
- •Конспект по предмету
- •Раздел 1 Технологический процесс обработки изделий микроэлектроники
- •Устройство для выращивания монокристаллического слитка вытягиванием из расплава:
- •Формирование слоев с заданными свойствами
- •Процессы формирования рисунка методом литографии
- •Формирование рисунка маски из резиста:
- •Последовательность получения оксидной маски на пластине:
- •Последовательность операций при формировании рисунка поликремния:
- •Последовательность получения рисунка алюминиевой коммутации, контактов и затвора в моп-имс:
- •Сборка и монтаж имс
- •Типы и основные характеристики подложек
- •Конструктивно-технологические особенности биполярных имс
- •Структуры биполярной кремниевой имс (а) и интегрального транзистора (б) (все размеры указаны в микрометрах):
- •Структуры конденсаторов для биполярных имс:
- •Электрическая схема (а) и топология (б) логического элемента:
- •1, 5, 7, 8 — Входы; 2 —наиболее положительный потенциал; 3 — выход; 4 — земля
- •Влияние конструктивно-технологических факторов на электрические параметры имс
- •Основные этапы технологии биполярных имс
- •Технологический процесс формирования биполярных полупроводниковых структур
- •Шаблон, используемый для создания области скрытого слоя коллектора, (а) и набор фотошаблонов для фотолитографии (б):
- •Основные конструктивно-технологические варианты мпд-имс
- •Конструкция мдп-транзистора имс:
- •Структура моп-транзистора, используемая для расчета:
- •Влияние физико-технологических факторов на параметры моп-имс
- •Базовый технологический процесс получения моп-имс
- •Технология моп-имс с кремниевым затвором
- •Основные этапы изготовления моп-имс с кремниевыми затворами:
- •Раздел2 Устройство, принцип работы, наладка и регулировки узлов и механизмов специального технологического оборудования
- •Классификация оборудования.
- •Особенности техники безопасности в п/п производстве.
- •2.2 Оборудование для создания и контроля чистых сред. Наладка и регулировка
- •Пылезащитные камеры с вертикальным ламинарным потоком воздуха для выполнения операций без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •Приборы для измерения параметров атмосферы производственных помещений
- •Гигрометры: а - волосяной, б - пленочный; 1 - груз, 2 -волос, 3 - стрелка, 4 - неравномерная шкала, 5 - пленочная мембрана
- •Анализатор запыленности:
- •Установки для очистки газов и воды
- •Приборы для измерения давления и расхода
- •Пружинный манометр: 1 - стрелка, 2 - триб, 3, 5 – спиральная и трубчатая пружины, 4 - сектор, 6 - поводок, 7 - держатель, 8 - штуцер
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •Ионизационный манометрический преобразователь:
- •Структурная схема ионизационно-термопарного вакуумметра вит-3:
- •2.3 «Оборудование для механической обработки полупроводниковых материалов»
- •Ориентация с помощью метода световых фигур.
- •Установка для световой ориентации монокристаллов:
- •Оптическая система установки световой ориентации монокристаллов:
- •Резка слитков на пластины.
- •«Алмаз 6м»
- •Станок резки слитков "Алмаз-6м":
- •Шпиндель станка "Алмаз-6м":
- •Барабан станка "Алмаз-6м":
- •Привод подачи слитка станка "Алмаз-6м":
- •Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка "Алмаз-6м":
- •«Шлифовальное оборудование»
- •1 Рельефный слой, 2 трещенковый слой, 3 дислокационный слой, 4 напряженный слой
- •Планетарный механизм для двухстороннего шлифования пластин
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •Принципиальная схема полуавтомата приклеивания пластин к блоку
- •2.4 Оборудование для химобработки
- •Автомат гидромеханической отмывки
- •Кинематическая схема агрегата (трека) автомата гидромеханической отмывки:
- •Пневмогидравлическая схема установки химической обработки: 1, 4 - ванны, 2 - подогреватель, 3 - насос-эжектор, 5 - поддон, 6 - рассеиватель, 7 - вентили, 8 - электропневматический клапан
- •2.5 Термическое оборудование
- •Схемы реакторов для газовой эпитаксии
- •Реактор установки унэс-2п-ка
- •Система газораспределения эпитаксиальной установки
- •Скруббер установки эпитаксиального наращивания унэс-101
- •Оборудование для диффузии и окисления
- •Камеры загрузки-выгрузки с ламинарным потоком воздуха термической диффузионной установки
- •Нагревательная камера термической диффузионной установки
- •Установка термической диффузии адс-6-100
- •Нагреватель диффузионной установки
- •Функциональная схема автоматической системы регулирования температуры термической диффузионной установки
- •Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу
- •Программатор время - команда
- •1.2. Основные технические данные.
- •1.3. Устройство пвк
- •1.4. Работа пвк
- •2. Меры безопасности
- •Время-параметр
- •1.2. Основные технические требования
- •1.3. Устройство
- •1.4. Работа
- •2.6 Оборудование для элионной обработки
- •Установки для нанесения тонких пленок в вакууме
- •Метод термического испарения
- •Метод распыления материалов ионной бомбардировкой
- •Испарители
- •Способы ионного распыления для осаждения тонких пленок
- •2.7 Оборудование для контактной фотопечати
- •Компоновочная схема эм-576
- •Блочная схема эм-576
- •Механизм выравнивания поверхности подложки и фотошаблона
- •2.8 Оборудование для проекционной фотопечати
- •Привод подъема стола.
- •Система совмещения.
- •Система автофокусировки.
- •2.9 Оборудование для нанесения и проявления фоторезиста
- •Устройство нанесения фоторезиста:
- •2.10 Сборочное оборудование
- •Установка резки алмазными кругами:
- •Узел крепления алмазного круга:
- •Установка монтажа кристаллов эм-438а
- •Кинематическая схема установки эм-438а
- •Автомат присоединения кристаллов эм-4085
- •Назначение микроскопа мт-2
- •Технические данные
- •Устройство и работа микроскопа
- •Устройство и работа составных частей микроскопа
- •Оборудование для разварки межсоединений эм-4020б
- •Последовательность монтажа проволочных перемычек
- •Механизм микросварки
- •Механизм микросварки
- •Координатный стол микросварочной установки проверка технического coctояhия
- •Возможные неисправности и методы их устранения
- •Оборудование для герметизации интегральных микросхем
- •Способы герметизации металлостеклянных и металлокерамических корпусов ис
- •Функциональная схема герметизации
- •Установка угп-50 для герметизации интегральных микросхем пластмассой
- •Раздел 3 Устройство, принцип работы наладка, регулировка специального технологического оборудования
- •Тема 1. Износ деталей машин.
- •Тема 2. Система планово-предупредительного ремонта (ппр).
- •Виды ппр.
- •Периодичность ремонта и нормы простоя оборудования при ремонте.
- •Организация ремонтного обслуживания цехах, участках и на предприятии.
- •Раздел 4 Ремонт специального технологического оборудования Основы технологии ремонта то
- •Алгоритм диагностики схемы синхронизации
- •Раздел 5 Контрольно-измерительное и испытательное оборудование
- •Контактирующее устройство зондовых установок эм-6010:
- •Устройство зондовой установки эм-6010
Возможные неисправности и методы их устранения
Возможные неисправности и методы их устранения приведены в таблице 3.
Таблица 3
Наименование неисправности |
Вероятная причина |
Метод устранения |
Координатные столы не отрабатывают заданные перемещения |
Большая скорость координатных столов, неисправны силовые ключи УУШД, загрязнение прецизионной винтовой пары, вышел из строя ШД по одной из координат |
уменьшите скорость координатных столов, исправьте силовые ключи, разберите привод, промойте бензином винт, гайку и смажьте маслом, замените ШД |
Нет 1-й или 2-й сварки |
недостаточная мощность сварочного импульса, недостаточное нагружение, загрязнены проволока или контактные площадки изделия, плохо зажат преобразователь, плохо закреплено обрабатываемое изделие |
Увеличьте мощность сварочного импульса, увеличьте нагружение, освежите исходные компоненты, зажмите преобразователь, закрепите обрабатываемые изделия |
Есть 1-я сварка но проволока обрывается у места первой сварки
|
Слишком велико нагружение, большая мощность сварочного импульса, большой вертикальный подъем инструмента после первой сварки, частично загрязнено капиллярное отверстие, мало отверстие в инструменте, губки не раскрываются после первой сварки |
Уменьшите нагружение, уменьшите мощность сварочного импульса, уменьшите величину ПП5-1, прочистите капиллярное отверстие инструмента, замените инструмент, отрегулируйте разжим губок |
Нестабильна подача проволоки |
Плохой зажим проволоки губками, проволока проскальзывает в губках, плохо отрегулированы отрыв и подача проволоки |
Отрегулируйте зажим проволоки губками, отрыв и подачу |
После подачи проволока находится в стороне от оси симметрии торца инструмента |
Частично засорен капилляр инструмента, капиллярное отверстие инструмента плохо согласовано с поверхностью зажима губок |
Прочистите капилляр инструмента, отрегулируйте положение плоскости губок относительно оси капиллярного отверстия инструмента |
Смещение сварных точек за пределы контактных площадок кристалла более допустимого |
Некачественно произведено согласование отпечатка с визирным перекрестием, неправильно записана программа, люфт в координатном столе |
Произведите согласование, откорректируйте программу, отрегулируйте координатные столы, усилие перемещения должно быть при снятых пружинах 70-90 г, устраните люфт |
При включении на панели блока питания тумблера SА 01 не горит сигнальная лампа HL1 |
Неисправен тумблер SA 01, перегорела лампа HL1, перегорел предохранитель FP |
Замените тумблер SA 01, замените лампу HL1, замените предохранитель FP |
Не горят лампы осветителя |
Перегорели лампы |
Замените лампы |
Ложный контроль обрыва проволоки |
Сопротивление цепи ЗРУ-катушка с проволокой больше допустимого (допустимое 1кОм) |
Проверьте сопротивление цепи в положении «петли» выполнив первую сварку и устраните дефекты |
При нажатии кнопки ВКЛ на подлокотнике питание не включается |
Неисправна кнопка ВКЛ |
Замените кнопку |
При нажатии кнопки ВКЛ на подлокотнике установка включается, затем через 3-4 с выключается |
Срабатывает устройство защиты по питанию |
Отрегулируйте выходное напряжение стабилизаторов +5В, 12В |
После нажатия кнопки БАЗА координатные столы уходят из зоны рабочего поля |
В ОЗУ отсутствует информация о расположении контактных площадок базового прибора |
Запишите в ОЗУ координаты контактных площадок базового прибора |
Один из приводов не отрабатывает перемещение |
Неисправны силовые ключи УУШД |
Исправьте силовые ключи |
При подаче одиночных импульсов привод движется неравномерно, меняет направление движения |
Вышел из строя ШД |
Замените ШД |
Перечень возможных неисправностей генератора ультразвукового приведен в разделе 2 технического описания 3.529.141-02ТО
Перечень возможных неисправностей устройства перемещения приборов для автомата ЭМ-4020Б приведен в разделе 13 технического описания 3.880.063 ТО
ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ
Перечень работ для различных видов технического обслуживания приведен в таблице 4
Таблица 4
-
Содержание профилактических работ
Периодичность обслуживания
Удаление ветошью пыли и масла со всех механизмов
После окончания работы
Очистка кисточкой или тампоном из безворстной ткани, смоченной в спирте ректификованном техническом рабочей части инструмента, губок зажима проволоки, трубки, объектива микроскопа, объектива датчика, токосъемника
Перед началом работы
Промывка подшипников поворотного устройства бензином авиационным Б70
1 раз в 6 месяцев
Разборка и промывка ходовых винтов и гаек привода Х,У, Z и направляющих координатного стола, каретки вертикальных перемещений бензином
авиационным
1 раз в 3 месяца
2. После проведения технического обслуживания по п.4 (см.таблицу 4) необходимо произвести проверки технического состояния по п.п.7,9 (см, таблицу 2).
3. Смазку автомата производите согласно таблице 5
Точка смазки |
Смазочный материал |
Периодичность введения смазки |
Кол-во вводимой смазки |
Наименование точки смазки |
Заправочное устройство |
9, рис. 2 |
Смазка ЦИАТИМ-202 |
1 раз в месяц |
5-8 |
Направляющие координатных столов |
Кисточка |
16, рис. 3 |
То же |
-"- |
5-8 |
Направляющие каретки вертикальных перемещений |
-"- |
3, рис. 3 |
-"- |
-"- |
10-15 |
Подшипники поворотного устройства |
-"- |
26, 36, 63 рис. 4 |
Масло МВП |
1 раз в месяц |
3-5 |
Подшипники механизма подачи проволоки, винтовая пара |
масленка |
Техническое обслуживание устройства перемещения приборов для автомата ЭМ-4020Б проводится согласно раздела 15 технического описания 3.880.063 ТО.
Рисунок 1
Рисунок 2