
- •Предисловие
- •1. Расчет концентрационных профилей
- •Введение
- •Механизмы диффузии
- •Уравнения диффузии
- •Диффузия из постоянного источника
- •Часто вместо выражения (1.15) используют
- •Диффузия из слоя конечной толщины (из непостоянного источника)
- •Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •Диффузия из “концентрационной ступеньки”
- •1.4. Методы исследования диффузии в полупроводниках
- •1.4.1. Радиоактивные методы
- •1.4.2. Микрозондовые методы
- •1.4.3. Электрические методы
- •1.4.4. Емкостные методы
- •1.5. Последовательность выполнения работы
- •1.5.1. Диффузия из постоянного источника
- •1.5.2. Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •1.5.3.Диффузия из слоя конечной толщины
- •1.5.4.Диффузия из «концентрационной ступеньки»
- •2. Расчет основных параметров легированного полупроводника
- •2.1. Закон действующих масс
- •2.2.Уровень Ферми
- •2.4. Последовательность выполнения работы
- •2.4.1. Необходимо определить
- •2.4.2. Пример расчета
- •3. Расчет основных параметров и характеристик p-n-перехода
- •3.1. Эффект поля
- •3.2. Концентрация электронов и дырок в области пространственного заряда
- •3.3. Образование и зонная диаграмма р-n перехода
- •Распределение свободных носителей в p‑n переходе
- •Поле и потенциал в p‑n переходе
- •Вольт‑амперная характеристика р‑n-перехода
- •Емкость p‑n перехода
- •3.8. Последовательность выполнения работы
2.4. Последовательность выполнения работы
Образец чистого кремния при Т=27 С содержит донорную и акцепторную примеси известной массы (см. табл. 2.2).
Таблица 2.2.
вариант |
Размеры образца, см см мкм |
Донорная примесь |
Масса донор-ной примеси, 10-6 г |
Акцепторная примесь |
Масса акцеп-торной примеси, 10-6 г |
1 |
14,815,73,4 |
фосфор (P) |
1,1 |
бор (B) |
1,4 |
2 |
13,9 9,4 5,7 |
мышьяк (As) |
1,3 |
галлий (Ga) |
1,7 |
3 |
5,8 8,6 5,3 |
платина (Pt) |
3,1 |
индий (In) |
4,8 |
4 |
7,4 8,1 3,8 |
висмут (Bi) |
4,5 |
цинк (Zn) |
1,4 |
5 |
7,9 9,6 8,3 |
сурьма (Sb) |
1,8 |
таллий (Tl) |
2,5 |
6 |
5,9 9,2 7,2 |
селен (Se) |
3,3 |
золото (Au) |
7,4 |
7 |
17,39,8 8,4 |
хром (Cr) |
1,6 |
медь (Си) |
3,2 |
8 |
7,5 8,7 7,4 |
сера (S) |
1,4 |
кадмий (Сd) |
2,8 |
9 |
7,3 8,5 7,8 |
фтор(F) |
1,0 |
магний (Mg) |
1,5 |
10 |
10,611,36,6 |
ванадий (V) |
1,2 |
алюминий (Al) |
1,4 |
11 |
9,2 15,05,7 |
молибден (Mo) |
1,4 |
серебро (Ag) |
1,3 |
12 |
11,9 7,5 8,8 |
теллур (Te) |
1,3 |
литий (Li) |
2,0 |
13 |
7,5 8,1 3,3 |
фосфор (P) |
4,5 |
кадмий (Сd) |
7,4 |
14 |
7,7 9,4 8,2 |
мышьяк (As) |
1,8 |
магний (Mg) |
3,2 |
15 |
5,8 9,3 7,1 |
платина (Pt) |
3,3 |
алюминий (Al) |
2,8 |
16 |
17,010,28,2 |
висмут (Bi) |
1,4 |
серебро (Ag) |
1,5 |
17 |
13,815,75,4 |
сурьма (Sb) |
1,3 |
литий (Li) |
1,4 |
18 |
13,5 9,75,8 |
селен (Se) |
1,1 |
бор (B) |
1,3 |
19 |
5,3 8,9 5,5 |
хром (Cr) |
1,3 |
галлий (Ga) |
2,0 |
20 |
7,4 8,8 7,6 |
сера (S) |
3,1 |
индий (In) |
1,4 |
21 |
7,1 8,7 7,9 |
фтор(F) |
1,6 |
цинк (Zn) |
1,7 |
22 |
10,111,46,7 |
ванадий (V) |
1,4 |
таллий (Tl) |
4,8 |
23 |
9,3 14,8 5,7 |
молибден (Mo) |
1,0 |
золото (Au) |
1,4 |
24 |
11,67,7 8,4 |
теллур (Te) |
1,2 |
медь (Си) |
2,5 |
25 |
6,0 9,1 6,9 |
платина (Pt) |
3,1 |
алюминий (Al) |
2,9 |
26 |
16,810,38,0 |
висмут (Bi) |
1,3 |
серебро (Ag) |
1,6 |
27 |
13,315,25,1 |
сурьма (Sb) |
1,4 |
литий (Li) |
1,3 |
28 |
12,510,73,8 |
селен (Se) |
1,2 |
бор (B) |
1,2 |