Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Тонкопленочные солнечные элементы

.pdf
Скачиваний:
1006
Добавлен:
07.02.2015
Размер:
6.5 Mб
Скачать

Последовательное сопротивление обусловлено объемным сопротивле-

нием подложки, сопротивлением контактов на лицевой и обратной сторонах

подложки. Шунтирующее сопротивление вы-

 

Iф

звано главным образом токами утечки через

Rп

 

pn-переход. Каналы объемных утечек соз-

 

 

 

даются инородными микро- и макровключе-

 

Rш

ниями в материале pn-перехода. Каналы по-

 

I

R0

верхностных утечек образуются при интен-

 

U

сивной рекомбинации электронно-дырочных

 

 

 

пар через непрерывный ряд энергетических

Рис. 2.20. Эквивалентная схема

состояний на поверхности полупроводника,

реального солнечного элемента

 

 

возникающих из-за нарушения валентных связей, а также при прохождении

тока по загрязнениям в местах выхода pn-перехода на поверхность [17].

Для получения более точной картины, особенно в случае применения

в приборах тонких пленок, оказывающих сопротивление протеканию тока,

следует использовать различные модели распределенного сопротивления,

рассчитываемые численными и аналитическими методами.

 

Суммируя токи, протекающие в ветвях эквивалентной схемы, получа-

ем уравнение вольт-амперной характеристики реального фотоэлемента

I I

exp

e U IRп

1

 

U IRп

I

ф

.

(2.45)

 

 

 

s

aKT

 

 

Rш

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Последовательное и шунтирующее сопротивления обусловливают потери в СЭ, которые приводят к уменьшению коэффициента формы и на-

пряжения холостого хода. Поэтому знание этих параметров очень важно для совершенствования технологии изготовления солнечных элементов.

I, А

 

 

 

 

0,015

I, А

 

 

 

 

 

50

3

 

 

0,1

0,05

0,001

3

 

 

 

0,5

 

500

 

 

 

 

 

0,2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

2

0,5 Ом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,1 Ом

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6 U

0

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6 U

Рис. 2.21. ВАХ солнечного элемента

Рис. 2.22. ВАХ солнечного элемента

с различным значением сопротивления Rп

с различным значением сопротивленияRш

 

 

 

 

 

 

41

 

 

 

 

 

 

 

Как правило, Rш велико, поэтому вторым слагаемым в уравнении (2.45)

можно пренебречь.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Падение напряжения на последовательном сопротивлении оказывает зна-

чительно более существенное влияние на вольт-амперную характеристику, чем

P, отн. ед.

 

 

 

 

 

 

падение напряжения на шунтирую-

1,0

 

 

 

 

 

 

щем сопротивлении(рис. 2.21и2.22).

0,8

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Как видно из рис. 2.23, при уве-

0,6

 

 

 

 

 

 

личении последовательного сопротив-

0,4

 

 

 

 

 

 

ления от 0 до 5 Ом мощность умень-

0,2

 

 

 

 

 

 

шается более чем на 70 %.

 

 

 

 

 

 

 

0

2 4 6

8 10 1214 Rп, Ом

 

 

 

Допустимое значение R , обес-

Рис. 2.23. Зависимость выходной

 

 

 

 

 

п

печивающее малые потери мощно-

мощности фотоэлемента P

сти, приближенно может быть най-

от последовательного сопротивления Rп

дено, предполагая, что рабочая точка характеристики элемента отвечает

режиму максимальной мощности, когда полные потери можно представить

в виде J 2R

[21]. Тогда доля потерь мощности Z определяется как

m

п

 

 

 

 

 

 

 

 

 

п

 

 

Z = J

m

2R /(J V ) = J R /V J

R /V .

 

п

 

 

п

m m m п

 

m

к. з п х. х

При условиях J

к. з

= 40 мА/см2

и V

 

 

= 0,6 В, чтобы доля потерь была

 

 

 

 

 

х. х

 

 

 

меньше 3 %, последовательное сопротивление квадратного сантиметра

площади элемента не должно превышать 0,5 Ом.

 

Аналогично доля потерь мощности на шунтирующем сопротивлении

записывается в виде

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Z = V

2R /(J

V ) = V /J

m

R V /(J

R ).

 

ш

 

m

ш

m m

m

 

ш

х. х

к. з ш

Для того чтобы потери, обусловленные Rш, не превышали 3 %, Rш каждого

квадратного сантиметра площади солнечного элемента должно быть боль-

ше 500 Ом. Этот приближенный анализ обеспечивает достаточно точные

результаты при Zп и Zш, не превышающих 5 %. При небольших потерях

мощности Vх. х и ток Iк. з почти не изменяется, а наиболее существенная

причина этих потерь — относительное уменьшение коэффициента формы.

2.5.2. Влияние температуры и радиации

на параметры солнечных элементов

При увеличении температуры диффузионные длины в Si и GaAs воз-

растают, поскольку коэффициент диффузии не изменяется либо увеличивается, а время жизни неосновных носителей возрастает при повышении

42

температуры. Увеличение диффузионной длины неосновных носителей

приводит к росту Iк. з. Однако этот эффект невелик и составляет порядка

0,07 %/К (рис. 2.24).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4,0

 

 

 

 

 

50 °C

 

 

 

 

 

 

AM 1,5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

80

 

 

 

 

 

3,0

 

 

 

 

 

25 °C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ид, %

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

60

 

 

 

 

 

I,А2,0

 

 

75 °C

 

 

 

 

 

GaAs

 

 

 

 

 

0 °C

 

 

 

 

 

 

 

1,0

 

 

 

100 °C

 

η(T)/η

40

 

Si

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

 

 

 

0

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6

0,7

 

 

 

0

100 200 300 400

 

 

 

 

U, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T, °С

 

 

Рис. 2.24. ВАХ солнечного элемента

Рис. 2.25. Нормализованная

 

эффективность преобразования

при различных температурах

 

для идеальных солнечных элементов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

на основе Si и GaAs

 

Принимая во внимание, что Iф >> I01, из уравнений (2.17) и (2.21) с

учетом закона действующих масс для носителей заряда

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E

g

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ni2 np NcNv exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

получаем следующее выражение для Uх. х:

 

 

 

 

 

 

 

 

Uх. х Eg kT ln qNvNcAj / Iф

Ln / nn n

Lp / pp p

.

 

 

 

e

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Из этого уравнения следует, что Uх. х значительно уменьшается с увели-

чением температуры (см. рис. 2.24), превышает увеличение Iк. з и составляет

порядка

0,4 %/К.

Кроме

того, более

I, А

 

 

 

1000

 

 

 

плавная форма вольт-амперной харак-

3,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

800

 

 

 

 

теристики при повышенных темпера-

 

 

 

 

 

 

 

2,0

 

 

 

600

 

 

 

 

турах приводит к уменьшению коэф-

 

 

 

400

 

 

 

 

1,0

 

 

 

 

 

 

 

фициента формы. Поэтому в целом

 

 

 

200 Вт/м2

 

 

 

повышение температуры

приводит к

0

 

 

0,1

0,2

0,3

0,4

0,5

0,6

снижению эффективности преобразо-

 

 

 

 

 

 

 

U, В

 

 

вания (рис. 2.25).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 2.26. ВАХ солнечного элемента при

Как следует из уравнения (2.19),

различной интенсивности излучения

фототок, а значит, и ток короткого замыкания Iк. з

прямо пропорционален

интенсивности излучения (рис. 2.26). В то же время в соответствии с выра-

 

 

 

 

 

 

 

43

 

 

 

 

 

 

 

 

 

жением (2.22) напряжение холостого хода Ux. x имеет логарифмическую за-

висимость от интенсивности излучения.

В космических условиях выходная мощность солнечных элементов понижается в связи с тем, что облучение частицами высоких энергий на удаленных орбитах приводит к образованию дефектов в полупроводнике.

Из выражений (2.37) и (2.40) видно, что фототок снижается с уменьшением диффузионных длин Ln и Lp. Время жизни избыточных неоснов-

ных носителей при облучении полупроводника частицами высоких энер-

гий меняется по закону

1

 

1

K1Ф,

(2.46)

 

 

0

где 0 — исходное время жизни; K1 — постоянная; Ф — доза радиации.

Из выражения (2.46) следует, что скорость рекомбинации неосновных носителей пропорциональна исходной концентрации рекомбинационных центров и их концентрации, вводимой в полупроводник в процессе облучения и пропорциональной дозе попадающих на полупроводник частиц.

Поскольку диффузионная длина равна D , a D слабо зависит от облучения

(или от уровня легирования), соотношение (2.46) можно записать в виде

1

 

1

KФ,

2

2

L

L0

где L0 — исходная диффузионная длина; K = K1/D.

Для повышения радиационной стойкости в солнечные элементы вво-

дится литий, который легко диффундирует и образует комплексы с радиационными точечными дефектами. Очевидно, Li нейтрализует дефекты и препятствует деградации времени жизни. Для снижения числа частиц высоких энергий, достигающих элемента в космическом пространстве, перед лицевой поверхностью элемента должно помещаться защитное покрытие (например, содержащая церий тончайшая бумага).

2.5.3. Соединение отдельных солнечных элементов

Отдельные солнечные элементы на практике не используются. От-

дельный солнечный элемент имеет низкие значения Iк. з и Uх. х, в частно-

сти, кремниевый СЭ площадью 2 см2 — напряжение холостого хода 0,5– 0,6 В и ток короткого замыкания от 30 до 60 мА.

44

Если необходимо обеспечить высокие значения тока, используется па-

раллельное соединение солнечных элементов (рис. 2.27). Вольт-амперные характеристики солнечных батарей с различным количеством параллельно соединенных солнечных элементов представлены на рис. 2.28.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I, А

 

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Iн

10,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8,0

 

 

2

 

 

 

Iф1

 

ID1

 

Iф2

ID2

 

Iф3

 

ID3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Uн Rн

 

 

6,0

 

 

1СЭ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

UD1

 

 

 

UD2

 

 

 

UD3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

U, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

0,20,40,6

 

 

Рис. 2.27. Параллельное соединение

 

Рис. 2.28. ВАХ СЭ,

 

 

 

 

 

солнечных элементов

 

соединенных параллельно

Для обеспечения высоких значений напряжения применяется последовательное соединение солнечных элементов (рис. 2.29). Вольт-амперные ха-

рактеристики солнечных батарей с различным количеством последовательно соединенных солнечных элементов представлены на рис. 2.30.

Iф1

ID1

 

Iн

12,0

 

 

 

 

 

10,0

 

 

 

UD1

 

 

 

А

8,0

 

 

 

Iф2

ID2

Uн

Rн

I,

6,0

 

 

 

 

1СЭ

2

Т3

UD2

 

 

4,0

 

 

 

 

2,0

 

 

 

Iф3

ID3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

0,2 0,4 0,60,81,01,2 1,41,6 1,82,0

UD3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U, В

Рис. 2.29. Последовательное

 

Рис. 2.30. ВАХ СЭ, соединенных

соединение солнечных элементов

 

 

 

последовательно

Последовательно-параллельное соединение элементов в большую́ ба-

тарею позволяет подводить к нагрузке одновременно большие́ напряжения и токи.

45

3. СВОЙСТВА АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО

КРЕМНИЯ И СПЛАВОВ НА ЕГО ОСНОВЕ

Положили начало широкому исследованию аморфных тетраэдрических полупроводников работы У. Спира и П. Ле Комбера [23], [24]. В 1973 г. ученые обнаружили, что пленки аморфного кремния, получаемые путем раз-

ложения моносилана SiH4 в плазме тлеющего разряда, обладают необычно высокими электронными свойствами. В 1975 г. они отметили, что свойства пленок a-Si: H можно изменять в широких пределах путем контролируемо-

го введения в газовую фазу небольших добавок диборана B2H6 или фосфи-

на PH3. В 1976 г. Д. Карлсоном и К. Вронски были впервые созданы сол-

нечные элементы на основе a-Si: H (КПД СЭ составлял 2,4 %), после чего началось активное развитие области применения аморфных полупроводни-

ков [25]–[30].

Впервые солнечный элемент на основе p–i–n-структуры был изготовлен в 1980 г. группой ученых Хамакава. В том же году фирма «Sanyo»

впервые использовала СЭ на основе a-Si: H в коммерческих целях для питания ручных калькуляторов, началось массовое производство солнечных элементов на основе аморфного кремния.

К достоинствам а-Si: Н относятся:

дешевизна устройств на его основе и их технологическая совместимость с устройствами на основе монокристаллического кремния c-Si;

возможность получения тонких пленок практически на любых подложках — в отношении как материала, так и размеров;

радиационная стойкость, обеспечивающая стабильную работу приборов в условиях воздействия жесткого ионизирующего излучения;

более высокие по сравнению с монокристаллическим кремнием коэффициент поглощения и фоточувствительность, обусловленные разупорядоченностью структуры a-Si: H и наличием в ней водорода.

3.1. Атомная структура неупорядоченных

тетраэдрических полупроводников

В неупорядоченных полупроводниках, в отличие от кристаллических,

отсутствует дальний порядок [25]–[30]. Вместе с тем установлено, что в неупорядоченных полупроводниках существует ближний и средний по-

рядок. Для полупроводниковых материалов с преобладанием ковалентного

46

типа химических связей ближний порядок определяется взаимодействием ковалентно связанных атомов и распространяется на первую и частично вторую координационные сферы. Средний порядок определяется взаимо-

действиями электронов неподеленных пар, ван-дер-ваальсовым взаимодей-

ствием и формируется атомами, входящими частично во вторую координа-

ционную сферу и координационные сферы более высоких порядков.

Для аморфных полупроводников с тетраэдрической координацией их кристаллических аналогов первое координационное число остается близ-

ким к четырем (4 ± 0,1), радиус первой координационной сферы соответст-

вует (с отклонениями, как правило, не более 0,06 Å) межатомному расстоя-

нию в кристалле. Это свидетельствует о сохранении тетраэдрической структуры материалов в твердом некристаллическом состоянии. Однако упаковка тетраэдров в аморфной и кристаллической фазах различна, что вызывает потерю дальнего порядка в аморфной фазе.

В настоящее время для описания атомной структуры неупорядочен-

ных тетраэдрических полупроводников, как правило, используют модели непериодической непрерывной сетки с произвольным значением двугран-

ного угла, определяющий угол скручивания двух соседних тетраэдров.

Центрами этих тетраэдров являются соседние атомы, а скручивание проис-

ходит вокруг оси — линии вдоль связи, соединяющей эти атомы. Произ-

вольные значения двугранных углов приводят к существованию наряду с шестичленными пяти- и семичленных колец, что сопровождается некото-

рым изменением длин и углов связей. В такой трехмерной сетке содержит-

ся значительное число структурных дефектов в виде оборванных связей.

Введение в аморфный кремний атомов водорода кардинально меняет свойства материала. С увеличением содержания водорода радиус первой координационной сферы остается неизменным, а первое координационное число и плотность материала уменьшаются. Уменьшение первого коорди-

национного числа связано с замещением части связей кремний-кремний

(Si-Si) на связи Si-H и Si-H2. Однокоординированные атомы водорода на-

сыщают химическую связь атома кремния.

В пленках a-Si:H в зависимости от условий получения содержатся два типа связей водорода [31], [32]: первый (обязательный) связан с наличием случайным образом распределенного моногидрида Si-H, второй — обу-

словлен присутствием полигидридов типа (Si-H)n, где n > 1, и кластериро-

47

ванного Si-H. Полигидридные конфигурации обнаруживаются в пленках с выраженной микроструктурой и характерны для соединительной ткани между колоннами.

Благодаря периодической структуре кристаллического материала но-

сители заряда могут иметь большую длину свободного пробега до взаимо-

действия с несовершенствами решетки, что определяет высокую подвиж-

ность электронов и дырок. Формирование неупорядоченной сетки атомов приводит к тому, что в a-Si:H подвижность носителей заряда значительно ниже, чем в кристаллическом кремнии. Подвижность электронов находит-

ся на уровне 10 см2/В с и на два порядка выше подвижности дырок.

3.2. Модель энергетического спектра носителей заряда

Несмотря на то, что до настоящего времени единой теории некристалли-

ческих материалов не существует, многие оптические и фотоэлектрические свойства могут быть объяснены исходя из представлений о зонном распреде-

лении энергетических состояний в аморфных полупроводниках [25]–[30], [33]. Однако отсутствие дальнего порядка приводит к существенному отли-

чию структуры энергетических зон кристаллических и неупорядоченных по-

лупроводников. В связи с этим перед рассмотрением собственно оптического поглощения в аморфных полупроводниках необходимо представить особен-

ности структуры энергетических зон в неупорядоченных полупроводниках.

В них отсутствует дальний порядок, поэтому основные положения зонной теории кристаллов в данном случае оказываются неприменимыми.

В начале 50-х годов А.Ф. Иоффе сформулировал эмпирическое прави-

ло, из которого следует, что за полупроводниковые свойства в материалах отвечает ближний порядок. Сохранение ближнего порядка в неупорядо-

ченных полупроводниках объясняет зонный характер распределения в них энергетических состояний.

Аморфные материалы, так же как идеальные полупроводники, имеют делокализованные состояния, благодаря которым электроны и дырки могут свободно перемещаться. Однако отсутствие дальнего порядка приводит к тому, что для них длина свободного пробега значительно ниже, чем в кри-

сталлическом материале. Когда эта зависящая от энергии длина свободного пробега становится сравнимой с межатомным расстоянием, носители заряда локализуются.

48

Исследования об электронной структуре аморфных полупроводников и предположение о наличии хвостов зон в некристаллических полупроводниках были представлены А. И. Губановым в 1963 г. [34].

Конкретные расчеты и оценка реальных неупорядоченных систем были проведены в работах Мотта [26]–[28], [30], [35]. Согласно идеям Мотта в неупорядоченных полупроводниках должны существовать хвосты локализованных состояний на краях валентной зоны и зоны проводимости, а также граничные энергии, разделяющие локализованные состояния от распространенных [35]. На основе этих исследований было разработано несколько

моделей структуры энергетических зон в не-

N(E)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

упорядоченных полупроводниках. Согласно

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Мотту и Дэвису (рис. 3.1) хвосты локализо-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ванных состояний довольно узкие и распро-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

страняются в запрещенную зону на несколь-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ко десятых долей электронвольта. Уровень

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E

E

E

E

E

 

E

 

 

 

Ферми закрепляется в узкой зоне компенси-

 

 

 

V

B

F

A

 

C

 

 

рованных уровней (вблизи середины запре-

Рис. 3.1. Распределение

 

щенной зоны), обязанных своим происхож-

плотности состояний N(E)

 

дением дефектам случайной сетки атомов,

в запрещенной зоне

 

аморфного полупроводника.

т. е. оборванным связям, вакансиям и т. д.

Модель Мотта–Дэвиса: EB EV

Наличие хвостов зон обусловлено разупоря-

— ширина хвоста валентной

дочением структуры, с повышением степени

зоны; EC EA — ширина хвоста

зоны проводимости

 

разупорядочения аморфного полупроводника они увеличиваются и в модели Мотта–Дэвиса имеют экспоненциальное распределение. Пик глубоких состояний описывается гауссовым распределением.

В идеальном кристалле энергетические состояния не могут существовать внутри запрещенной зоны, а в аморфном полупроводнике имеется неко-

торое множество локализованных состояний. Носители могут перемещаться с локализованных состояний только в том случае, если они получат дополни-

тельную, значительную энергию. В результате отношение подвижностей носителей заряда по делокализованным и локализованным состояниям превы-

шает три порядка. Поэтому диапазон энергий от EV до EC называется в аморфных полупроводниках щелью подвижности. Именно этот аналог запрещенной зоны, энергетической щели в кристаллических полупроводниках и обеспечивает наличие полупроводниковых свойств у аморфных материалов. В кристалле оптическая и электронная энергетические щели равны.

49

В аморфном материале электронные свойства описываются щелью подвиж-

ности, а оптические свойства связаны с оптической щелью, которая обычно

меньше щели подвижности приблизительно на 50–100 мэВ [35].

 

3.3. Оптическое поглощение

Из-за разупорядочения структуры и наличия в ней водорода аморф-

ный гидрогенизированный кремний существенно отличается по оптиче-

ским свойствам [25]–[30], [36] от кристаллического кремния (рис. 3.2).

α, см−1

 

Собственное, или фундаментальное,

106

 

поглощение имеет важное значение для

105

c-Si

аморфных полупроводников, поскольку оно

определяет фотоэлектрические свойства ма-

 

104

 

a-Si:H

териала в видимой области спектра, а зна-

 

чит, эффективность солнечных элементов

103

 

 

и чувствительность фотоприемников.

1,0

2,0 hν, эВ

В отличие от кристаллов край погло-

Рис. 3.2. Зависимость коэффициента

щения в аморфных полупроводниках не

оптического поглощенияα

имеет резкой границы. В случае аморфно-

от энергии фотона для c-Siи a-Si:H

 

 

го гидрогенизированного кремния наблю-

дается экспоненциальный рост коэффициента , для которого выполняется

эмпирическое соотношение [25]–[30], [36]

h0exp ,E0

где 0 предэкспоненциальный фактор; h — энергия фотона; E0 энер-

гия (параметр) Урбаха;

Вблизи края поглощения преобладают оптические переходы с участием экспоненциально распределенных состояний хвостов зон. При этом ве-

личина параметра Урбаха E0 близка к значению E0v, определяющему про-

тяженность хвоста валентной зоны, который значительно шире, чем хвост зоны проводимости E0v > E0c. Нелегированные пленки a-Si:H, полученные при оптимальных условиях, характеризуются минимальными значениями параметра Урбаха E0 ( 50 мэВ). Для легированных пленок и тройных сплавов a-SiX:H, где X = C, Ge, N, O и т. д., величина параметра Урбаха может превышать 100–150 мэВ.

50