- •Предисловие
- •1. Расчет концентрационных профилей
- •Введение
- •Механизмы диффузии
- •Уравнения диффузии
- •Диффузия из постоянного источника
- •Часто вместо выражения (1.15) используют
- •Диффузия из слоя конечной толщины (из непостоянного источника)
- •Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •Диффузия из “концентрационной ступеньки”
- •1.4. Методы исследования диффузии в полупроводниках
- •1.4.1. Радиоактивные методы
- •1.4.2. Микрозондовые методы
- •1.4.3. Электрические методы
- •1.4.4. Емкостные методы
- •1.5. Последовательность выполнения работы
- •1.5.1. Диффузия из постоянного источника
- •1.5.2. Диффузия из равномерно насыщенного тела
- •1.5.3.Диффузия из слоя конечной толщины
- •1.5.4.Диффузия из «концентрационной ступеньки»
- •2. Расчет основных параметров легированного полупроводника
- •2.1. Закон действующих масс
- •2.2.Уровень Ферми
- •2.4. Последовательность выполнения работы
- •2.4.1. Необходимо определить
- •2.4.2. Пример расчета
- •3. Расчет основных параметров и характеристик p-n-перехода
- •3.1. Эффект поля
- •3.2. Концентрация электронов и дырок в области пространственного заряда
- •3.3. Образование и зонная диаграмма р-n перехода
- •Распределение свободных носителей в p‑n переходе
- •Поле и потенциал в p‑n переходе
- •Вольт‑амперная характеристика р‑n-перехода
- •Емкость p‑n перехода
- •3.8. Последовательность выполнения работы
Поле и потенциал в p‑n переходе
Связь электрического поля и потенциала в p‑n переходе описывается уравнением Пуассона. В одномерном приближении это уравнение имеет вид:
, (3.7)
где (x) – зависимость потенциала от координаты;
(x) – плотность объемного заряда;
s – диэлектрическая проницаемость полупроводника;
0 – диэлектрическая постоянная.
Для рассмотрения этого уравнения выберем начало координат в области металлургического p‑n-перехода. При этом донорный полупроводник будет находиться в области x > 0 (в дальнейшем обозначим цифрой I), а акцепторный – в области x < 0 (в дальнейшем обозначим цифрой II).
Заряд в области пространственного заряда p‑n перехода для полупроводника n‑типа обусловлен зарядом ионизованных доноров с плотностью ND+, для полупроводника p‑типа – зарядом ионизованных акцепторов с плотностью NA+. Поэтому для области I , для области II . Будем решать уравнение Пуассона отдельно для областей I и II. После интегрирования уравнения Пуассона получаем:
для области I
, (3.8)
для области II
. (3.9)
Знак минус в выражениях (3.8 и 3.9) указывает, что направление электрического поля противоположно направлению оси x.
Электрическое поле Е максимально на металлургической границе p‑n перехода (x = 0), линейно спадает по области пространственного заряда и равно нулю на границах ОПЗ – квазинейтральный объем полупроводника (x = Wn; x = Wp):
. (3.10)
Максимальная величина электрического поля Emax будет равна:
. (3.11)
Для нахождения распределения потенциала (а следовательно, и зависимости потенциальной энергии от координаты) проинтегрируем уравнение (10) при следующих граничных условиях: x = W, (W) = 0. Получаем:
. (3.12)
Используя граничные условия , находим константу интегрирования:
.
Подставляя полученные значения константы в соотношение (3.12), получаем для распределения потенциала (x) в области x < 0.
.
Проводя аналогичное интегрировнаие для области x > 0, получаем:
. (3.13)
Используя граничные условия ; для константы интегрирования в этой области получаем:
,
Подставляя полученные значения константы в соотношение (3.13), получаем для распределения потенциала (x) в области x > 0:
. (3.14)
Таким образом, закон изменения потенциала в p‑области (отсчет идет от уровня в квазинейтральной области):
, x < 0,
и наоборот, в n‑области:
, x > 0.
На рис. 3.5 приведена диаграмма, иллюстрирующая распределение электрического поля и потенциала в p‑n-переходе, рассчитанная по соотношениям (3.8), (3.9), (3.12) и (3.14).
Рис. 3.5. Диаграмма, иллюстрирующая распределение электрического поля и потенциала в p‑n переходе: а) структура p‑n перехода; б) распределение электрического поля в ОПЗ; в) распределение потенциала в ОПЗ
На металлургической границе p‑n перехода при x = 0 значение потенциала 1 + 2 = 0 = n0 + p0, или
. (3.15)
Согласно уравнению электронейтральности в замкнутых системах величины положительного и отрицательного заряда на единицу площади должны быть равны:
.
Следовательно,
. (3.16)
.
Несложные преобразования позволяют получить выражение для ширины обедненных областей Wp и Wn в p‑ и n‑областях соответственно:
. (3.17)
Из предыдущих формул легко видеть, что с ростом легирования p‑области ширина p‑n перехода Wp в акцепторной части полупроводника уменьшится.
Полная ширина p‑n перехода W, равная W = Wp + Wn, будет:
. (3.18)
Для несимметричных p+‑n переходов (концентрация акцепторов существенно больше концентрации доноров) ширина обедненной области в полупроводнике p‑типа будет существенно меньше, чем ширина обедненной области в полупроводнике n‑типа:
.
Таким образом, вся обедненная область p+‑n перехода сосредоточена в области с низким значением легирующей концентрации W = Wn.