книги из ГПНТБ / Вакуумные прокатные станы
..pdfЗная ХР и длину свободного пути X при комнатной темпера туре и давлении в 1 мм рт. ст., можно определить X для любого давления. Например, для воздуха
ÀP = 4,72 - 10" 3 я«5 - 10" 3 см-мм рт. ст.; Х^^^-см. |
(12) |
Свойства газа зависят от соотношения числа взаимных ударов молекул и ударов о стенки сосуда. В практике вместо этого сравни вают между собой среднюю длину свободного пути X и внутрен ний линейный размер d сосуда, камеры, вакуумпровода и т. п. Состояние газа, когда X > d, принято называть высоким ваку умом; X <^ d — низким вакуумом; X я» d — средним вакуумом. Таким образом, вакуум — понятие относительное, зависящее от соотношения X и d.
Течение газов в трубопроводах
Режимы течения газов. В вакуумпроводах газ течет вследствие создаваемого перепада давлений у его концов. Однако характер движения молекул газа различен и зависит от режима течения, который может быть турбулентным, ламинарным или вязкостным
имолекулярным.
Показателем режима потока является критерий Рейнольдса
|
|
|
|
|
Re |
= |
^ , |
(13) |
где |
D — диаметр |
трубы; |
|
|
|
|
||
|
|
V — скорость течения |
газа; |
|
|
|||
|
|
р — плотность; |
|
|
|
|
|
|
|
т] — динамическая |
вязкость. |
|
|
||||
В |
вакуумной |
технике |
используется |
не скорость течения, |
||||
а количество газа Q, протекающего в единицу времени при дан |
||||||||
ном |
|
давлении. |
|
|
|
|
|
|
Для воздуха |
при |
20° С |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
^ |
= т> |
<13а) |
|
где |
Q измеряется |
в см3/сек; |
D |
— в см. |
|
|||
|
Турбулентный поток характеризуется вихревым движением |
|||||||
газа, |
вызываемым |
перемещением |
частиц |
с большими скоростями |
||||
и инерцией газовой среды. |
|
|
|
|||||
|
Турбулентный |
поток течения |
газа имеется для значений Q > |
>2-105 D.
Ввакуумных системах турбулентный поток возможен в на чальный момент работы установок, когда откачиваются большие массы воздуха с большой скоростью. В дальнейшем режим тече ния меняется.
20
При ламинарном течении отдельные слои протекающей среды имеют различные скорости и скользят один по другому. Лами нарное течение характеризуется всеми значениями Q < 2 - 1 0 5 D .
При достаточно низком давлении молекулы летят прямоли нейно, независимо одна от другой, имеют меньшее число взаим ных столкновений и гораздо чаще сталкиваются со стенками. Средняя длина свободного пути К становится сравнимой с диа
метром |
трубопровода |
D. |
|
|
|
|
|
|||
Переход от вязкостного течения к молекулярному для |
круглых |
|||||||||
трубопроводов определяется из следующего соотношения: |
||||||||||
PcpD ^ |
500 |
мкм |
рт. ст.-см—'вязкостное |
течение; |
|
|||||
PcpD |
|
15 |
мкм |
рт. ст.-см |
— молекулярное |
течение, |
|
|||
где Рср |
— среднее |
давление |
в |
трубопроводе. |
|
|
||||
Так как для воздуха при |
20 |
С средняя длина свободного |
||||||||
пути X = |
-р- |
см, |
то |
при |
К |
щ |
будет вязкостный |
поток, |
,D
апри À Г5> -g молекулярный поток.
Сопротивление |
течению и пропускная способность. Поток, |
т. е. количество |
газа Q, протекающее за единицу времени через |
данное поперечное сечение, является при стационарном режиме
постоянной |
величиной. |
|
|
||
При постоянной температуре и равновесном состоянии ва |
|||||
куумной системы |
Q = РѴ = |
kNT, |
|||
|
|
|
|||
где Q — количество |
газа, протекающее в единицу времени через |
||||
данное |
поперечное |
сечение; |
|||
V •— объем |
газа, проходящего |
через любое сечение системы |
|||
в |
единицу |
времени; |
|
||
Р—давление |
в |
этом сечении; |
|
||
N — число |
молекул, проходящих через сечение в единицу |
||||
времени. |
|
|
|
||
Сопротивление течению |
соединительных трубопроводов (по |
аналогии с металлическими проводниками в случае электросо противления) определяется как падение давления на единицу потока:
|
|
W = |
^ |
= A |
(14) |
где Рх — давление |
на |
входе; |
|
|
|
Р2—давление |
на |
выходе |
участка |
трубопровода, сопротив |
|
ление которого определяется; при этом |
|||||
Величина, обратная сопротивлению, называется пропускной |
|||||
способностью (проводимостью) |
|
|
|
||
|
|
1 |
_ |
Q |
(15) |
|
|
и - w |
|
|
р1-р,- |
21
Следовательно,, пропускная способность есть количество газа, протекающее через данный участок при разности давлений на его концах, равной единице давления.
Пропускная способность трубопроводов при различных режимах
течения |
[12, 26, |
69]. При |
расчетах |
и конструировании вакуум |
|||||||||
ных |
систем |
необходимо |
учитывать |
сопротивление |
трубопрово |
||||||||
дов |
разной |
геометрической |
|
формы |
при различных |
режимах |
те |
||||||
чения. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Пропускная |
способность |
|
длинных |
круглых трубопроводов |
при |
||||||||
ламинарном |
течении. |
При |
этом |
режиме пропускная |
способность |
||||||||
трубопроводов |
определяется |
уравнением |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
//_ |
~ |
|
р |
|
|
(16) |
|
где |
D — диаметр; |
и |
|
128л/ |
с р ' |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
/ — д л и н а трубопровода; |
|
|
|
|
||||||||
|
т] — динамическая вязкость |
газа; |
|
|
|||||||||
Рср — среднее |
давление |
|
в |
трубопроводе. |
|
|
|||||||
Для |
воздуха |
при |
20° С |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
1) = |
0,Ш^-Рср, |
|
|
(16а) |
где D и I в см, а Рср в мкм рт. ст.
Это уравнение справедливо для случая, когда средняя длина свободного пути X щ .
На рис. 8 показана пропускная способность круглых трубо-
проводов различных диаметров в зависимости от отношения
рассчитанная для воздуха при 20° С по уравнению (16а). Значение пропускной способности для различных газов можно
получить |
умножением |
пропускной |
способности |
для |
воздуха на |
||||
коэффициент ü^s>. Например, |
|
|
|
|
|||||
|
|
Чгаз |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Um |
= |
0,58Ue03d; |
|
|
|
|
|
|
|
UHE |
= 0,93ивозд; |
|
|
||
|
|
|
|
UN, |
= |
l,0Weo3d; |
|
|
|
|
|
|
|
Uh2 |
= |
2, |
lUeo3d. |
|
|
Поток |
через |
тонкие |
малые |
диафрагмы при |
ламинарном тече |
||||
нии. |
Пропускная |
способность |
диафрагмы (в см3/сек) |
определяется |
|||||
из |
выражения |
|
|
|
1У Г |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
ѵ - 1 |
|
гPiî
X
22
где F — площадь отверстия;
Pi—давление |
перед |
отверстием; |
|
|
|||
Р9 2 |
— давление за |
отверстием; |
|
|
|
||
m |
м$сса |
молекулы; |
|
|
|
|
|
|
Ср |
отношение |
удельных |
теплоемкостеи |
^газа |
при |
|
|
Сѵ |
||||||
|
постоянном |
давлении СР |
и постоянном |
объеме |
Сѵ; |
||
Т |
— абсолютная |
температура в области Р±; |
|
|
|||
k — постоянная |
Больцмана. |
|
|
|
л/сек
0,2 0,3 Ofi 0,5 0.7 1 |
3 U 5 6 78910 И, см |
Рис. 8. Зависимость проводимости трубопроводов от диа метра для различных отношений 1/D (ламинарное течение)
Для воздуха |
при |
20° С: |
|
i x |
л/сек |
U = |
76,6 |
(fcfY |
Pi |
||
|
|
|
0,288 |
|
|
|
|
|
|
Pi |
|
|
|
при |
0,525; |
|
(17а) |
U |
^ 2 0 |
F =- л/сек |
при Р |
g 0,525; |
(176) |
|
|
I _ ±Л- |
|
1 |
|
|
U-. |
Рі |
Р |
.0.1. |
(17в) |
|
20F л/сек |
||||
|
|
при |
s= |
|
23
Следовательно, при Р2 < ; 0,ІРі пропускная способность диаф рагмы (при вязкостном режиме) не зависит от давлений и их отношения и может использоваться в качестве расчетного пока
зателя. |
|
|
|
|
|
|
|
|
Пропускная |
способность |
трубопроводов |
при молекулярном |
ре |
||||
жиме |
течения. |
Средний |
свободный |
путь |
молекул |
соизмерим |
||
с линейными размерами трубопровода |
(камеры), при |
этом |
отсут |
|||||
ствует |
соударение молекул |
между собой, |
а |
имеется |
соударение |
со стенкой трубы. Принимается преимущественно диффузионное отражение молекул от стенки так, что попавшая на стенку мо лекула адсорбируется на ней, после чего вылетает в другом на правлении.
В трубопровод попадает тем больше молекул, чем больше площадь его поперечного сечения. Количество отраженных мо лекул пропорционально поперечному сечению F. Доля отражен ных в обратную сторону молекул будет тем меньше, чем меньше поверхность трубопровода ВІ, где В — периметр, а / — длина трубопровода. Пропускная способность (в л/сек) трубопровода круглого сечения радиусом г и длиной /
(18)
Для молекулярного режима течения газа пропускная способ ность не зависит от среднего давления.
Для воздуха
U= 12,1 ~ . |
(18а) |
Приведенные формулы справедливы для труб с отношением ^ > 2 0 .
На рис. 9 показана зависимость проводимости U цилиндри ческого трубопровода для воздуха при молекулярном течении
от диаметра для различных соотношении -^-.
При коротком трубопроводе следует учитывать влияние про пускной способности входного отверстия. Влияние изгибов и колен трубопроводов при молекулярном режиме течения газов учитывается специальным коэффициентом, т. е. в расчетную формулу подставляется осевая длина 10, несколько большая геометрической /:
10 = / + 1,33D, |
(19) |
где D—диаметр |
трубопровода. |
24
Пропускная способность отверстий при молекулярном режиме.
Пропускная способность диафрагмы определяется уравнением
и = рѴ:ш> |
<20) |
где F — площадь диафрагмы в см2.
|
|
0,1 |
0,2 0,3 OA 0,6 0,81 |
2 3 k 5 6 78910 В, см |
|||
|
Рис. 9. Зависимость проводимости трубопроводов |
от диамет |
|||||
|
ра для различных отношений HD (молекулярное течение) |
||||||
Для |
воздуха |
при |
20° С |
|
|
|
|
|
|
|
U = |
11,6F |
л/сек. |
|
(20а) |
Выражая F |
через |
диаметры, получим |
|
|
|||
|
|
|
и = 9,П-?Ц-2, |
|
(206) |
||
где £>2 |
— диаметр диафрагмы; |
|
|
|
|||
|
—диаметр трубопровода или сосуда. |
|
|
||||
Сопротивление |
короткого |
трубопровода. |
Для |
короткого |
|||
трубопровода |
^ - j j - |
< 2 0 ^ |
должна |
учитываться |
проводимость |
25
отверстия, так как пропускная способность трубы UT сравнима
спропускной способностью диафрагмы Ug. Для этого случая
U1 = -+
Подставляя значения UT и ІІд из формул (18а) и (206), получим
|
|
|
U = |
|
|
.2,1 -f |
|
|
|
(21) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
1 + 1.33 |
|
^ |
|
|
|
|
|
|
||
И Л И |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
U= |
|
|
Di |
|
|
|
(21a) |
||
|
|
|
|
|
|
1 2 , l ß - f |
|
|
|
|||||
при |
|
|
|
|
|
DT^ |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
ß |
= 1 + |
1,33 |
Dd |
) |
|
|
|
|
||||
Значения поправочного коэффициента ß для |
учета |
влияния |
||||||||||||
концевых эффектов при коротких трубопроводах |
в зависимости |
|||||||||||||
от -^- даны в табл. 6. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Приближенные значения проводимости можно получить по |
||||||||||||||
формулам |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
U = 0 , 9 Ш 2 |
|
для / < 0 , 2 D ; |
|
|
(216) |
||||||
|
|
|
U= |
12,1 |
|
для |
Z > 2 0 D . |
|
|
(21 в) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Значения |
поправочного коэффициента ß |
|
|
Т а б л и ц а |
6 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||
для учета влияния концевых эффектов при коротких трубопроводах |
|
|
||||||||||||
О т н о ш е н и е |
П о п р а в о ч н ы й |
О т н о ш е н и е |
|
П о п р а в о ч н ы й |
О т н о ш е н и е |
П о п р а в о ч н ы й |
||||||||
д л и н ы |
|
|
д л и н ы |
|
д л и н ы |
|||||||||
|
к о э ф ф и ц и е н т |
|
|
к о э ф ф и ц и е н т |
к о э ф ф и ц и е н т |
|||||||||
к д и а м е т р у |
к д и а м е т р у |
к д и а м е т р у |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
0,05 |
|
0,036 |
|
|
0,8 |
|
• |
0,38 |
10 |
|
|
0,88 |
|
|
0,08 |
|
0,056 |
|
|
1,0 |
|
|
0,43 |
20 |
|
|
0,94 |
- |
|
0,1 |
|
0,070 |
|
|
2 |
|
|
0,60 |
40 |
|
|
0,97 |
|
|
0,2 |
|
0,13 |
|
|
4 |
|
|
0,75 |
60 |
|
|
0,98 |
|
|
0,4 |
|
0,23 |
|
|
6 |
|
|
0,82 |
80 |
|
|
0,98 |
|
|
0,6 |
|
0,31 |
|
|
8 |
|
|
0,86 |
100 |
|
|
1,0 |
|
|
Пропускная способность при молекулярном режиме |
зависит |
от рода газа, так как во все соотношения при этом режиме входит множитель
if 2nkT
У~иг'
26
где m — масса |
молекулы; |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Т — абсолютная |
температура; |
|
|
|
|
|
||||||
k |
— постоянная |
Больцмана. |
|
|
|
|
|
|
||||
Значения пропускной способности для других газов полу |
||||||||||||
чаются |
умножением |
значения |
проводимости |
для |
воздуха |
при |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
- I f |
Мйпза |
. |
|
|
|
комнатной температуре на отношение |
I / |
^ |
|
|
||||||||
Например, |
для гелия |
M = |
4, |
для |
воздуха M |
= 28,7, |
тогда |
|||||
|
^ Н е |
— |
~У -Щ^- |
U'eosd = |
уГ~~£~ |
Увозд — |
2,68£/e 0 3 Ô . |
|
Для учета влияния температуры необхрдимо значение про пускной способности при комнатной температуре (293°К) умно жить на
Если, например, температура в вакуумной камере повысилась до 373°К, то пропускная способность для любого газа будет в У 373/273 = 1,16 раза больше.
Пропускная способность системы. Приведенные выше фор мулы справедливы для определения пропускной способности отдельных элементов вакуумных систем различной геометриче ской формы при разных режимах течения газов. Суммарная
пропускная способность системы, |
составленной из |
несколь |
ких элементов, зависит от способа |
их соединения |
между со |
бой. |
|
|
По аналогии с законами электрической цепи общая проводи
мость параллельно соединенных элементов определяется |
как |
|
сумма их пропускных способностей: |
|
|
Ь'общ = |
' f f Ut. |
(22) |
При последовательном соединении общая проводимость опре |
||
деляется по формуле |
|
|
|
L = Ti |
|
U,общ |
2 -щ • |
(23> |
|
1=1 |
|
2. РАСЧЕТ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ПРОКАТНЫХ СТАНОВ
Любая вакуумная система состоит из следующих основных
элементов: |
откачиваемой |
камеры, вакуумных |
насосов |
и соеди |
|
нительных |
трубопроводов. |
|
|
|
|
Целью расчета вакуумной системы является: определение |
|||||
необходимой быстроты (скорости) откачки газа |
для |
поддержа |
|||
ния требуемого остаточного давления в камере |
при данном коли |
||||
честве газопоступлений; |
установление диаметра |
трубопроводов; |
27
определение времени откачки газа из установки до заданного давления.
На основании проведенных расчетов и конструктивных сооб ражений производится выбор схемы системы и компоновка ее отдельных частей, подбор вакуумных насосов, соединительных трубопроводов и арматуры.
Необходимость проведения расчетов вакуумных систем опре деляется тем, что недостаточно мощная вакуумная система не обеспечит требуемого разрежения в камере, следствием чего мо жет быть ухудшение качества обрабатываемого металла. Наобо рот, излишне мощная вакуумная система усложняет конструк цию вакуумной установки, повышает ее стоимость и увеличивает затраты на обслуживание. Неправильный выбор трубопроводов ведет к нерациональному использованию производительности насосов.
Расчет общего количества газопоступлений
Для расчета вакуумной системы стана необходимо определить газопоступление в уже откачанную камеру, которое обусловли вает постоянную работу насосов для поддержания определенной степени вакуума.
Газовые поступления в камеру при прокатке металлов в ва кууме возможны по следующим причинам.
Газовыделения из прокатываемого металла. Поступление газа в этом случае происходит вследствие уменьшения растворимости газа для ряда металлов при повышении температуры и уменьше нии внешнего давления, диссоциации окислов и т. д. В литера
туре |
приводятся |
опытные |
данные по |
газовыделению [26, 49, |
54, |
90]. |
|
|
|
Газовыделение должно учитываться как из прокатываемого |
||||
металла, так и |
из любого |
нагретого |
материала, находящегося |
в вакуумном стане — нагревателей, отражательных экранов и т. д.
Газопоступления, обусловленные натеканием газа. Натекание происходит вследствие наличия неплотностей в оболочке камеры и трубопроводах, недостаточной герметичности вакуумных уплот
нений |
и |
т. д. Скорость натекания является величиной практи |
||
чески |
постоянной [69]. |
|
||
Из-за |
отсутствия |
опытных данных для условий |
прокатки |
|
в вакууме величина натекания принимается ориентировочно. |
||||
Газопоступления |
в результате десорбции газов. Металлические |
|||
поверхности всегда покрыты слоем адсорбированных |
молекул. |
|||
Имеются |
различные'виды сорбции газов: адсорбция, |
абсорбция |
||
и окклюзия. |
|
|
Адсорбцией называется поглощение газов поверхностью твер дых тел и образование пленок толщиной в одну или несколько молекул за счет физических сил (поляризационных или ван- дер-ваальсовых).
,28
Абсорбция — растворение газов в металле, т. е. равномерное распределение молекул газа в кристаллической решетке металла.
Окклюзированным |
газом считается газ, находящийся в микро |
||||
скопических пустотах |
металла. |
|
|
|
|
Количество |
адсорбированного |
на металле |
газа увеличивается |
||
с уменьшением |
температуры и |
увеличением |
удельной |
поверх |
|
ности. Истинная поверхность |
металлов значительно |
больше |
геометрической и зависит от чистоты их обработки. Необработан ные ржавые конструкции адсорбируют большое количество газов, на откачку которых требуется много времени. В связи с этим детали вакуумных систем желательно изготовлять из нержаве ющей стали или цветных металлов с высокой степенью чистоты
обработки. |
Данные |
по |
газоотделению |
с металлических |
поверх |
|||||
ностей |
в |
вакууме |
при комнатной |
температуре |
приведены |
|||||
в табл . 7 [49]. |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Газоотделение |
с поверхности |
различных |
металлов |
|
Т а б л и ц а 7 |
|||||
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
С к о р о с т ь г а з о о т д е л е н и я |
в см3'мм рт. ст./(см2-ч) |
||||
|
М е т а л л |
|
|
|
п о с л е о т к а ч к и за в р е м я в ч |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
1 |
2 |
|
5 |
|
10 |
Медь,. промытая |
ацето- |
|
1,65-lu"1 |
4,33-10"2 |
— |
|
— |
|||
|
|
|
|
|
|
|||||
Малоуглеродистая |
|
— |
2 , 0 8 - Ю - 2 |
— |
|
— |
||||
|
1,1—4 |
•0,65 |
|
2 , 2 - К Г 1 |
1,12 • Ю - 1 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|||||
Нержавеющая сталь • • |
|
0,65 |
0,27 |
|
1,38-10-! |
6 , 7 5 - Ю - 2 |
||||
Латунь |
(промытая аце- |
|
1,49 |
•— |
|
0,525 |
|
— |
||
|
0,59 |
— |
|
2,33-10"1 |
|
— |
||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
Для расчета газопоступлений в результате десорбции необ |
||||||||||
ходимо |
знать |
полную |
поверхность конструкции, |
находящейся |
||||||
в вакуумной камере. В вакуумной установке типа |
«клеть—ка |
|||||||||
мера» под вакуумом |
находятся: внутренние |
поверхности |
вакуум |
ной камеры, трубопроводов, нагревательной печи, а также по верхность частей рабочей клети стана.
Зная величину поверхности, можно определить газопоступ
ление |
вследствие десорбции. |
|
|
После определения всех трех составляющих газовых поступ |
|||
лений |
можно рассчитать общее количество газов Q, подлежащих |
||
откачке. |
|
|
|
г При расчете |
вакуумных электропечей для |
определения об |
|
щего |
количества |
газа пользуются следующей зависимостью [49]: |
|
|
|
Q — - f ~ n + — + qeF + qH, |
|
где |
q — объем |
газа, выделяющегося из садки, |
в см3 на 100 г; |
G — масса |
садки в кг; |
|
29