- •Физико-химические основы технологии электронных средств
- •Раздел 1. Химическая термодинамика
- •Введение
- •Внутренняя энергия. Как уже отмечалось уравнением ( ), внутренняя энергия является характеристической функцией при независимых переменных V и s, т. Е.
- •Энтальпия. Энтальпия является характеристической функцией при независимых переменных р и s, т. Е.
- •Раздел 2. Технологические процессы
- •1. Эпитаксия кремния Введение
- •1.1. Хлоридный метод
- •1.1.2.Кинетика и микромеханизм кристаллизации азс
- •1.1.3. Температурная зависимость скорости роста. Механизм хлоридного процесса.
- •1.1.4 Взаимосвязь условий формирования эпитаксиальных слоев и их структурных параметров.
- •1.2. Гидридный метод
- •1.2.1. Термодинамический анализ пиролиза силана.
- •1.2.2. Кинетика и микромеханизм кристаллизации аэс при пиролизе силана
- •1.2.3. Гетероэпитаксия кремния на сапфире
- •2.3. Диффузия из конечного ( ограниченного ) источника.
- •2.4. Методы осуществления диффузии.
- •2.5. Создание диодных структур.
- •2.6. Распределение примесей в транзисторной структуре.
- •3. Ионное легирование
- •3.1. Теоретические сведения
- •3.2. Распределение концентрации примеси в слое.
- •3.3. Образование радиационных деффектов.
- •3.4. Отжиг легированных структур.
- •3.5. Формирование диодных и транзисторных структур.
- •3.6. Оборудование для ионного легирования.
- •3.7. Преимущества и недостатки ионного легирования
- •4. Метализация
- •4.2. Конденсация.
- •4.3. Влияние температуры и пересыщения на скорость роста пленки
- •Исходные данные для расчетов при металлизации по кремнию
- •4.4. Установка для металлизации.
- •5. Формирование химических источников тока
- •5.1. Теоретические предпосылки
- •5.2. Термодинамика гальванического элемента.
- •5.3. Температурная зависимость э.Д.С.
- •5.4. Зависимость э.Д.С. От концентрации электролитов
- •Литература
5.2. Термодинамика гальванического элемента.
Естественно предположить, что электродвижущая сила гальванического элемента должна зависеть от природы реагирующих веществ, их концентраций и температуры. Чтобы найти выражения для этих зависимостей, необходимо рассмотреть термодинамические соотношения, характеризующие работу гальванического элемента.
Пусть в гальваническом элементе протекает реакция
М + N+n = M+n + N (5.5)
Работа, производимая элементом при расходе 1 моль М, определяется произведением количества электричества nF на э.д.с. Е:
A = nFE. (5.6)
где n -число молей электронов, протекших через цепь; F = 96493к. Например, для реакции Zn + Cu2+= Zn2+ + Сu п = 2. Если элемент работает обратимо при постоянных давлении и температуре, то произведенная им работа равна убыли свободной энергии (- ΔG) = А:
ΔG = -n 96493E (5.7)
Если элемент работает необратимо, то nFE <.(-ΔG), т. е. э. д. с. меньше, чем при обратимом проведении реакции. Выражая Е в вольтах, получаем величину ΔG в джоулях. Обычно в термодинамике величины ΔG выражают в калориях. Учитывая, что один джоуль эквивалентен 0,2389 кал получим
ΔG = -n 96493• 0,2389 E (кал) (5.8)
Таким образом, если известно стехиометрическое уравнение протекающей в гальваническом элементе реакции, а также табличные данные об изменении свободной энергии, можно рассчитать электродвижущую. силу.
5.3. Температурная зависимость э.Д.С.
Для нахождения зависимости э. д. с. от температуры воспользуемся уравнением Гиббса — Гельмгольца:
(5.9)
Подставив в него выражение ΔG через э. д. с. и заменив ΔН на - Qp получим
или
или
(5.10)
Представим себе, что гальванический элемент, помещенный в калориметр, замкнут накоротко. В этом случае производимая им электрическая энергия полностью превратится в тепло, количество которого равно тепловому эффекту реакции Qp и, следовательно, работа будет равна нулю. Пусть теперь реакция в элементе осуществляется обратимо, например провода от электродов выведены из калориметра и электрический ток производит работу. Тогда, очевидно, часть освобождающейся при реакции энергии превратится в электрическую работу А, а другая часть останется в виде тепла и будет измерена в калориметре. Согласно первому закону термодинамики Qp=A+ q и значит согласно (4.10)
(5.11)
Очевидно, чем ближе протекание реакций в элементе к условиям обратимости, тем большая часть ΔG превращается в работу. Величина же q которая характеризует связанную энергию, определяет количество тепла неизбежно выделяющегося (или поглощающегося) в том случае, когда элемент работает обратимо
Так как
и
то
5.12)
и, следовательно, изменение энтропии при реакции, протекающей в гальваническом элементе определяет температурную зависимости э.д.с. Следует подчеркнуть, что гальванический элемент может работать как с выделением, так и с поглощением тепла. В последнем случае он превращает в работу тепло окружающей среды (это не находится в противоречии со вторым законом термодинамики, так как процессы в гальванических элементах прекращаются при израсходовании электродов или электролита).
Знак и величина q определяют температурную зависимость э. д. с. Если при работе элемента выделяется тепло, т. е. q > 0, то температурный коэффициент э. д. с. -<0 . Это наиболее часто встречающийся случай, так как большинство элементов работает с выделением тепла. Наоборот, при q < 0 - > 0 и э. д. с. растет с температурой. Для гальванических элементов, служащих в качестве эталонов, при электрических измерениях подбирают такие реакции, в которых q весьма мало и близко к нулю. Так, зависимость э.д.с. от температуры широко используемого стандартного элемента Вестона выражается уравнением
E =1,0183 - 0,0000406 (t-20).
Он составлен по схеме
Cd | CdS04 Hg2SO4 | Hg
и в нем протекает реакция
Cd + 2Hg+ = Cd+ + 2Hg.
В качестве примера применения уравнений (IX-5) и (IX-6) вычислим величину, для элемента, в котором протекает реакция
Zn + 2AgCl =-= ZnCl2 + 2Ag.
Тепловой эффект этой реакции Qp = 52046 кал, а э. д. с. элемента Е = 1,015 в при 0°С. Отсюда
q=Qp - A== 52046 - 2.23050.·1,015= 5000 кал
Примером элемента с положительным температурным коэффициентом является ячейка
Hg | Hg2Cl2 KCl | КОН | Hg2 O | Hg,
в которой протекает реакция
Hg2CI2 + 2КОН == 2KСl + Hg2O + Н2O
Левый электрод, называемый каломельным, часто используется в электрохимических измерениях. Он состоит из жидкой ртути, находящейся в контакте с твердой каломелью и раствором какого-либо сильного электролита, например КС1. Реакция, идущая в рассматриваемом элементе, является эндотермической: Qp = -3280 кал, а электрическая работа А = 7546 кал.
Таким образом, q= -3280 - 7546 == -10826 кал, т. е. элемент поглощает из окружающей среды около 11000 кал, часть из которых (7546 кал) идет на совершение работы.