Литература / Шишкин Г. Г. , Шишкин А. Г. Электроника 2009 (1)
.pdf50 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ:: ПРИБОРЫ |
напряжения лавинного пробоя. При высоких температурах окру жающей среды возможен пробой, сочетающий оба механизма.
В заключение подытожим основные причины, приводящие к
различию идеализированных и реальных ВАХр-п-перехода. При
обратном смещении основными физическими процессами, обус
ловливающими указанные различия, являются: ток термогенера
ции в обедненном слое, ток утечки и пробой перехода. При Прямом
напряжении в начальной части характеристики это ток рекомби
нации-генерации, а при больших напряжениях - налич~е сопро
тивления базы. Для ил.irюс'l'рации влияния указанных причин на рис. 2. 7 приведены реальные и идеализированные БАХ крем
ниевого перехода, где по оси абсцисс отложено напряжение,
нормированное на тепловой потенциал, а по оси ординат - от носительная плотность тока (!0 ~ тепловой ток, соответствую- щий идеализированному р-п-переходу). На рис. 2. 7 участок «а»
соответствует преобладанию генерационно-рекомбинационного то
ка, «б» - преобладанию диффузионного (инжекционного) тока,
участок «В» характеризуется высоким уровнем инжекции, «Z» -
влиянием последовательного сопротивления базы, участок «д» объясняется наличием тока термогенерации в обедненной области и обратного тока утечки, участок «е» - пробойр-п-перехода.
"
108 |
|
|
|
/ |
,,,.....-г |
|
|||
107 |
|
|
|
Пробой |
|||||
|
|
|
|
|
1 |
/ |
|
|
|
6 |
|
|
J |
|
/в |
|
~"' перехода |
||
10 |
|
|
|
//f\ |
|
1 |
|
||
|
|
|
|
|
|
||||
105 |
|
|
|
1 |
Реальная прямая |
||||
|
61 |
|
|
|
)е |
характеристика |
|||
104 |
|
|
|
/ |
Реальная обратная |
||||
|
il |
|
|
|
) |
||||
|
|
|
/ |
д |
|
||||
103 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
- |
|
v |
|
|
характеристика |
|
|
а~ |
|
'-"- |
|
|
|
||
10 |
2 |
~" f- |
|
|
|
|
Идеализированная |
||
|
~·)/" |
|
|
|
|
|
прямая характеристика |
||
101 |
|
|
|
|
/ |
/~~:~~~я характеристика |
|||
/ |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ированная |
|
|
v |
|
|
|
|
|
|
- |
10-1 |
5 |
10 |
15 |
20 |
25 |
\\ |
|||
|
о |
30 |
|
||||||
Рис. 2.7
Глава 2. Контактные явления в полупроводниках |
51 |
2.4. Электрическая модель р-n-перехода
Барьерная емкость. Как показано при рассмотрении физиче
ских процессов в р-п-переходе (см. п. 2.1), по обе стороны от
металлургической границы возникают объемные заряды ионов
доноров (:концентрация Nд) и акцепторов (:концентрация Na).
Величины этих зарядов зависят от формы перехода, температу ры и ряда других факторов, приводящих к изменению толщи ны обедненного слоя, в частности, от приложенного напряже
ния. Наличие зарядов противоположного знака в этой области приводит к появлению емкости, которая называется барьерной. Эта емкость оказывает влияние на работу р- п-перехода при об ратных напряжениях. Барьерная емкость р-п-перехода опре
деляется выражением С6ар = dQ06 /dU, где dQ06 - дифференци
альное приращение объемного заряда, вызванное достаточно малым изменением приложенного напряжения. (Q06 - объем
ный заряд, сосредоточенный внутри р-п-перехода.) Таким об
разом, влияние С6ар в электрических схемах проявляе~ся при
изменении во времени напряжения на переходе. В этом случае,
помимо тока, определяющего ВАХ, в р-п-переходе протекает
емкостный ток I(t) ~ dQ06 /dt = (dQ06 /dU)(dU/dt). В несиммет-
ричном р+-п-переходе со ступенчатым распределением приме си объемный заряд Q 06 = qSNдl0(U) определяется шириной обед
ненного слоя l0 , которая зависит от приложенного напряжения
смещения r;. |
|
|
|
|
|
Учитывая, что согласно (2.12) l 0(U) = J2ee0 (<p0 - |
U)/(qN д), |
||||
получаем для барьерной емкости С6ар формулу |
|
||||
- ldQ 1 |
qNE0 E |
SE0E |
|
(2.26) |
|
С= |
об=S |
2(<t>o - И) |
= -- |
• |
|
бар |
dU |
lo |
|
||
Поскольку с ростом модуля \И\ |
|
|
|||
при обратном включении толщи |
|
|
|||
на обедненного слоя l0 возрастает, |
|
|
|||
емкость сбар уменьшается с уве |
|
|
|||
личением обратного напряжения. |
|
|
|||
Зависимость емкости от прило |
|
|
|||
женного |
напряжения называет |
|
|
||
ся вольт-фарадной харакrернстикой |
|
|
|||
(ВФХ). На рис. 2.8 приведены ВФХ |
-10 -8 -6 -4 -2 |
О 2 И/ч>т |
|||
для р+-п-перехода со ступенча- |
Рис. 2.8 |
|
|||
52 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
тым (кривая 1) и линейным (кривая 2) распределениями приме сей, построенные в относительных (безразмерных) координа тах. Штриховая кривая соответствует некоторому другому воз можному распределению примесей в переходе.
Диффузионная емкость. При подаче прямого напряжения су ществуют две причины, обусловливающие емкость р-п-пере хода: изменение зарядов в обедненном слое и изменение кон центрации инжектированных носителей в нейтральных облас- , тях вблизи границы перехода в зависимости от приложенного
прямого напряжения.
В результате при подаче прямого напряжения полная ем
кость равна.с= сбар + сди~' где сдиф - диффузионная емкость.
Емкость СдиФ связана с диффузией неосновных носителей, ин
жектированных через переход при прямом смещении, и опреде
ляете.я зарядом этих носителей, накопленных за пределами об
ласти перехода.
В слуЧае несимметричного р+-п-перехода Сдиф определяется
зарядом дырок QP (QP » Qn), накопленным в базе. Интегрируя распределение (2.17) Лрп(х) (п. 2.2) для толстой базы W 6 » LP (LP - диффузионная длина для дырок), получим
(2.27)
где 'tэФ - эффективное время жизни неосновных носителей (ды
рок в п-области), зависящее от скорости рекомбинации (в дан
ном случае 'tэФ ;:::; 'tp).
Для тонкой базы (W6 « LP) и малого переменного сигнала на
низких частотах диффузионная емкость определяете.я следую
щим выражением
(2.28)
При И» <!'т диффузионная емкость равна
{2.29)
где ток I приблизительно равен току инжекции, что для крем ниевого перехода справедливо при И> 0,4... 0,5 В. Диффузион-
Глава 2. Контактные явления в nолуnроводниках |
53 |
|||
ная емкость при И> 0,4...0,5 В |
|
С,пФ |
|
|
|
|
|
||
значительно превышает барьер |
|
|
|
|
ную, для И < 0,4 ...0,5 В, наобо |
|
20 |
|
|
рот, барьерная емкость больше |
|
|
|
|
диффузионной (рис. 2.9). |
|
|
|
|
Для диффузии неосновных |
|
10 |
|
|
носителей через базу и установ |
|
|
||
|
|
|
||
ления заряда неосновных но |
|
|
|
|
сителей в общем случае необхо |
|
|
|
|
димо время порядка 'tэФ· На вы |
-0,8 |
-0,4 о 0,4 |
И/r.рт |
|
соких частотах, когда ro:::::: 4/'tэФ' |
||||
|
|
|
||
Рис. 2.9
диффузионная емкость умень-
шается с ростом частоты, и при
ro » 4/'tэФ она стремится к нулю, поскольку в течение малого пе-
риода т = ro27t « 'tэф заряд не успевает изменяться синхронно с
напряжением и dQP/dU =О.
Эквивалентная схема р-n-перехода. Для многих практических применений при разработке электронных схем необходимо ана литическое описание полупроводниковых приборов, когда сами приборы заменяются электрическими моделями. Наиболее рас пространенным способом моделирования прибора является его
эквивалентная электронная схема, представляющая прибор в
виде соединения простейших элементов: резисторов, конденса
торов, индуктивностей, идеализированных диодов и т. п. Пара
метры указанных элементов и их взаимосвязь на постоянном и
переменном токе определяются различными соотношениями. То
ки и напряжения на внешних выводах вычисляются из эквива
лентной схемы методом теории цепей.
Наиболее общей является модель для |
|
большого сигнала, которая пригодна для |
|
токов и напряжений, изменяющихся в лю |
VD |
|
|
бых пределах, т. е. когда связь между ними |
|
нелинейна. На рис. 2.10 приведена эквива
лентная схемар-п-перехода (диода), кото рая является одной из наиболее распрост раненных. На этом рисунке диод VD мо
делирует идеализированный р-п-переход, r 6 - объемное сопротивление базы, R06P
учитывает ток термогенерации в р-п-пе- |
Рис. 2.10 |
54 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
реходе и ток утечки:. Поскольку в общем случае эти токи за
висят от напряжения нелинейно, то R06P является функцией обратного напряжения и для ее задания необходима определен
ная аппроксимация и дополнительные параметры. Для прак
тических целей часто используют R06P в виде постоянного резис
тора, что соответствует линейной аппроксимации обратной вет
ви БАХ в заданном диапазоне изменения И06Р. Поскольку ре зистор R06P имеет большую величину, то при прямых смещени
ях он практически не влияет на ток, и его можно не учитывать.
Описанная модель не учитывает эффект модуляции сопро тивления базы, ток рекомбинации, пробой, частотную зависи
мость Сдиф и ряд других явлений. Для учета этих особенностей
реального р-п-перехода требуются более сложные модели.
2.5. Переходные процессы в р-n-переходе
При использовании диодов (р-п-переходов) в качестве пере ключателей и в различных импульсных схемах требуется, что
бы время перехода от прямого смещения к обратному было по
возможности малым, т. е. временные интервалы переходных
процессов должны быть минимальными. Процессы установле
ния напряжения или тока в р-п-переходе при воз.действии им
пульсных сигналов называются переходными процессами.
ПереходнЬl:е процессы в р-п-переходе связаны в основном с
двумя явлениями:
1) накоплением неосновных носителей в базе р-п-перехода
при его прямом включении и их рассасыванием при снятии
или уменьшении напряжения;
2) перезарядкой барьерной емкости.
Движение неосновных носителей в базе носит преимущест венно диффузионный характер и в силу этого происходит доста точно медленно, поэтому накопление носителей в базе и их рас
сасывание влияет на инерционные свойства р-п-переходов в
режиме переключения.
При больших плотностях тока через переход основную роль
играет накопление неосновных носителей, и· перезарядкой
барьерной емкости можно пренебречь.
Для малых плотностей тока импульсные процессы в перехо-· де определяются в основном перезарядкой барьерной емкости.
Глава 2. Контактные явления в полупроводниках |
55 |
--- |
|
1 |
,, |
|
|
R I(t) |
р-п-nереход |
|
|
|
|
г--------1 |
|
|
|
||
|
|
1 |
|
|
|
|
VD |
CI |
|
Иг1 |
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
: |
U(t) |
t2 |
t |
|
|
1 |
1 tl |
||
|
|
1 |
|
Иг2 |
|
|
|
1 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
1 |
|
|
|
L _________ J |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
||
1 |
а) |
|
Рис. 2.11
Параметры внешней электриче
ской цепи также могут существенно
изменить временн:Ы:е зависимости
напряжения и тока, характеризую
щие импульсные процессы в пере
ходе.
Рассмотрим сначала переходной
процесс включения р---'n-перехода
в простейшей схеме, представлен
ной на рис. 2.11. Когда на вход схе
мы подается импульс напряжения
положительной полярности Ип(t)
(рис. 2.12, а) в момент времени t1' то ток через переход при R » r 6 из
менится скачком до величины I Г1 =
= (Ип - Ип)/R (рис. 2.12, б), где Ип -
падение напряжения на переходе. Ес
ли Иг1(t) » Ип, то ток I в течение пе-
реходного процесса практически не
Iг
" |
Iг1 |
|
|
tз t4 |
|
|
|
|
1 tl |
t2 |
|
: Jобрмакс |
|
|
1 |
|
|
1 |
б) 11 |
|
1 |
|
|
1 |
1 |
|
|
|
|
1 |
1 |
|
1 |
|
|
ли 1 |
|
|
1 |
|
ип |
1 |
|
1 |
|
|
|
1 |
|
1 |
ип |
|
1 |
||
|
в)
ипмакс
ип
изменится и будет равен Iп = Иг1/R. |
1 |
В этом случае внешняя цепь (генера |
1 |
1 |
|
тор, сопротивление R) по отношению |
.jт1Jт21" |
|
|
к переходу является источником то |
|
ка. Форма прямого тока будет повто |
г) |
рщ:ъ форму положительного импуль |
Рис. 2.12 |
|
|
са напряжения. |
|
При малом прямом токе можно |
|
пренебречь падением напряжения на сопротивлении базы, и на пряжение на переходе Ип плавно и монотонно увеличивается по мере заряда барьерной емкости (рис. 2.12, в).
56 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
При малых токах диффузионная емкость заметно меньше барьерной и ею можно пренебречь в течение переходного про
цесса.
При больших прямых токах и высоком уровне инжекции не
обходимо учитывать падение напряжения на сопротивлении ба зы и модуляцию этого сопротивления. В этом случае в момент t 1 происходит скачок напряжения ()U1 = Iг1r6• По мере заряда
барьерной емкости увеличивается напряжение на р-п-перехо де и общее напряжение достигает значения Ипмакс = Ип + Iгir6 (рис. 2.12, г). Из-за большого тока Iг1 этот процесс происходит
за очень малое время, т. е. можно считать, что напряжение из
меняется от О до Ип макс скачком. Влияние диффузионной емкос
ти при быстрых изменениях напряжений и токов пренебрежи
мо мало. "Уменьшение напряжения относительно Ипмащ:: со вре
менем обусловлено постепенным уменьшением сопротивления базы (модуляция сопротивления базы) по мере накопления в ней инжектированных носителей. Процессы установления пря
мого напряжения происходят за время порядка эффективного
времени жизни неосновных носителей в базе.
Рассмотрим теперь процессы, происходящие при переключе
нии перехода, когда в момент времени t 2 напряжение генерато
ра скачком изменяется с прямого на обратное. В результате это
го происходит резкое изменение тока на величину ЛI = (ИГ1 +
+ 1Иг21)/R. При t 3 > t > t 2 черезр-п-переход протекает обратный
ток I06р.макс = Иг2/R (см. рис. 2.12, б), который много больше
теплового тока и тока термогенерации. Этот ток вызван движе
нием избыточных неосновных носителей, накопленных в базе за
время существования положительного прямого напряжения на
переходе (за время протекания прямого тока t = t 2 - t 1). Скачку тока ЛI соответствует скачок напряжения ЛИ= Лlr6 (см. рис. 2.12, в). Весь переходной процесс при переключении напряже ния с прямого на обратное обычно разделяется на две стадии.
Первая стадия при t 3 > t > t 2 характеризуется высокой обрат
ной проводимостью, обусловленной наличием в базе. у границы перехода избыточной концентрации неосновных носителей. Об ратный ток при Иг2 >> Ип постоянен и имеет большое значение. В рассматриваемом временном интервале происходит рассасы
вание накопленных в базе неосновных носителей за счет их пе рехода в эмиттер и рекомбинации. Эти процессы иллюстриру-
Глава 2. Контактные явления в полупроводниках |
57 |
|
ются рис. 2.13, где показано рас- |
Pn(x) |
|
пределение концентрации дыро:н |
|
|
в базе в различные моменты вре- |
|
|
мени, при этом полагается, что |
|
|
толщина базы wб много больше |
|
|
диффузионной длины LP. Кривая |
|
|
распределения дыро:н в базе при |
|
|
t < t 2 соответствует проте:нанию |
|
|
постоянного прямого тока I г2, ог |
|
|
раниченного внешним сопротив |
о |
х |
|
||
лением R. В последующие момен- |
Рис. 2.13 |
|
ты времени при t 2 < t < t3 из-за из- |
|
|
менения тока градиент концентрации .дырок dpn/dx изменяет
знак на противоположный на границе перехода. В момент t 3 на
границе базы со стороны перехода (х =О) имеет Рп(О) = Рпо• где Рпо - исходная концентрация дырок (неосновных носителей) в
п-базе. В это время напряжец:ие на переходе становится равным нулю (см. рис. 2.12, в, г, момент t = t 3) и заканчивается первая стадия - стадия высокой обратной проводимости. За время t 3 - t2 из базы удаляется большая часть избыточного заряда. Длитель ность первой стадии Т1 прямо пропорциональна времени жизни
дырок в базе и зависит от соотношения прямого I г2 и обратного ·
I обр токов через переход. Время Т1 может быть вычислено по
формуле Т1 = 't6ln (1 + Iг1//06рмакс), т. е. Т1 определяется диф
фузионной емкостью. Пр:И t > t 3 происходит восстановление об
ратного сопротивления перехода, сопровождающееся уменьшени
ем обратного тока. Ток в этой стадии процесса определяется не только переходом оставшихся избыточньiх неосновных носите лей из базы в эмиттер, но и перезарядкой барьерной емкости.
При большом обратном токе I обр (при малом внешнем сопротив лении R) емкость перезаряжается быстро, а при малом токе J 06P
переходной процесс более длителен и Т2 = RСбар при R » r 6 • При нято считать, что стадия восстановления обратного напряже ния заканчивается при I обр = О, 11п, и ее продолжительность оп
ределяется временем Т2 (см. рис. 2.12, б, в, г).
Таким образом, рассмотренные явления позволяют заклю
чить, что длительности переходных процессов определяются зна
чениями барьерных и диффузионных емкостейр-п-перехода.
58 |
Раздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ |
2.6. Контакты металл-полупроводник
Электрические переходы металл-полупроводник применя
ются для создания диодов, транзисторов и омических. контак
тов, при изготовлении внешних выводов полупроводниковых
приборов и интегральных схем.
При непосредственном контакте металла с полупроводником
высота возникающего потенциального барьера для электронов зависит от работы выхода металла и плотности поверхностных состояний.
Работой выхода называется разность энергий между уровнем
Ферми и уровнем свободного пространства (вакуума) Евак· Для
металла эта величина соответствует qq>m, а в полупроводнике
п-типа она равна q(X + Ип) (рис. 2.14, а, правый), где qx- раз
ность энергий между энергией дна зоны проводимости Еп и уровнем вакуума Евак (электронное сродство), qUn - разность
энергий между уровнем дна зоны проводимости Еп и ур,0внем
Ферми ЕФ • Разность работ выхода металла и п-полупроводни-
п
ка, равная q(Ч'т - Х - Ип), определяет контактную разность по-
тенциалов qq>~, т. е. qq>~ = q(q>m - Х - Ип>·
Оценим высоту барьера для рассматриваемого контакта. Зонные диаграммы равновесного контакта металла с р- и п-по
лупроводниками приведены на рис. 2.14, а, где ЕФ; - уровень Ферми для собственного полупроводника. Рассмотрим сначала соединение металла с п-полупроводником, работа выхода элект ронов у которого меньше, чем у металла. В этом случае часть электронов переходит из полупроводника в металл. В результа
те в полупроводнике появится обедненный слой, содержащий положительный заряд ионов доноров. Переход электронов бу
дет происходить до тех пор, пока уровни Ферми в обоих мате
риалах не сравняются (ЕФ = ЕФ ), т. е. уровень Ферми п-полу-
мп
проводника (ЕФ ) понизится относительно уровня Ферми в ме- n
талле ЕФ на величину qq>~, равную разности соответствующих
м
работ выхода. На такую же величину понизится уровень вакуума Евак (см. рис. 2.14, а, правый). В результате энергия, соот
ветствующая высоте потенциального барьера qq>n (рис. 2.14, а),
преодолеваемого электронами при переходе из металла с уров
ня ЕФ в зону проводимости полупроводника (при идеальном
м
контакте п-полупроводника и металла, когда работа выхода из
Глава 2. Контактные явления в полупроводниках |
59 |
|||||
Полупроводник р-типа |
|
Полупроводник п-типа |
||||
|
|
----Евак |
Е, эвi ---f-\, |
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
qq>m |
' |
Евак |
|
|
|
|
-- |
|
|
|
|
|
|
1,0 |
|
|
qq>m |
|
лв. |
|
|
|
|
1,0 |
|
|
|
|
|
|
Мет л |
|
-------Е |
|
|
|
|
/ |
/,- |
qUр |
Ф; |
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
о |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 мкм |
|
|
|
|
а) |
|
|
|
|
|
|
|
Е,эВ |
|
|
|
|
|
|
1,0 |
|
|
,,.------Еп |
|
|
q(<p~ - |
И) |
||
1,0 |
|
|
|
|
......,...1.----Еп |
|
|
|
|
|
qU |
ЕФп |
|
|
|
|
|
о |
|
|
о |
|
|
|
-0,5 |
|
|
|
|
|
|
|
1 мкм |
|
6)
Е,эв
1,0
q(q>~ - И)
1,0 |
1,0 |
о
о
в)
Рис. 2.14
