1.5. Последовательность выполнения работы

В соответствии с номером варианта по табл. 1.2 определяется один из четырех видов диффузии. Для заданного вида диффузии выполняется расчет параметров и построение концентрационных профилей в соответствии с данными табл. 1.2. Коэффициенты диффузии приведены в табл. 1.1.

1.5.1. Диффузия из постоянного источника

Построить зависимости относительных концентраций (C/C₀) диффундирующих примесей от глубины диффузии (x = 0 ÷ x_к) для различных значений времени диффузии (t₁, t₂, t₃).
Определить, на какой глубине образца, легированного примесью №1, относительная концентрация примеси в нем достигнет заданного значения (для всех значений t).
Определить, какое потребуется время, чтобы образец, легированный примесью №2, имел заданную относительную концентрацию примеси на указанной глубине x_n.

1.5.2. Диффузия из равномерно насыщенного тела

Построить зависимости относительных концентраций (C/C₀) диффундирующих примесей от глубины диффузии (x = 0 ÷ x_к) для различных значений времени диффузии (t₁, t₂, t₃).
Определить, на какой глубине образца, легированного примесью №1, относительная концентрация примеси в нем достигнет заданного значения (для всех значений t).
Определить, какое потребуется время, чтобы образец, легированный примесью №2, имел заданную относительную концентрацию примеси на указанной глубине x_n.

1.5.3.Диффузия из слоя конечной толщины

Построить зависимости относительных концентраций (C/C₀) диффундирующих примесей от глубины диффузии (x = 0 ÷ x_к) для различных значений времени диффузии (t₁, t₂, t₃).
Определить, на какой глубине образца, легированного примесью №1, относительная концентрация примеси в нем достигнет заданного значения (для всех значений t).
Определить, какое потребуется время, чтобы образец, легированный примесью №2, имел заданную относительную концентрацию примеси на указанной глубине x_n.

1.5.4.Диффузия из «концентрационной ступеньки»

Построить зависимости относительных концентраций (C/C₁) диффундирующих примесей от глубины диффузии (x = - x_к ÷ x_к) для различных значений времени диффузии (t₁, t₂, t₃), если известны начальные соотношения концентраций.
Определить, какое потребуется время для выравнивания концентрации примесей (высота «концентрационной ступеньки» не более C/C₁^max) в каждом образце для каждого t.

Таблица 1.1.

Элемент	Коэффициент диффузии D, см²/с	Элемент	Коэффициент диффузии D, см²/с
Al	1,71*10^-10	Pt	0,33*10^-10
Li	0,24*10^-15	Cr	0,28*10^-12
Ag	0,4*10^-11	Be	0,52*10^-10
C	14,4*10^-15	In	3,7*10^-12
Au	0,09*10^-10	Pb	0,28*10^-12
Mg	1,5*10^-10	Zn	0,58*10^-10
Na	0,24*10^-10	Fe	2*10^-14
Cu	0,2*10^-12	Mo	0,1*10^-11

Таблица 1.2.

Ва-ри-ант	Данные для расчета
1	2
1	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Al; примесь №2: Li. 1. Время: t₁=1ч., t₂=10 ч., t₃=20 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Al) = 25% 3. C/C₀ (Li) = 40%. Глубина x_n=50 мкм
2	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Ag; примесь №2: C. 1. Время: t₁=5ч., t₂=10 ч., t₃=15 ч. Глубина x_к=200 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 30% 3. C/C₀ (C) = 10%. Глубина x_n=25 мкм

Продолжение табл. 1.2.

1	2
3	Диффузия из слоя конечной толщины (d=20 мкм): примесь №1: Au; примесь №2: Mg. 1. Время: t₁=5ч., t₂=10 ч., t₃=15 ч. Глубина x_к=200 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 30% 3. C/C₀ (C) = 10%. Глубина x_n=25 мкм
4	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Na; примесь №2: Cu. 1. Время: t₁=10ч., t₂=15 ч., t₃=20 ч. Глубина x_к=100 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,5C₁(Na) и C₂(Cu)=0,8C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 5%; C/C₁^max(Cu) = 7%;
5	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Pt; примесь №2: Cr. 1. Время: t₁=1ч., t₂=5 ч., t₃=10 ч. Глубина x_к=150 мкм 2. C/C₀ (Al) = 50% 3. C/C₀ (Li) = 20%. Глубина x_n=30 мкм
6	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Be; примесь №2: In. 1. Время: t₁=1ч., t₂=10 ч., t₃=20 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 25% 3. C/C₀ (C) = 30%. Глубина x_n=50 мкм
7	Диффузия из слоя конечной толщины (d=25 мкм): примесь №1: Au; примесь №2: Mg. 1. Время: t₁=1ч., t₂=7 ч., t₃=14 ч. Глубина x_к=150 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 15% 3. C/C₀ (C) = 40%. Глубина x_n=75 мкм
8	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Na; примесь №2: Cu. 1. Время: t₁=1ч., t₂=10 ч., t₃=20 ч. Глубина x_к=50 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,3C₁(Na) и C₂(Cu)=0,6C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 3%; C/C₁^max(Cu) = 10%;
9	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Ag; примесь №2: In. 1. Время: t₁=0,5ч., t₂=3 ч., t₃=30 ч. Глубина x_к=200 мкм 2. C/C₀ (Al) = 30% 3. C/C₀ (Li) = 15%. Глубина x_n=10 мкм
10	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Au; примесь №2: Zn. 1. Время: t₁=10ч., t₂=20 ч., t₃=30 ч. Глубина x_к=150 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 15%. 3. C/C₀ (C) = 50%. Глубина x_n=15 мкм

Продолжение табл. 1.2.

1	2
11	Диффузия из слоя конечной толщины (d=15 мкм): примесь №1: Na; примесь №2: Mo. 1. Время: t₁=2ч., t₂=20 ч., t₃=40 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 10% 3. C/C₀ (C) = 20%. Глубина x_n=50 мкм
12	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Al; примесь №2: Cr. 1. Время: t₁=3ч., t₂=30 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=75 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,4C₁(Na) и C₂(Cu)=0,7C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 10%; C/C₁^max(Cu) = 15%;
13	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Be; примесь №2: C. 1. Время: t₁=12ч., t₂=25 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Al) = 20% 3. C/C₀ (Li) = 10%. Глубина x_n=25 мкм
14	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Pb; примесь №2: Mg. 1. Время: t₁=1ч., t₂=15 ч., t₃=30 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 20% 3. C/C₀ (C) = 40%. Глубина x_n=20 мкм
15	Диффузия из слоя конечной толщины (d=10 мкм): примесь №1: Fe; примесь №2: Cu. 1. Время: t₁=1ч., t₂=25 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 25% 3. C/C₀ (C) = 15%. Глубина x_n=20 мкм
16	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Li; примесь №2: Pb. 1. Время: t₁=2ч., t₂=25 ч., t₃=40 ч. Глубина x_к=50 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,6C₁(Na) и C₂(Cu)=0,9C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 15%; C/C₁^max(Cu) = 10%;
17	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Au; примесь №2: Pb. 1. Время: t₁=5ч., t₂=40 ч., t₃=80 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Al) = 15% 3. C/C₀ (Li) = 50%. Глубина x_n=20 мкм
18	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Na; примесь №2: Fe. 1. Время: t₁=5ч., t₂=30 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 10%. 3. C/C₀ (C) = 25%. Глубина x_n=10 мкм

Продолжение табл. 1.2.

1	2
19	Диффузия из слоя конечной толщины (d=30 мкм): примесь №1: Al; примесь №2: Pl. 1. Время: t₁=3ч., t₂=30 ч., t₃=60 ч. Глубина x_к=100 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 20% 3. C/C₀ (C) = 30%. Глубина x_n=25 мкм
20	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Ag; примесь №2: Be. 1. Время: t₁=1ч., t₂=25 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=75 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,2C₁(Na) и C₂(Cu)=0,5C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 3%; C/C₁^max(Cu) = 5%;
21	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Mg; примесь №2: Zn. 1. Время: t₁=1ч., t₂=30 ч., t₃=60 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Al) = 35% 3. C/C₀ (Li) = 25%. Глубина x_n=15 мкм
22	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Cu; примесь №2: Mo. 1. Время: t₁=3ч., t₂=25 ч., t₃=40 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 35% 3. C/C₀ (C) = 20%. Глубина x_n=15 мкм
23	Диффузия из слоя конечной толщины (d=20 мкм): примесь №1: Li; примесь №2: Cr. 1. Время: t₁=4ч., t₂=40 ч., t₃=80 ч. Глубина x_к=75 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 40% 3. C/C₀ (C) = 50%. Глубина x_n=10 мкм
24	Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: C; примесь №2: In. 1. Время: t₁=20ч., t₂=30 ч., t₃=40 ч. Глубина x_к=75 мкм Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,7C₁(Na) и C₂(Cu)=0,3C₁(Cu). 2. C/C₁^max (Na) = 5%; C/C₁^max(Cu) = 10%;
25	Диффузия из постоянного источника: примесь №1: Al; примесь №2: Cr. 1. Время: t₁=2ч., t₂=15 ч., t₃=35 ч. Глубина x_к=50 мкм 2. C/C₀ (Al) = 30% 3. C/C₀ (Li) = 20%. Глубина x_n=5 мкм
26	Диффузия из равномерно насыщенного тела: примесь №1: Ag; примесь №2: Be. 1. Время: t₁=3ч., t₂=30 ч., t₃=45 ч. Глубина x_к=50 мкм 2. C/C₀ (Ag) = 20%. 3. C/C₀ (C) = 10%. Глубина x_n=25 мкм

Продолжение табл. 1.2.

Диффузия из слоя конечной толщины (d=25 мкм): примесь №1: Au; примесь №2: Pb.

1. Время: t₁=2ч., t₂=15 ч., t₃=30 ч. Глубина x_к=50 мкм

2. C/C₀ (Ag) = 20%

3. C/C₀ (C) = 30%. Глубина x_n=10 мкм

Диффузия из "концентрационной ступеньки": примесь №1: Na; примесь №2: Fe.

1. Время: t₁=5ч., t₂=25 ч., t₃=50 ч. Глубина x_к=50 мкм

Начальные соотношения концентраций: C₂(Na)=0,1C₁(Na) и C₂(Cu)=0,75C₁(Cu).

2. C/C₁^max (Na) = 15%; C/C₁^max(Cu) = 7%;

Контрольные вопросы

Что называется диффузией? Причина и значение диффузии.
Какие внешние воздействия оказывают влияние на диффузионные процессы?
Механизмы диффузии. Влияние дефектов на диффузию.
I и II законы Фика. Коэффициент диффузии D. Изотропный и анизотропный случай.
Функция ошибок. Свойства. Разложение в ряд. Приближенные формулы.
Методы исследования диффузии в полупроводниках.

<<< < Предыдущая 1 2 3 4 56 / 146 7 8 9 10 11 12 13 14 > Следующая >>>

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]

#
29.07.2019245.54 Кб8Т10 Прокатное производство.docx
#
29.07.2019209.12 Кб11Т11 Физ-хим.основы сварки.Виды сварки плавление....docx
#
29.07.2019120.44 Кб8Т12 Термические виды сварки.docx
#
18.12.2018190.34 Кб17Т14 ОМР.docx
#
29.07.2019206.85 Кб16Т15 Техн.возм.ОМР.docx
#
14.08.20195.19 Mб24Твердотельная электроника_Литвин_КР(6сем).doc
#
04.05.201932.58 Кб1ТЕМА1, 2.docx
#
04.06.201549.15 Кб23ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ (организ.).doc
#
04.06.20151.6 Mб232теплотехника идз.doc
#
04.06.20151.29 Mб175Теплотехнические измерения.docx
#
04.06.201521.04 Кб55тесты фепо 2011.docx