
книги из ГПНТБ / Мотт, Н. Электронные процессы в некристаллических веществах
.pdf270 |
Глава 7 |
исследовал оптическое поглощение в германии. В модели Филлипса рассматривается энергетическая щель, связанная с тетраэдрическим окружением, причем считается, что в аморфной фазе она имеет такой же вид, как и в кристаллической. Предполагается,
2
Энергия |
фотона, |
эЬ |
Ф и г . 7.37. Оптическое поглощение аморфного |
селена, изученное с помо |
|
щью синхротронного |
излучения [79]. |
|
Сплошная кривая — результат эксперимента; |
штрихпунктирная— расчетные данные. |
что отсутствие дальнего порядка приводит к изотропности энерге тического спектра Е (к). Щель шириной порядка 2,5 эВ располо жена на краю сферической зоны. По существу это модель Пенна [406] (см. также [42]), в которой поглощение имеет вид, показан ный на фиг. 7.36, б. Филлипс вводит лоренцево уширение и пока зывает, что путем соответствующего интегрирования можно полу чить спектр аморфного германия, близкий к экспериментальному.
В работе Кардоны и др. [79] был получен спектр поглощения селена при очень высоких энергиях (50—70 эВ), связанный с воз буждением электронов из узкой, глубоко лежащей полосы d-уров- ней в зону проводимости (фиг. 7.37). В пределах эксперименталь ных ошибок спектры поглощения кристаллической и аморфной фаз совпадают. Был проделан теоретический расчет спектра поглощения, в котором использовалась плотность состояний, вычисленная для кристалла. Полученные результаты хорошо
Некристаллические полупроводники |
271 |
согласуются с экспериментальной кривой поглощения. Отсюда следует (по крайней мере, для селена), что полная ширина зоны проводимости почти не изменяется при переходе из кристалли ческого состояния в аморфное.
7.6.4. М О Д У Л Я Ц И О Н Н Ы Е ЭКСПЕРИМЕНТЫ
Чувствительность и разрешение оптических методов значитель но возрастают при использовании модуляционной техники. Этими методами были исследованы некоторые аморфные полупроводники [291, 413, 535]. В модуляционной технике осуществляется периоди ческое возмущение какого-либо внешнего параметра (электриче ского поля, температу ры, деформации) и при этом наблюдается из менение оптических свойств на той же час тоте (или в некоторых случаях на удвоенной).
Метод электроотраже ния для кристалличес ких полупроводников позволяет наблюдать тонкую структуру, ко торая не может быть разрешена статически ми методами. Полный обзор этой экспери ментальной техники имеется в книге Кардоны [78].
Результаты, полу ченные для аморфных Ge, A s 2 S 3 и Se, описа ны в гл. 8—10.
7.6.5. В Н У Т Р И З О Н Н О Е ПОГЛОЩЕНИЕ
На фиг. 7.38 пред ставлена кривая погло щения вблизи фунда ментального края амор фного As2 Se3, измерен ная в работе Эдмонда [148]. В твердом стекло-
w - w
|
|
|
Волновое |
число |
к, |
см' |
|
|||
Ф л г. |
7.38. Температурная зависимость оп |
|||||||||
тического поглощения в жидком |
и |
стеклооб |
||||||||
|
|
разном |
A s 2 S e 3 . |
|
|
|
|
|||
Кривые 1—3 соответствуют тонким |
пленкам |
с т е к |
||||||||
лообразного полупроводника |
при |
различных |
темпе |
|||||||
1 — |
при |
|
ратурах |
[148Г. |
— |
при 80 °С. При. |
||||
—196 9 С ; г — при |
24 °С; 3 |
|||||||||
более высоких температурах |
стекло |
становится |
ж и д |
|||||||
ким; |
4 — при 288 "С; |
5 — при 349 "С; 6 |
— |
при 386 °С;. |
||||||
7 — |
при |
438 °С; |
8 — |
при |
478 °С; |
9 — при |
524 "С:. |
|||
|
10 — при |
554 "С; 11 — при |
597 "С. |
|
|
272 |
|
Глава |
7 |
|
|
|
|
образном состоянии |
(кривые 1—3) |
коэффициент поглощения |
под |
||||
чиняется спектральному правилу Урбаха (см. 7.6.1), и при |
повы |
||||||
шении температуры зависимость логарифма коэффициента |
погло |
||||||
щения от волнового числа испытывает |
параллельный |
сдвиг. |
Ко |
||||
эффициент поглощения при |
значении |
порядка Ю - 1 |
с м - 1 |
|
опре |
||
деляется, по-видимому, остаточными иеоднородиостями, и |
его |
||||||
ВОО'С |
500 X |
400"С |
300"С |
|
|
|
(1) и зависимость электропроводности |
от обратной температуры для жидкого |
A s 2 S e 3 (2) (Эдмонд, |
частное сообщение). |
значение зависит от способа приготовления образца. В жидком состоянии (кривые 4—11) сильное поглощение возникает при го раздо меньшей энергии фотона и с повышением температуры про исходит расширение и сдвиг области края фундаментального поглощения в соответствии с правилом Урбаха. Было, однако, найдено, что при заданной энергии фотона (0,5 эВ, что соответ ствует 4000 с м - 1 ) величина а пропорциональна электропровод ности на постоянном токе по крайней мере при температурах выше 450 °С (фиг. 7.39). Таким образом, весьма вероятно,что в этих условиях наблюдается поглощение на свободных носителях.
Поглощение на свободных носителях в кристаллических полу проводниках обычно наблюдается тогда, когда значение энергии меньше края фундаментального поглощения. При заданной тем пературе оно возрастает с уменьшением энергии фотона, так что
Некристаллические полупроводники |
273 |
а ~ л.2; в справедливости этого утверждения легко убедиться, исходя из формулы Друде для электропроводности на перемен ном токе
|
i |
\ |
°~ (0) |
/ \ |
= |
4я |
, |
ч |
|
|
°" |
(<*>) |
= |
л I |
9 9 1 |
а (со) |
|
о (со) . |
|
||
При использовании этой формулы в задаче |
о |
поглощении |
света |
|||||||
на свободных носителях в полупроводниках |
предполагается, что |
|||||||||
существует время |
релаксации |
носителей по |
импульсу т. |
Как |
было указано в 7.4.4, формула Друде несправедлива для тех аморфных полупроводников, в которых значения х очень малы.
Мы предполагаем, что рост коэффициента поглощения с увели чением энергии фотона, показанный на фиг. 7.38, происходит благодаря увеличению плотности конечных состояний. Для расче та коэффициента поглощения будем следовать ходу рассуждений, приведенных в 2.13, и используем обозначения фиг. 7.4, а, тогда
оо
а |
( ( о ) = 2 £ Е ^ £ |
j N |
{ Е |
_ |
щ |
N |
(E)[f(E- |
|
|
Лео) - |
/ |
( £ |
) ] |
- g - . |
|||
|
|
ЕА |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Поскольку / (£) = |
ехр [ - |
(Е |
— |
EF)lkT] |
|
и |
N (Е) |
|
= |
N |
(Ес) |
(Е — |
|||||
— ЕА)/АЕ, |
то максимальное |
значение функции / (Е) |
N (Е) |
дости |
|||||||||||||
гается |
при |
Е = ЕА |
+ |
кТ. |
Таким |
образом, |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ЕА |
|
|
|
|
|
|
|
|
Эта формула при Тмл ^>кТ |
принимает вид |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
„ |
„ ^ - |
) |
\ х |
р |
[ |
_ |
< |
Ы |
] |
в х |
р ( |
- |
) |
, |
|
(7.38) |
где в |
соответствии |
с |
(2.29) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
a o = |
^ |
l |
[ N |
{ |
E c ) |
] |
2 . |
|
|
|
|
|
( 7.39) |
Из выражения (7.38) следует, что коэффициент поглощения про порционален электропроводности на постоянном токе и экспонен циально возрастает с увеличением энергии фотона. Предположе ния, сделанные при выводе этой формулы, заключаются в том, что плотность состояний является линейной функцией энергии и что матричный элемент перехода из локализованного состояния на дпе зоны в распространенные состояния, расположенные в зоне при больших энергиях, не зависит от энергии, а его значение определяется по формуле из 7.6.2. Близкое выражение для а было получено в работе Хиндли [245]. Отметим, что формула (7.38) дает
неправильное |
значение |
наклона |
зависимости, показанной на |
фиг. 7.38, и |
требуется |
дальнейшее |
уточнение этого вопроса. |
18— 01142
274 |
Глава 7 |
Аналогичные свойства наблюдались у твердых стекол состава As 2 (Se, Те)зх ). Во всех случаях проводимость на частоте порядка 7-101 4 с - 1 оказалась примерно в 20 раз больше, чем электропровод ность на постоянном токе. В работе Бишопа и др. [54] были полу чены сходные результаты на системе Tl2 SeAs2 Te3.
7.6.6. ФОНОННОЕ ПОГЛОЩЕНИЕ
Обобщение результатов, касающихся влияния неупорядоченно сти вещества на его колебательный спектр, оказывается затруд нительным, поскольку чпсло исследований оптических свойств
Волновое число, см'
600 ш |
зоо |
гоо |
500 Ь
25 |
33 |
W |
50 |
ЮО ZOO 1000 |
|
|
Длина |
волны, |
мим |
Ф н г. 7.40. Колебательные |
спектры аморфного |
(а) и кристаллического (б) |
|
A s 2 S e 3 при |
различных |
температурах [31]. |
|
1 — при 290 к; г — прп |
90 К ; з — |
при ю к. |
аморфных полупроводников в инфракрасной области спектра неве лико. Экспериментальные результаты будут приведены в других главах, здесь же мы отметим следующие особенности.
а) В веществах, построенных из молекул, не происходит суще ственных качественных изменений спектра поглощения, когда материал переходит из кристаллического состояния в аморфное. В аморфном селене спектр поглощения почти во всех деталях совпадает со спектром моноклинного селена, поскольку он связан с колебательными модами молекул Se8 (гл. 10).
х) Edmond, частное сообщение.
|
|
Некристаллические |
полупроводники |
275 |
|
б) В As2 Se3 и аналогичных хапькогеиидных сплавах при пере |
|||||
ходе |
в |
аморфное состояние сохраняются основные |
особенности |
||
колебательного спектра, но исчезает тонкая структура |
(фиг. 7.40) |
||||
(из |
работы [31]). |
|
|
|
|
|
в) В CdGeAs2 , а также в других материалах с преимущест |
||||
венно ковалентиой связью, в аморфной фазе |
отсутствуют колеба |
||||
тельные |
полосы, характерные для |
кристалла |
(см. фиг. 8.41). Это |
обусловлено уширением вследствие статистического разброса частот осцилляторов.
Исследование рамановских спектров селена также показывает, что молекулярные колебания сохраняются неизменными при пере ходе в неупорядоченное состояние. У германия и кремния тоже наблюдается значительное сходство рамановских спектров кри сталлической и аморфной фаз 1 ) .
Спектры поглощения аморфного S i 0 2 и аналогичных ему сте кол в далекой инфракрасной области изучались в работах Стоулена [477], Уонга и Волли [546], Белла и др. [49]. Белл и Дин [50] рассчитали колебательные спектры ряда неупорядоченных струк тур н показали, важную роль локальных колебаний (например, для ЭЮг).
7.7.ДРУГИЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ
7.7.1.ФОТОЭМИССИЯ ИЗ АМОРФНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Фотоэмиссия является одной из наиболее ценных эксперимен тальных методик для изучения зонной структуры электронов полупроводника. Электроны эмиттируются в вакуум, совершив предварительно переход из валентной зоны в проводящее состоя ние. Экспериментальное исследование оказывается наиболее пол ным, когда измеряется энергетическое распределение эмиттированных электронов при различных энергиях фотона. К сожалению, такие эксперименты довольно сложны и для их интерпретации тре буется большое мастерство. К моменту написания этой книги с помощью такой методики был тщательно исследован только аморфный германий.
Если падающий пучок света монохроматичен (энергия фотона равна Tia), то энергетическое распределение эмиттировэнных электронов дается выражением
N {Е, ha) dE = |
Т (Е) S (Е, ha) Ne (Е) Nv (Е - |
ha)dE. |
Здесь К (%а) — множитель, характеризующий спектральную чув ствительность аппаратуры, а (Йсо) — коэффициент поглощения, Т (Е) — вероятность выхода электрона с энергией Е, S (Е, Йю) —
х) Smith, Brodsky, Crowder, Nathan, частное сообщение.
18*
276 |
Глава 7 |
доля электронов, сохраняющих энергию Е после различных про цессов рассеяния. Фотоэмиссия пропорциональна присоединен ной плотности состояний валентной зоны и зоны проводимости; при этом предполагается, что не существует ограничений, связан ных с законом сохранения квазиимпульса.
Метод фотоэмиссии имеет два важных преимущества перед другими методами. Первое заключается в том, что энергию элек трона, соответствующую максимуму произведения NcNv, можно связать с энергией, которая соответствует вершине валентной
NC(E) |
Nv(E-nco) |
NCNV |
T(Ej |
NCNV Г |
Ф и г. 7.41. Схематическое изображение функций, описывающих экспери менты по фотоэмиссии.
зоны. В экспериментах по оптическому поглощению измеряются только разности энергий, тогда как в методе фотоэмиссии могут быть измерены абсолютные значения энергии. При этом требует ся знать электронное сродство, которое может быть измерено с помощью методики задерживающего потенциала. На практике, однако, максимальное значение задерживающего потенциала (для данной энергии кванта % со), которое соответствует верхней гра нице энергетического распределения электронов, непосредствен но связано с энергией электрона в вершине валентной зоны. Второе преимущество методики фотоэмиссии можно оценить, рас смотрев схемы плотностей состояний, изображенные на фиг. 7.41. Плотность состояний в валентной зоне (площадь под ней заштри хована) приподнята на энергию Йсо, что позволяет легко изобра
зить произведение NQNV. |
Эта величина умножается на функцию |
Т ( Е ) , что позволяет |
получить энергетический спектр эмиттиро- |
Некристаллические полупроводники |
277 |
ванных электронов, если считать,что S=const . При другом значе нии энергии фотона спектр электронов изменяется. Пики спектра электронов, положения которых не меняются при изменении энергии фотонов, связаны с положениями максимумов в плотности состояний в зоне проводимости. Те же пики, положение которых смещается с изменением энергии фотона, связаны с максимумами
1,0
0,8
V 0,6
О,*
о, г
-4 |
-г |
о |
2 |
4 |
Ф п г. 7.42. Оптическая плотность состояний аморфного гермаипя, определен ная по фотоэмисспи (сплошная кривая взята из работы [135]).
П у н к т и р ом изображена расчетная кривая [239] .
плотности состояний в валентной зоне. Таким образом оказывает ся возможным в принципе определить функции Nc (Е) и Nv (Е) по отдельности. Обычно трудно получить существенную информацию относительно Nc (Е), поскольку состояния зоны проводимости, расположенные ниже вакуумного уровня полупроводника, ие могут наблюдаться с помощью такой методики. При нанесении на поверхность слоя цезия происходит изменение работы выхода, и, таким образом, появляется возможность расширения наблюдае мого участка зоны проводимости.
Оптическая плотность состояний аморфного германия, опреде ленная в работе Доиована и Спайсера [135] методом фотоэмиссии, приведена на фиг. 7.42. Эти результаты будут обсуждаться в гл. 8.
7.7.2. ЭЛЕКТРОННЫЙ ПАРАМАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС
Бродский и Тайтл [70] исследовали ЭПР на пленках аморфных германия, кремния и карбида кремния. Сравнивая значения g-фактора, ширину и форму линии ЭПР, полученные на аморфном
278 Глава 7
веществе и на свежесколотой поверхности монокристалла, эти авторы пришли к заключению, что сигнал ЭПР обусловлен нали чием разорванных связей. Их результаты приведены в табл. 7.6.
Высокая плотность спинов ( ~ 1 0 2 0 см - 3 ) |
является |
истинно объем- |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
Таблица |
7.6 |
|
|
Сравнение данных по ЭПР, получеипых на пленках аморфных |
|
|||||||
|
полупроводников и на кристаллических материалах |
|
|
||||||
Плотности сппнов даются с точностью до множителя |
порядка |
2. Данные по |
аморфным |
||||||
пленкам взяты из работы [ 7 0 ] , данные для |
кристаллов — из |
р а б о т ы [ 5 3 1 ] |
(см. |
также |
|||||
|
Аморфные пленки (77 К ) |
Кристаллические |
Кристаллы, |
облу |
|||||
|
поверхности |
|
ченные нейтронами |
||||||
|
|
|
|
|
|||||
М а т е |
|
плотность |
|
|
|
|
|
|
|
риал |
|
ширина |
|
ширина |
|
ширина |
|||
|
^-фактор |
сппнов, |
g-фактор |
g-фактор |
|||||
|
линии, Г с |
с м - з |
линии, |
Г с |
линии, Г с |
||||
S i |
2,0055 |
4,7 |
2-102 ° |
2,0055 |
7 - 8 |
2,0055 |
1 6 - 2 0 |
||
± 0 , 0 0 0 5 |
|
|
± 0 , 0 0 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1-1020 |
|
|
|
|
|
||
Ge |
2,021 |
39 |
2,023 |
50 |
|
|
|
|
|
± 0 , 0 0 1 |
|
|
± 0 , 0 0 3 |
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
||
S i C |
2,003 |
|
2,0027 |
5,5 |
|
|
|
|
|
± 0 , 0 0 1 |
|
|
± 0 , 0 0 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ной плотностью. При отжиге аморфного кремния (см. 8.1.4) эту плотность можно уменьшить в 10—100 раз, когда температура приближается к температуре перехода в кристаллическое состо яние (~ 450 °С). Наблюдаемая ширина линии сравнительно неве лика; это позволяет предположить существование обменного ме ханизма сужения линии вследствие перемещения неспаренного электрона оборванной связи с одного атома на другой.
Аналогичные исследования халькогенидных |
стекол г ) показа |
ли, что в них имеется значительно меньшая |
плотность таких |
центров. |
|
7.7.3. М А Г Н И Т Н А Я ВОСПРИИМЧИВОСТЬ
В работе Червинка и др. [85] была измерена температурная зависимость магнитной восприимчивости стекол типа CdGex As2 (гл. 8). В отличие от кристаллов CdAs2 и CdGeAs2 , у которых диамагнитная восприимчивость не зависит от температуры, вос приимчивость стекол имеет слагаемое, зависящее от температуры и подчиняющееся закону Кюри. Полную магнитную восприимчи-
) Friizsche, частное сообщение.
IIекристаллические |
полупроводники |
279 |
востъ можно представить в виде |
|
|
Х = Хо + |
4 » |
(7-40) |
где |
|
|
Здесь п — концентрация магнитных моментов и., |
р — плотность |
вещества. Используя эту формулу, Червинка и др. получили, что концентрация парамагнитных центров в стекле CdGeAs2 состав ляет 102 0 с м - 3 . Аналогичные измерения Тауца и др. [498] иа стекле As 2 S 3 показали, что в этом материале концентрация свободных спинов равна 6-101 7 см~3 . Диамагнитная составляющая %0 стекол As2Sx была измерена Цимплом и др. [98].
7.8. НЕОМИЧЕСКИЙ РЕЖИМ ПРОВОДИМОСТИ В СИЛЬНЫХ П О Л Я Х
Как показали многие эксперименты, плотность тока в тонких пленках аморфных полупроводников, так же как и в большинстве кристаллических материалов, в сильном электрическом поле воз растает сверхлинейно. Мы не стремимся дать обзор эксперимен тальных работ; для этой цели можно порекомендовать Journal of Non-Crystalline Solids (Vol. 4), где помещены доклады конферен ции по этим вопросам, состоявшейся в Кембридже в 1969 г. Однако отметим возможные механизмы, приводящие к сверхлинейиости, и опишем некоторые эксперименты.
а) Эффект Френкеля — Пула. Если полупроводник —кристал лический или аморфный — содержит доноры, то, как было пока
зано Френкелем [178] |
вслед за более ранними работами |
Пула |
[422 , 423], электрическое поле F уменьшает энергию ионизации |
||
центра на величину |
где |
|
|
Р = ^ - |
(7-42) |
Потенциальная энергия электрона показана на фиг. 7.43. При вы воде формулы (7.42) предполагалось, что возможностью туннелироваиия сквозь барьер можно пренебречь. Модель, приводящая к (7.42), является одномерной. Трехмерные задачи рассматрива лись Джоншером [262] и Хартке [230]. Однако при понижении температуры эффект туннелирования становится существенным; соответствующие формулы были выведены в работе Хилла [242], где они были применены для объяснения экспериментальных результатов, полученных различными авторами на пленках аморф ного SiO. Теория оказалась в хорошем согласии с экспериментом. Предполагалось, что электрон, освободившись из ямы, не захва тывается более никакой другой ловушкой в пленке.