Тонкопленочные солнечные элементы
.pdfПоследовательное сопротивление обусловлено объемным сопротивле- |
|||
нием подложки, сопротивлением контактов на лицевой и обратной сторонах |
|||
подложки. Шунтирующее сопротивление вы- |
|
Iф |
|
звано главным образом токами утечки через |
Rп |
||
|
|||
p–n-переход. Каналы объемных утечек соз- |
|
||
|
|
||
даются инородными микро- и макровключе- |
|
Rш |
|
ниями в материале p–n-перехода. Каналы по- |
|
||
I |
R0 |
||
верхностных утечек образуются при интен- |
|||
|
U |
||
сивной рекомбинации электронно-дырочных |
|
||
|
|
||
пар через непрерывный ряд энергетических |
Рис. 2.20. Эквивалентная схема |
||
состояний на поверхности полупроводника, |
реального солнечного элемента |
||
|
|
||
возникающих из-за нарушения валентных связей, а также при прохождении |
|||
тока по загрязнениям в местах выхода p–n-перехода на поверхность [17]. |
|||
Для получения более точной картины, особенно в случае применения |
|||
в приборах тонких пленок, оказывающих сопротивление протеканию тока, |
|||
следует использовать различные модели распределенного сопротивления, |
|||
рассчитываемые численными и аналитическими методами. |
|
||
Суммируя токи, протекающие в ветвях эквивалентной схемы, получа- |
|||
ем уравнение вольт-амперной характеристики реального фотоэлемента |
I I |
exp |
e U IRп |
1 |
|
U IRп |
I |
ф |
. |
(2.45) |
|
|
||||||||
|
s |
aKT |
|
|
Rш |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
Последовательное и шунтирующее сопротивления обусловливают потери в СЭ, которые приводят к уменьшению коэффициента формы и на-
пряжения холостого хода. Поэтому знание этих параметров очень важно для совершенствования технологии изготовления солнечных элементов.
I, А |
|
|
|
|
0,015 |
I, А |
|
|
|
|
|
50 |
|
3 |
|
|
0,1 |
0,05 |
0,001 |
3 |
|
|
|
0,5 |
|
500 |
|
|
|
|
|
|
0,2 |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
2 |
0,5 Ом |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
0,1 Ом |
|
|
|
|
|||
1 |
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
0 |
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,4 |
0,5 |
0,6 U,В |
0 |
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,4 |
0,5 |
0,6 U,В |
Рис. 2.21. ВАХ солнечного элемента |
Рис. 2.22. ВАХ солнечного элемента |
||||||||||||
с различным значением сопротивления Rп |
с различным значением сопротивленияRш |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
41 |
|
|
|
|
|
|
|
Как правило, Rш велико, поэтому вторым слагаемым в уравнении (2.45) |
|||||||||||||
можно пренебречь. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Падение напряжения на последовательном сопротивлении оказывает зна- |
|||||||||||||
чительно более существенное влияние на вольт-амперную характеристику, чем |
|||||||||||||
P, отн. ед. |
|
|
|
|
|
|
падение напряжения на шунтирую- |
||||||
1,0 |
|
|
|
|
|
|
щем сопротивлении(рис. 2.21и2.22). |
||||||
0,8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Как видно из рис. 2.23, при уве- |
|||
0,6 |
|
|
|
|
|
|
личении последовательного сопротив- |
||||||
0,4 |
|
|
|
|
|
|
ления от 0 до 5 Ом мощность умень- |
||||||
0,2 |
|
|
|
|
|
|
шается более чем на 70 %. |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
0 |
2 4 6 |
8 10 1214 Rп, Ом |
|
|
|
Допустимое значение R , обес- |
|||||||
Рис. 2.23. Зависимость выходной |
|
|
|
|
|
п |
|||||||
печивающее малые потери мощно- |
|||||||||||||
мощности фотоэлемента P |
|||||||||||||
сти, приближенно может быть най- |
|||||||||||||
от последовательного сопротивления Rп |
|||||||||||||
дено, предполагая, что рабочая точка характеристики элемента отвечает |
|||||||||||||
режиму максимальной мощности, когда полные потери можно представить |
|||||||||||||
в виде J 2R |
[21]. Тогда доля потерь мощности Z определяется как |
||||||||||||
m |
п |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
п |
|
|
|
Z = J |
m |
2R /(J V ) = J R /V J |
R /V . |
|||||||||
|
п |
|
|
п |
m m m п |
|
m |
к. з п х. х |
|||||
При условиях J |
к. з |
= 40 мА/см2 |
и V |
|
|
= 0,6 В, чтобы доля потерь была |
|||||||
|
|
|
|
|
х. х |
|
|
|
|||||
меньше 3 %, последовательное сопротивление квадратного сантиметра |
|||||||||||||
площади элемента не должно превышать 0,5 Ом. |
|
||||||||||||
Аналогично доля потерь мощности на шунтирующем сопротивлении |
|||||||||||||
записывается в виде |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Z = V |
2R /(J |
V ) = V /J |
m |
R V /(J |
R ). |
|||||||
|
ш |
|
m |
ш |
m m |
m |
|
ш |
х. х |
к. з ш |
|||
Для того чтобы потери, обусловленные Rш, не превышали 3 %, Rш каждого |
|||||||||||||
квадратного сантиметра площади солнечного элемента должно быть боль- |
|||||||||||||
ше 500 Ом. Этот приближенный анализ обеспечивает достаточно точные |
|||||||||||||
результаты при Zп и Zш, не превышающих 5 %. При небольших потерях |
|||||||||||||
мощности Vх. х и ток Iк. з почти не изменяется, а наиболее существенная |
|||||||||||||
причина этих потерь — относительное уменьшение коэффициента формы. |
2.5.2. Влияние температуры и радиации
на параметры солнечных элементов
При увеличении температуры диффузионные длины в Si и GaAs воз-
растают, поскольку коэффициент диффузии не изменяется либо увеличивается, а время жизни неосновных носителей возрастает при повышении
42
температуры. Увеличение диффузионной длины неосновных носителей
приводит к росту Iк. з. Однако этот эффект невелик и составляет порядка
0,07 %/К (рис. 2.24). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
4,0 |
|
|
|
|
|
50 °C |
|
|
|
|
|
|
AM 1,5 |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
80 |
|
|
|
|
|
|||
3,0 |
|
|
|
|
|
25 °C |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
ид, % |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
60 |
|
|
|
|
|
||||
I,А2,0 |
|
|
75 °C |
|
|
|
|
|
GaAs |
|
|
||||||
|
|
|
0 °C |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
1,0 |
|
|
|
100 °C |
|
η(T)/η |
40 |
|
Si |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
|
|
|
|
|
0 |
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
|
|
|
0 |
100 200 300 400 |
|
||||
|
|
|
U, В |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T, °С |
|
|
||
Рис. 2.24. ВАХ солнечного элемента |
Рис. 2.25. Нормализованная |
|
|||||||||||||||
эффективность преобразования |
|||||||||||||||||
при различных температурах |
|
для идеальных солнечных элементов |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
на основе Si и GaAs |
|
||||||
Принимая во внимание, что Iф >> I01, из уравнений (2.17) и (2.21) с |
|||||||||||||||||
учетом закона действующих масс для носителей заряда |
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
g |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ni2 np NcNv exp |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
||
получаем следующее выражение для Uх. х: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
Uх. х Eg kT ln qNvNcAj / Iф |
Ln / nn n |
Lp / pp p |
. |
|
|||||||||||||
|
|
e |
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Из этого уравнения следует, что Uх. х значительно уменьшается с увели- |
|||||||||||||||||
чением температуры (см. рис. 2.24), превышает увеличение Iк. з и составляет |
|||||||||||||||||
порядка |
0,4 %/К. |
Кроме |
того, более |
I, А |
|
|
|
1000 |
|
|
|
||||||
плавная форма вольт-амперной харак- |
3,0 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
800 |
|
|
|
|
||||||||||
теристики при повышенных темпера- |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
2,0 |
|
|
|
600 |
|
|
|
|
|||||||||
турах приводит к уменьшению коэф- |
|
|
|
400 |
|
|
|
|
|||||||||
1,0 |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
фициента формы. Поэтому в целом |
|
|
|
200 Вт/м2 |
|
|
|
||||||||||
повышение температуры |
приводит к |
0 |
|
|
0,1 |
0,2 |
0,3 |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
|||||||
снижению эффективности преобразо- |
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
U, В |
|
|
||||||||||
вания (рис. 2.25). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
Рис. 2.26. ВАХ солнечного элемента при |
||||||||||||
Как следует из уравнения (2.19), |
|||||||||||||||||
различной интенсивности излучения |
|||||||||||||||||
фототок, а значит, и ток короткого замыкания Iк. з |
прямо пропорционален |
||||||||||||||||
интенсивности излучения (рис. 2.26). В то же время в соответствии с выра- |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
43 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
жением (2.22) напряжение холостого хода Ux. x имеет логарифмическую за-
висимость от интенсивности излучения.
В космических условиях выходная мощность солнечных элементов понижается в связи с тем, что облучение частицами высоких энергий на удаленных орбитах приводит к образованию дефектов в полупроводнике.
Из выражений (2.37) и (2.40) видно, что фототок снижается с уменьшением диффузионных длин Ln и Lp. Время жизни избыточных неоснов-
ных носителей при облучении полупроводника частицами высоких энер-
гий меняется по закону
1 |
|
1 |
K1Ф, |
(2.46) |
|
|
0
где 0 — исходное время жизни; K1 — постоянная; Ф — доза радиации.
Из выражения (2.46) следует, что скорость рекомбинации неосновных носителей пропорциональна исходной концентрации рекомбинационных центров и их концентрации, вводимой в полупроводник в процессе облучения и пропорциональной дозе попадающих на полупроводник частиц.
Поскольку диффузионная длина равна D , a D слабо зависит от облучения
(или от уровня легирования), соотношение (2.46) можно записать в виде
1 |
|
1 |
KФ, |
2 |
2 |
||
L |
L0 |
где L0 — исходная диффузионная длина; K = K1/D.
Для повышения радиационной стойкости в солнечные элементы вво-
дится литий, который легко диффундирует и образует комплексы с радиационными точечными дефектами. Очевидно, Li нейтрализует дефекты и препятствует деградации времени жизни. Для снижения числа частиц высоких энергий, достигающих элемента в космическом пространстве, перед лицевой поверхностью элемента должно помещаться защитное покрытие (например, содержащая церий тончайшая бумага).
2.5.3. Соединение отдельных солнечных элементов
Отдельные солнечные элементы на практике не используются. От-
дельный солнечный элемент имеет низкие значения Iк. з и Uх. х, в частно-
сти, кремниевый СЭ площадью 2 см2 — напряжение холостого хода 0,5– 0,6 В и ток короткого замыкания от 30 до 60 мА.
44
Если необходимо обеспечить высокие значения тока, используется па-
раллельное соединение солнечных элементов (рис. 2.27). Вольт-амперные характеристики солнечных батарей с различным количеством параллельно соединенных солнечных элементов представлены на рис. 2.28.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I, А |
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Iн |
10,0 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8,0 |
|
|
2 |
|
|||||
|
|
Iф1 |
|
ID1 |
|
Iф2 |
ID2 |
|
Iф3 |
|
ID3 |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Uн Rн |
|
|
6,0 |
|
|
1СЭ |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4,0 |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
UD1 |
|
|
|
UD2 |
|
|
|
UD3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,0 |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
U, В |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
0,20,40,6 |
|||
|
|
Рис. 2.27. Параллельное соединение |
|
Рис. 2.28. ВАХ СЭ, |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
солнечных элементов |
|
соединенных параллельно |
Для обеспечения высоких значений напряжения применяется последовательное соединение солнечных элементов (рис. 2.29). Вольт-амперные ха-
рактеристики солнечных батарей с различным количеством последовательно соединенных солнечных элементов представлены на рис. 2.30.
Iф1 |
ID1 |
|
Iн |
12,0 |
|
|
|
|
|
|
10,0 |
|
|
|
|||
UD1 |
|
|
|
А |
8,0 |
|
|
|
Iф2 |
ID2 |
Uн |
Rн |
I, |
6,0 |
|
|
|
|
1СЭ |
2 |
Т3 |
|||||
UD2 |
|
|
4,0 |
|||||
|
|
|
|
2,0 |
|
|
|
|
Iф3 |
ID3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
0,2 0,4 0,60,81,01,2 1,41,6 1,82,0 |
||||
UD3 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
U, В |
Рис. 2.29. Последовательное |
|
Рис. 2.30. ВАХ СЭ, соединенных |
||||||
соединение солнечных элементов |
|
|
|
последовательно |
Последовательно-параллельное соединение элементов в большую́ ба-
тарею позволяет подводить к нагрузке одновременно большие́ напряжения и токи.
45
3. СВОЙСТВА АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО
КРЕМНИЯ И СПЛАВОВ НА ЕГО ОСНОВЕ
Положили начало широкому исследованию аморфных тетраэдрических полупроводников работы У. Спира и П. Ле Комбера [23], [24]. В 1973 г. ученые обнаружили, что пленки аморфного кремния, получаемые путем раз-
ложения моносилана SiH4 в плазме тлеющего разряда, обладают необычно высокими электронными свойствами. В 1975 г. они отметили, что свойства пленок a-Si: H можно изменять в широких пределах путем контролируемо-
го введения в газовую фазу небольших добавок диборана B2H6 или фосфи-
на PH3. В 1976 г. Д. Карлсоном и К. Вронски были впервые созданы сол-
нечные элементы на основе a-Si: H (КПД СЭ составлял 2,4 %), после чего началось активное развитие области применения аморфных полупроводни-
ков [25]–[30].
Впервые солнечный элемент на основе p–i–n-структуры был изготовлен в 1980 г. группой ученых Хамакава. В том же году фирма «Sanyo»
впервые использовала СЭ на основе a-Si: H в коммерческих целях для питания ручных калькуляторов, началось массовое производство солнечных элементов на основе аморфного кремния.
К достоинствам а-Si: Н относятся:
•дешевизна устройств на его основе и их технологическая совместимость с устройствами на основе монокристаллического кремния c-Si;
•возможность получения тонких пленок практически на любых подложках — в отношении как материала, так и размеров;
•радиационная стойкость, обеспечивающая стабильную работу приборов в условиях воздействия жесткого ионизирующего излучения;
•более высокие по сравнению с монокристаллическим кремнием коэффициент поглощения и фоточувствительность, обусловленные разупорядоченностью структуры a-Si: H и наличием в ней водорода.
3.1. Атомная структура неупорядоченных
тетраэдрических полупроводников
В неупорядоченных полупроводниках, в отличие от кристаллических,
отсутствует дальний порядок [25]–[30]. Вместе с тем установлено, что в неупорядоченных полупроводниках существует ближний и средний по-
рядок. Для полупроводниковых материалов с преобладанием ковалентного
46
типа химических связей ближний порядок определяется взаимодействием ковалентно связанных атомов и распространяется на первую и частично вторую координационные сферы. Средний порядок определяется взаимо-
действиями электронов неподеленных пар, ван-дер-ваальсовым взаимодей-
ствием и формируется атомами, входящими частично во вторую координа-
ционную сферу и координационные сферы более высоких порядков.
Для аморфных полупроводников с тетраэдрической координацией их кристаллических аналогов первое координационное число остается близ-
ким к четырем (4 ± 0,1), радиус первой координационной сферы соответст-
вует (с отклонениями, как правило, не более 0,06 Å) межатомному расстоя-
нию в кристалле. Это свидетельствует о сохранении тетраэдрической структуры материалов в твердом некристаллическом состоянии. Однако упаковка тетраэдров в аморфной и кристаллической фазах различна, что вызывает потерю дальнего порядка в аморфной фазе.
В настоящее время для описания атомной структуры неупорядочен-
ных тетраэдрических полупроводников, как правило, используют модели непериодической непрерывной сетки с произвольным значением двугран-
ного угла, определяющий угол скручивания двух соседних тетраэдров.
Центрами этих тетраэдров являются соседние атомы, а скручивание проис-
ходит вокруг оси — линии вдоль связи, соединяющей эти атомы. Произ-
вольные значения двугранных углов приводят к существованию наряду с шестичленными пяти- и семичленных колец, что сопровождается некото-
рым изменением длин и углов связей. В такой трехмерной сетке содержит-
ся значительное число структурных дефектов в виде оборванных связей.
Введение в аморфный кремний атомов водорода кардинально меняет свойства материала. С увеличением содержания водорода радиус первой координационной сферы остается неизменным, а первое координационное число и плотность материала уменьшаются. Уменьшение первого коорди-
национного числа связано с замещением части связей кремний-кремний
(Si-Si) на связи Si-H и Si-H2. Однокоординированные атомы водорода на-
сыщают химическую связь атома кремния.
В пленках a-Si:H в зависимости от условий получения содержатся два типа связей водорода [31], [32]: первый (обязательный) связан с наличием случайным образом распределенного моногидрида Si-H, второй — обу-
словлен присутствием полигидридов типа (Si-H)n, где n > 1, и кластериро-
47
ванного Si-H. Полигидридные конфигурации обнаруживаются в пленках с выраженной микроструктурой и характерны для соединительной ткани между колоннами.
Благодаря периодической структуре кристаллического материала но-
сители заряда могут иметь большую длину свободного пробега до взаимо-
действия с несовершенствами решетки, что определяет высокую подвиж-
ность электронов и дырок. Формирование неупорядоченной сетки атомов приводит к тому, что в a-Si:H подвижность носителей заряда значительно ниже, чем в кристаллическом кремнии. Подвижность электронов находит-
ся на уровне 10 см2/В с и на два порядка выше подвижности дырок.
3.2. Модель энергетического спектра носителей заряда
Несмотря на то, что до настоящего времени единой теории некристалли-
ческих материалов не существует, многие оптические и фотоэлектрические свойства могут быть объяснены исходя из представлений о зонном распреде-
лении энергетических состояний в аморфных полупроводниках [25]–[30], [33]. Однако отсутствие дальнего порядка приводит к существенному отли-
чию структуры энергетических зон кристаллических и неупорядоченных по-
лупроводников. В связи с этим перед рассмотрением собственно оптического поглощения в аморфных полупроводниках необходимо представить особен-
ности структуры энергетических зон в неупорядоченных полупроводниках.
В них отсутствует дальний порядок, поэтому основные положения зонной теории кристаллов в данном случае оказываются неприменимыми.
В начале 50-х годов А.Ф. Иоффе сформулировал эмпирическое прави-
ло, из которого следует, что за полупроводниковые свойства в материалах отвечает ближний порядок. Сохранение ближнего порядка в неупорядо-
ченных полупроводниках объясняет зонный характер распределения в них энергетических состояний.
Аморфные материалы, так же как идеальные полупроводники, имеют делокализованные состояния, благодаря которым электроны и дырки могут свободно перемещаться. Однако отсутствие дальнего порядка приводит к тому, что для них длина свободного пробега значительно ниже, чем в кри-
сталлическом материале. Когда эта зависящая от энергии длина свободного пробега становится сравнимой с межатомным расстоянием, носители заряда локализуются.
48
Исследования об электронной структуре аморфных полупроводников и предположение о наличии хвостов зон в некристаллических полупроводниках были представлены А. И. Губановым в 1963 г. [34].
Конкретные расчеты и оценка реальных неупорядоченных систем были проведены в работах Мотта [26]–[28], [30], [35]. Согласно идеям Мотта в неупорядоченных полупроводниках должны существовать хвосты локализованных состояний на краях валентной зоны и зоны проводимости, а также граничные энергии, разделяющие локализованные состояния от распространенных [35]. На основе этих исследований было разработано несколько
моделей структуры энергетических зон в не- |
N(E) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
упорядоченных полупроводниках. Согласно |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Мотту и Дэвису (рис. 3.1) хвосты локализо- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ванных состояний довольно узкие и распро- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
страняются в запрещенную зону на несколь- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ко десятых долей электронвольта. Уровень |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
E |
E |
E |
E |
|
E |
||||
|
|
|
|||||||||
Ферми закрепляется в узкой зоне компенси- |
|
|
|
V |
B |
F |
A |
|
C |
|
|
рованных уровней (вблизи середины запре- |
Рис. 3.1. Распределение |
|
|||||||||
щенной зоны), обязанных своим происхож- |
плотности состояний N(E) |
|
|||||||||
дением дефектам случайной сетки атомов, |
в запрещенной зоне |
|
|||||||||
аморфного полупроводника. |
|||||||||||
т. е. оборванным связям, вакансиям и т. д. |
Модель Мотта–Дэвиса: EB − EV |
||||||||||
Наличие хвостов зон обусловлено разупоря- |
— ширина хвоста валентной |
||||||||||
дочением структуры, с повышением степени |
зоны; EC − EA — ширина хвоста |
||||||||||
зоны проводимости |
|
разупорядочения аморфного полупроводника они увеличиваются и в модели Мотта–Дэвиса имеют экспоненциальное распределение. Пик глубоких состояний описывается гауссовым распределением.
В идеальном кристалле энергетические состояния не могут существовать внутри запрещенной зоны, а в аморфном полупроводнике имеется неко-
торое множество локализованных состояний. Носители могут перемещаться с локализованных состояний только в том случае, если они получат дополни-
тельную, значительную энергию. В результате отношение подвижностей носителей заряда по делокализованным и локализованным состояниям превы-
шает три порядка. Поэтому диапазон энергий от EV до EC называется в аморфных полупроводниках щелью подвижности. Именно этот аналог запрещенной зоны, энергетической щели в кристаллических полупроводниках и обеспечивает наличие полупроводниковых свойств у аморфных материалов. В кристалле оптическая и электронная энергетические щели равны.
49
В аморфном материале электронные свойства описываются щелью подвиж- |
|||
ности, а оптические свойства связаны с оптической щелью, которая обычно |
|||
меньше щели подвижности приблизительно на 50–100 мэВ [35]. |
|||
|
3.3. Оптическое поглощение |
||
Из-за разупорядочения структуры и наличия в ней водорода аморф- |
|||
ный гидрогенизированный кремний существенно отличается по оптиче- |
|||
ским свойствам [25]–[30], [36] от кристаллического кремния (рис. 3.2). |
|||
α, см−1 |
|
Собственное, или фундаментальное, |
|
106 |
|
поглощение имеет важное значение для |
|
105 |
c-Si |
аморфных полупроводников, поскольку оно |
|
определяет фотоэлектрические свойства ма- |
|||
|
|||
104 |
|
||
a-Si:H |
териала в видимой области спектра, а зна- |
||
|
чит, эффективность солнечных элементов |
||
103 |
|
||
|
и чувствительность фотоприемников. |
||
1,0 |
2,0 hν, эВ |
||
В отличие от кристаллов край погло- |
|||
Рис. 3.2. Зависимость коэффициента |
|||
щения в аморфных полупроводниках не |
|||
оптического поглощенияα |
имеет резкой границы. В случае аморфно- |
||
от энергии фотона для c-Siи a-Si:H |
|||
|
|
го гидрогенизированного кремния наблю- |
|
дается экспоненциальный рост коэффициента , для которого выполняется |
|||
эмпирическое соотношение [25]–[30], [36] |
h0exp ,E0
где 0 — предэкспоненциальный фактор; h — энергия фотона; E0 — энер-
гия (параметр) Урбаха;
Вблизи края поглощения преобладают оптические переходы с участием экспоненциально распределенных состояний хвостов зон. При этом ве-
личина параметра Урбаха E0 близка к значению E0v, определяющему про-
тяженность хвоста валентной зоны, который значительно шире, чем хвост зоны проводимости E0v > E0c. Нелегированные пленки a-Si:H, полученные при оптимальных условиях, характеризуются минимальными значениями параметра Урбаха E0 ( 50 мэВ). Для легированных пленок и тройных сплавов a-SiX:H, где X = C, Ge, N, O и т. д., величина параметра Урбаха может превышать 100–150 мэВ.
50