения простейших элементов: резисторов, конденса­

торов, индуктивностей, идеализированных диодов и т. п. Пара­

метры указанных элементов и их взаимосвязь на постоянном и

переменном токе определяются различными соотношениями. То­

ки и напряжения на внешних выводах вычисляются из эквива­

лентной схемы методом теории цепей.

Наиболее общей является модель для

 

большого сигнала, которая пригодна для

 

токов и напряжений, изменяющихся в лю­

VD

 

бых пределах, т. е. когда связь между ними

 

нелинейна. На рис. 2.10 приведена эквива­

лентная схемар-п-перехода (диода), кото­ рая является одной из наиболее распрост­ раненных. На этом рисунке диод VD мо­

делирует идеализированный р-п-переход, r 6 - объемное сопротивление базы, R06P

учитывает ток термогенерации в р-п-пе-

Рис. 2.10

54

Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

реходе и ток утечки:. Поскольку в общем случае эти токи за­

висят от напряжения нелинейно, то R06P является функцией обратного напряжения и для ее задания необходима определен­

ная аппроксимация и дополнительные параметры. Для прак­

тических целей часто используют R06P в виде постоянного резис­

тора, что соответствует линейной аппроксимации обратной вет­

ви БАХ в заданном диапазоне изменения И06Р. Поскольку ре­ зистор R06P имеет большую величину, то при прямых смещени­

ях он практически не влияет на ток, и его можно не учитывать.

Описанная модель не учитывает эффект модуляции сопро­ тивления базы, ток рекомбинации, пробой, частотную зависи­

мость Сдиф и ряд других явлений. Для учета этих особенностей

реального р-п-перехода требуются более сложные модели.

2.5. Переходные процессы в р-n-переходе

При использовании диодов (р-п-переходов) в качестве пере­ ключателей и в различных импульсных схемах требуется, что­

бы время перехода от прямого смещения к обратному было по

возможности малым, т. е. временные интервалы переходных

процессов должны быть минимальными. Процессы установле­

ния напряжения или тока в р-п-переходе при воз.действии им­

пульсных сигналов называются переходными процессами.

ПереходнЬl:е процессы в р-п-переходе связаны в основном с

двумя явлениями:

1) накоплением неосновных носителей в базе р-п-перехода

при его прямом включении и их рассасыванием при снятии

или уменьшении напряжения;

2) перезарядкой барьерной емкости.

Движение неосновных носителей в базе носит преимущест­ венно диффузионный характер и в силу этого происходит доста­ точно медленно, поэтому накопление носителей в базе и их рас­

сасывание влияет на инерционные свойства р-п-переходов в

режиме переключения.

При больших плотностях тока через переход основную роль

играет накопление неосновных носителей, и· перезарядкой

барьерной емкости можно пренебречь.

Для малых плотностей тока импульсные процессы в перехо-· де определяются в основном перезарядкой барьерной емкости.

Глава 2. Контактные явления в полупроводниках

55

---

 

1

,,

 

 

R I(t)

р-п-nереход

 

 

 

г--------1

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

VD

CI

 

Иг1

 

 

 

1

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

:

U(t)

t2

t

 

 

1

1 tl

 

 

1

 

Иг2

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

1

1

 

 

 

L _________ J

1

 

 

 

 

 

 

1

а)

 

Рис. 2.11

Параметры внешней электриче­

ской цепи также могут существенно

изменить временн:Ы:е зависимости

напряжения и тока, характеризую­

щие импульсные процессы в пере­

ходе.

Рассмотрим сначала переходной

процесс включения р---'n-перехода

в простейшей схеме, представлен­

ной на рис. 2.11. Когда на вход схе­

мы подается импульс напряжения

положительной полярности Ип(t)

(рис. 2.12, а) в момент времени t1' то ток через переход при R » r 6 из­

менится скачком до величины I Г1 =

= (Ип - Ип)/R (рис. 2.12, б), где Ип -

падение напряжения на переходе. Ес­

ли Иг1(t) » Ип, то ток I в течение пе-

реходного процесса практически не

"

Iг1

 

 

t4

 

 

 

1 tl

t2

 

: Jобрмакс

 

1

 

 

1

б) 11

 

1

 

1

1

 

 

 

1

1

 

1

 

ли 1

 

1

 

ип

1

 

1

 

 

1

 

1

ип

1

 

в)

ипмакс

ип

изменится и будет равен Iп = Иг1/R.

1

В этом случае внешняя цепь (генера­

1

1

тор, сопротивление R) по отношению

.jт1Jт21"

 

к переходу является источником то­

 

ка. Форма прямого тока будет повто­

г)

рщ:ъ форму положительного импуль­

Рис. 2.12

 

са напряжения.

 

При малом прямом токе можно

 

пренебречь падением напряжения на сопротивлении базы, и на­ пряжение на переходе Ип плавно и монотонно увеличивается по мере заряда барьерной емкости (рис. 2.12, в).

56

Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

При малых токах диффузионная емкость заметно меньше барьерной и ею можно пренебречь в течение переходного про­

цесса.

При больших прямых токах и высоком уровне инжекции не­

обходимо учитывать падение напряжения на сопротивлении ба­ зы и модуляцию этого сопротивления. В этом случае в момент t 1 происходит скачок напряжения ()U1 = 1r6• По мере заряда

барьерной емкости увеличивается напряжение на р-п-перехо­ де и общее напряжение достигает значения Ипмакс = Ип + Iгir6 (рис. 2.12, г). Из-за большого тока Iг1 этот процесс происходит

за очень малое время, т. е. можно считать, что напряжение из­

меняется от О до Ип макс скачком. Влияние диффузионной емкос­

ти при быстрых изменениях напряжений и токов пренебрежи­

мо мало. "Уменьшение напряжения относительно Ипмащ:: со вре­

менем обусловлено постепенным уменьшением сопротивления базы (модуляция сопротивления базы) по мере накопления в ней инжектированных носителей. Процессы установления пря­

мого напряжения происходят за время порядка эффективного

времени жизни неосновных носителей в базе.

Рассмотрим теперь процессы, происходящие при переключе­

нии перехода, когда в момент времени t 2 напряжение генерато­

ра скачком изменяется с прямого на обратное. В результате это­

го происходит резкое изменение тока на величину ЛI = (ИГ1 +

+ 1Иг21)/R. При t 3 > t > t 2 черезр-п-переход протекает обратный

ток I06р.макс = Иг2/R (см. рис. 2.12, б), который много больше

теплового тока и тока термогенерации. Этот ток вызван движе­

нием избыточных неосновных носителей, накопленных в базе за

время существования положительного прямого напряжения на

переходе (за время протекания прямого тока t = t 2 - t 1). Скачку тока ЛI соответствует скачок напряжения ЛИ= Лlr6 (см. рис. 2.12, в). Весь переходной процесс при переключении напряже­ ния с прямого на обратное обычно разделяется на две стадии.

Первая стадия при t 3 > t > t 2 характеризуется высокой обрат­

ной проводимостью, обусловленной наличием в базе. у границы перехода избыточной концентрации неосновных носителей. Об­ ратный ток при Иг2 >> Ип постоянен и имеет большое значение. В рассматриваемом временном интервале происходит рассасы­

вание накопленных в базе неосновных носителей за счет их пе­ рехода в эмиттер и рекомбинации. Эти процессы иллюстриру-

Глава 2. Контактные явления в полупроводниках

57

ются рис. 2.13, где показано рас-

Pn(x)

 

пределение концентрации дыро:н

 

 

в базе в различные моменты вре-

 

 

мени, при этом полагается, что

 

 

толщина базы wб много больше

 

 

диффузионной длины LP. Кривая

 

 

распределения дыро:н в базе при

 

 

t < t 2 соответствует проте:нанию

 

 

постоянного прямого тока I г2, ог­

 

 

раниченного внешним сопротив­

о

х

 

лением R. В последующие момен-

Рис. 2.13

 

ты времени при t 2 < t < t3 из-за из-

 

 

менения тока градиент концентрации .дырок dpn/dx изменяет

знак на противоположный на границе перехода. В момент t 3 на

границе базы со стороны перехода (х =О) имеет Рп(О) = Рпо• где Рпо - исходная концентрация дырок (неосновных носителей) в

п-базе. В это время напряжец:ие на переходе становится равным нулю (см. рис. 2.12, в, г, момент t = t 3) и заканчивается первая стадия - стадия высокой обратной проводимости. За время t 3 - t2 из базы удаляется большая часть избыточного заряда. Длитель­ ность первой стадии Т1 прямо пропорциональна времени жизни

дырок в базе и зависит от соотношения прямого I г2 и обратного ·

I обр токов через переход. Время Т1 может быть вычислено по

формуле Т1 = 't6ln (1 + 1//06рмакс), т. е. Т1 определяется диф­

фузионной емкостью. Пр:И t > t 3 происходит восстановление об­

ратного сопротивления перехода, сопровождающееся уменьшени­

ем обратного тока. Ток в этой стадии процесса определяется не только переходом оставшихся избыточньiх неосновных носите­ лей из базы в эмиттер, но и перезарядкой барьерной емкости.

При большом обратном токе I обр (при малом внешнем сопротив­ лении R) емкость перезаряжается быстро, а при малом токе J 06P

переходной процесс более длителен и Т2 = RСбар при R » r 6 При­ нято считать, что стадия восстановления обратного напряже­ ния заканчивается при I обр = О, 11п, и ее продолжительность оп­

ределяется временем Т2 (см. рис. 2.12, б, в, г).

Таким образом, рассмотренные явления позволяют заклю­

чить, что длительности переходных процессов определяются зна­

чениями барьерных и диффузионных емкостейр-п-перехода.

58

Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

2.6. Контакты металл-полупроводник

Электрические переходы металл-полупроводник применя­

ются для создания диодов, транзисторов и омических. контак­

тов, при изготовлении внешних выводов полупроводниковых

приборов и интегральных схем.

При непосредственном контакте металла с полупроводником

высота возникающего потенциального барьера для электронов зависит от работы выхода металла и плотности поверхностных состояний.

Работой выхода называется разность энергий между уровнем

Ферми и уровнем свободного пространства (вакуума) Евак· Для

металла эта величина соответствует qq>m, а в полупроводнике

п-типа она равна q(X + Ип) (рис. 2.14, а, правый), где qx- раз­

ность энергий между энергией дна зоны проводимости Еп и уровнем вакуума Евак (электронное сродство), qUn - разность

энергий между уровнем дна зоны проводимости Еп и ур,0внем

Ферми ЕФ Разность работ выхода металла и п-полупроводни-

п

ка, равная q(Ч'т - Х - Ип), определяет контактную разность по-

тенциалов qq>~, т. е. qq>~ = q(q>m - Х - Ип>·

Оценим высоту барьера для рассматриваемого контакта. Зонные диаграммы равновесного контакта металла с р- и п-по­

лупроводниками приведены на рис. 2.14, а, где ЕФ; - уровень Ферми для собственного полупроводника. Рассмотрим сначала соединение металла с п-полупроводником, работа выхода элект­ ронов у которого меньше, чем у металла. В этом случае часть электронов переходит из полупроводника в металл. В результа­

те в полупроводнике появится обедненный слой, содержащий положительный заряд ионов доноров. Переход электронов бу­

дет происходить до тех пор, пока уровни Ферми в обоих мате­

риалах не сравняются (ЕФ = ЕФ ), т. е. уровень Ферми п-полу-

мп

проводника (ЕФ ) понизится относительно уровня Ферми в ме- n

талле ЕФ на величину qq>~, равную разности соответствующих

м

работ выхода. На такую же величину понизится уровень вакуума Евак (см. рис. 2.14, а, правый). В результате энергия, соот­

ветствующая высоте потенциального барьера qq>n (рис. 2.14, а),

преодолеваемого электронами при переходе из металла с уров­

ня ЕФ в зону проводимости полупроводника (при идеальном

м

контакте п-полупроводника и металла, когда работа выхода из

Глава 2. Контактные явления в полупроводниках

59

Полупроводник р-типа

 

Полупроводник п-типа

 

 

----Евак

Е, эвi ---f-\,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qq>m

'

Евак

 

 

 

 

--

 

 

 

 

 

1,0

 

 

qq>m

 

лв.

 

 

 

 

1,0

 

 

 

 

 

Мет л

 

-------Е

 

 

 

 

/

/,-

qUр

Ф;

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

о

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 мкм

 

 

 

 

а)

 

 

 

 

 

 

 

Е,эВ

 

 

 

 

 

 

1,0

 

 

,,.------Еп

 

 

q(<p~ -

И)

1,0

 

 

 

 

......,...1.----Еп

 

 

 

 

qU

ЕФп

 

 

 

 

о

 

 

о

 

 

 

-0,5

 

 

 

 

 

 

 

1 мкм

 

6)

Е,эв

1,0

q(q>~ - И)

1,0

1,0

о

о

в)

Рис. 2.14