Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Моделирование полупроводниковых приборов. Курс лекций.pdf
X
- •УДК 621.3 Ю83
- •1. ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ ПОСТРОЕНИЯ МОДЕЛЕЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИС
- •1.1. Виды моделей
- •1.2. Исходные уравнения
- •1.2.1. Уравнение Пуассона
- •1.2.2. Уравнение непрерывности
- •1.2.3. Уравнения переноса
- •1.3. Способы дискретизации базовой системы уравнений
- •Нормировочные коэффициенты для базовой системы уравнений
- •2.1. Общие замечания
- •2.2. Моделирование статического режима работы диода
- •2.3. Расчеты работы диода на переменном сигнале
- •2.3.1. Система уравнений для расчета
- •2.3.2. Управляемый током переход
- •2.3.3. Переход, управляемый напряжением
- •2.3.4. Взаимодействие полупроводникового прибора с пассивными элементами схемы
- •3.1. Математическая модель одномерного транзистора
- •3.1.1. Система уравнений для расчета транзистора
- •3.1.2. Обобщенное соотношение Mолла – Росса
- •3.1.4. Выходной ток
- •3.1.5. Обобщенные граничные условия
- •3.2. Расчет переходных процессов
- •3.3. Расчет частотных характеристик
- •3.4. Моделирование двухмерных эффектов
- •3.5. Моделирование трехмерной структуры
- •4.1. Основные уравнения МДП-компонентов
- •4.2. Физико-топологические модели
- •4.2.1. Общие сведения
- •4.2.2. Статический режим
- •4.2.3. Динамический режим
- •4.3. Двухмерный анализ
- •4.4. Разновидности униполярных элементов
- •4.4.1. Ионно-легированный МДП-транзистор
- •5. ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНО-РАЗНОСТНЫЕ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ БАЗОВОЙ СИСТЕМЫ УРАВНЕНИЙ
- •5.2. Элементы с сосредоточенными параметрами
- •5.3. Модель Линвилла для участка кристалла
- •5.5. Модели диода с сосредоточенными параметрами
- •БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

x
h
P
k
h
k+1
k–2 k–1k– 2
Рис. 5.1. Пример разбиения области моделирования на элементы
k+1
В уравнении непрерывности (1.2) и (1.3) производную
заменяем разностной формой:
tptp
dp
dx
dp
dx
слева
справа
≈
−
h
+
1
≈
h
)()(
1
−
kk
;
k
)()(
−
tptp
kk
.
1
+
k
Такое преобразование справедливо, когда концентрация
разбиения должны быть достаточно малы, чтобы эта аппроксимация
была действительной. Тогда уравнение переноса для подвижных
носителей заряда (при условии только диффузионной составляющей)
преобразуется к следующему виду:
p
∂
x
∂
p
∂
≈
t
∂
p
∂
−
x
∂
слевасправа
hh
1
+
+
=
kk
pp
−
1
+
kk
h
−
1
+
k
1
+
+
pp
−
1
−
kk
h
k
.
hh
kk
2222
Уравнение непрерывности для точки
k транзистора с однородной
базой аппроксимируется следующим соотношением:
81

⎡
∂
−
=
p
p
H
−
pp
kk
1
+
⎢
∂
p
k
≈
D
∂
t
h
⎣
p
−
k
1
+
hh
1
kk
+
+
⎤
−
pp
kk
1
−
⎥
h
k
⎦
−
pp
−
nk
.
τ
(5.1)
P
22
5.2. Элементы с сосредоточенными параметрами
Введем понятие элементов с сосредоточенными параметрами.
Вспомним определение диффузионного тока:
qADI
−= , (5.2)
p
pP
x
∂
где А – площадь области кристалла. (Для упрощения считаем, что А
не зависит от x.)
В разностной форме уравнение (5.2) имеет вид
qAD
I −=
pk
Теперь определим элемент с сосредоточенными параметрами (H
p
h
k
−
)(
pp
1 kk
. (5.3)
),
dk
который называется диффузантой, как
qAD
H ≡
dk
p
. (5.4)
h
k
Диффузанту (рис. 5.2) можно считать схемным элементом,
ток через который пропорционален разности концентраций на его
внешних контактах:
)(
k–1
ppHI
1 kkdkpk
−
dk
. (5.5)
k
82
Рис. 5.2. Пример обозначения диффузанты в схеме

Теперь введем условные обозначения для элементов с
сосредоточенными параметрами, которые представляют процессы
рекомбинации, генерации и накопления.
В уравнении непрерывности умножаем обе части на qA и
получаем
pp
−
11
kk
+−
h
1
k
+
−
τ
qApqAp
k
P
n
+
=
τ
P
,
,
qA
=
dp
dt
pp
−
kk
+
−
qAD
hh
kk
+
p
1
qAD
p
h
k
=
k
22
ppH
−
)(
1
kkdk
−
hh
+
−
1
kk
+
τ
qApqAp
k
P
n
+
τ
P
22
или
qA
dp
dt
II
+
1
k
=
pkpk
−
hh
kk
+
τ
+
1
qApqAp
k
P
n
+
.
τ
P
−
22
Теперь введем следующие определения:
hh
⎛
qAS
⎜
⎝
qA
⎛
≡
H
ck
⎜
τ
⎝
p
⎞
1
kk
+
+≡
hh
+
−
⎟
22
⎠
⎞
1
kk
+
−
⎟
22
⎠
) 5.3,(ррис сторанса
а
;
).5.3, (ррис комбинанта
б
Отсюда уравнение непрерывности будет выглядеть следующим
образом:
dp
k
S
k
dt
−=−+
IIpHpH
. (5.6)
1−
pkpknckkck
Размерность каждого элемента соответсствует размерности тока.
83

dp
I
=
k
pHIpk=
HckHckp
p
p
p
HdkpkH
p
k
S
pk
k
dt
ck
а
б
Рис. 5.3. Пример обозначеня сторанса (а) и комбинанты (б) в схеме
Если рассматривать узловую точку, тогда соответствующее
уравнение непрерывности является выражением закона Кирхгофа
для тока в узле (рис. 5.4).
k+1
n
I
k+1
S
k
I
k
k–1
dk+1
Рис. 5.2. Представление уравнения непрерывности в виде схемы,
включающей элементы с сосредоточенными параметрами
Отдельные элементы этой схемы представляют собой
конкретные физические процессы: H
– генерация, S – накопление носителей заряда, а уравнение (5.6)
P
nHc
– диффузия, Hc – рекомбинация,
d
имеет схемотехнический смысл, что позволяет записывать физические
процессы в виде эквивалентной электрической схемы (модель
Линвилла).
84

5.3. Модель Линвилла для участка кристалла
I
p
j
I
I
j
j
p
p
I
p
p
j
Исходя из введенных обозначений, можно построить модель
участка кристалла (рис. 5.5).
F
n
na
a
i
S
n
i
S
Рис. 5.5. Модель Линвилла для участка кристалла
Элементы модели, представленной на рис. 5.5, описываются
следующими уравнениями:
2
qAD
j
=
H
d
j
i
Δ
x
ii
=
qAH
c
=
i
2
τ
n
i
x
Δ
ii
qAS
2
Δ+Δ
j
n
i
H
S
c
dn
ii
SI
dt
nb
i+1
H
c
b
Hd
H
i+
S
n
n
C
i+1
i
S
c
Hd
j
n
ii
xx
;
ii
i
j
H
+
1
;;
;;
d
F
j
IEqAF
F
2
c
==
()
d
j
()
+=μ=
++
11 +++
ii
==
qAHnHI
++
ii
11
qAS
+
1
iij
;;
−=
nnHI
+
1
ii
;
nn
+
1
i
Δ
x
+
i
2
τ
+
i
x
Δ
2
i
=
H
1
1
cc
+
1
SI
=
S
111
ii
;;
nHI
c
dn
ii
+
1
i
.;
dt
Так как во всех областях изменение концентрации носителей
заряда одного знака сопровождается изменением концентрации
носителей заряда противоположенного знака, то S
квазинейтральной области их можно записать S
i
и S
i
i
= S
, поэтому в
n
p
i+1
и исключить
85

Cj, которая в полной модели отражает токи смещения, свойственные
InbIpbI
I
p
j
j
I
j
I
j
I
j
j
p
p
I
R
I
p
j
I
p
j
p
p
I
p
j
I
p
j
р – n-переходам.
В результате получаем упрощённую модель Линвилла для
участка кристалла (рис. 5.6).
na
i
i
S
a
H
i+1
c
S
H
d
i+1
H
c
F
Рис. 5.6. Упрощенная модель Линвилла для участка кристалла
Эту модель можно легко преобразовать в модель, состоящую из
элементов электрической цепи (рис. 5.7).
-1
n
i
C
n
i
ϕ
C
-1
i-1
Ф
n
i
i
Ф
n
C
n
C
b
+1
C
i+1
i+1
Ф
Ф
i+1
n
i+1
Рис. 5.7. Электрическая модель, эквивалентная модели Линвилла
+1
n
i+1
+1
86

Плотности токов, описывающих работу модели, представ-
τ
()(
(
ленной на рис. 5.7, находим из выражений
j
μ=
qI
n
n
1
i
=
R
i
2
τ
Емкости C
i
и C
n
nn
Δ+Δ
xx
ii
i
моделируют накопление электронов и дырок в i-м
p
i
() ()
n
1
+
ii
1
+
i
,
R
1
+
i
n
1
=Δ
+
i
2
j
qI
p
++
ii
Δ
1
nxqInxqI
1
+
ii
+
элементе объёма
ii
1
+
+
μ=−
p
11
.
pp
ii
1
+
Δ+Δ
xx
i
i
p
1
+
−
,ФФ,ФФ
p
1
⎛
i
=
n
⎞
⎜
⎟
t
2
⎝
⎠
ii
,
Аналогично записываются выражения для C
1
⎛
i
=Δ
p
⎞
⎜
⎟
t
2
⎝
⎠
i+1
и C
n
ii
.
pxqUСnxqUС Δ
i+1
.
p
Плотность токов через эти емкости
d
i
CI
C
ii
n
dt
i
i
C
n
pn
d
i
CI
p
dt
ii
)
ϕ−=−ϕ= Ф,Ф .
p
Аналогично можно записать выражения для i+1 элемента объема.
Барьерная ёмкость
d
j
CJ
b
dt
1
nn
exp;
=
i
1
+
np
=
i
ii
++1
)
ϕ−ϕ=
.
11
i
i
++
Ф
−ϕ
n
U
p
U
;
t
11
ii
++
ϕ−ϕ
.exp;exp
t
где Ф
=
exp
2
i
U
p
;
C
1
ii
xx
Δ+Δ
i
Ф
−ϕ
n
t
ii
ϕ−ϕ
U
t
b
i
+
i
j
C
b
i
nn
=
i
i
np
=
i
– потенциал квазиуровня Ферми для электронов в р-области.
n
ε
ϕ – потенциал уровня Ферми собственного полупроводника.
Таким образом, мы можем моделировать физические
процессы, протекающие в полупроводниках, с помощью анализа
электронных схем.
87

5.4. Пример построения одномерной распределённой
Н
Н
I
H
H
H
I
х
модели транзистора
Теперь, используя модель Линвилла для отдельных элементов
кристалла, можно из отдельных элементов построить распределенную
одномерную модель транзистора (рис. 5.8).
i-1
э
Э
С
бэ
n
б(0 )
i
d
d
i
с
i+1
d
i
S
с
nб(W )
К
i
C
бк
б
Рис. 5.8. Пример одномерной распределенной модели транзистора
Для простоты распределённой схемой представлена только
база. Области эмиттера, коллектора и р – n-переходов отражены
сосредоточенными параметрами. Ввиду сложности распределённые
модели применимы для анализа лишь отдельного диода, транзистора
и т.д. Поэтому для анализа работы интегральных микросхем
целесообразно перейти к моделям с сосредоточенными параметрами.
5.5. Модели диода с сосредоточенными параметрами
Рассмотрим n+p произвольный слой базы толщиной Δx,
параллельный p – n-переходу диода на расстоянии Δх
Распределение плотности избыточных неосновных носителей заряда в
данном слое базы в момент времени t
n
p
Δn
p
и t2 = t1+Δt приведено на рис. 5.9.
1
np(x,t2)
np(x, t1)
от перехода.
1
Рис. 5.9. Распределение избыточных неосновных носителей заряда
в базе диода в разные моменты времени
88

Прямое напряжение на p – n-переходе возрастает за время Δt.
−=Δ
p
x1x
х
p
x
p
x
Δ
x
x
Разность подвижных носителей заряда, поступающих в
рассматриваемый объём базы и исходящих из него, определяется из
соотношения
⎛
⎞
Δ
t
⎜
Δ=−Δ
nxqAIIt ΔΔ+
⎟
pпвыхпвх
⎜
⎟
τ
n
⎝
⎠
(5.7)
.)(
nxqA
p
Первый член правой части (5.7) – это заряд рекомбинации в
этом объёме, второй – заряд, накапливаемый в нём за время Δt,
п –
р
средняя плотность неосновных носителей заряда на расстоянии х от
границы перехода,
)()(
tntnn
– разность средних плотностей
12
ppp
неосновных носителей.
Рассмотрим перенос электронов из области Δх
в облать Δх
1
(рис. 5.10).
t = t
n
1
n
(
)
1
n
(
)
2
2
2
1
Δ
2
Рис. 5.10. Схема модели диффузионного переноса
носителей заряда в базе диода
Если предположить, что на участке Δх
распределение
2…1
подвижных носителей заряда приблизительно подчиняется
линейному закону, то ток, поступающий из области Δх
в область Δх2
1
является диффузионным и описывается уравнением
89

∂
[
]
(
[
−=−
I
H
p
I
qADI
вых
−=
nn
txn
p
x
∂
≅
qAD
n
Δ
xnxn
−
x
21
)()(),(
21
pp
.
(5.8)
Из (5.7) с учётом (5.8) получаем
xnd
)(
)(
iipCi
dt
p
SxnHI
[]
−++=
)()(
xnxnH
, (5.9)
1вх +
ipipdi
/
xqAH
−τΔ=
niiiCi
сторанса;
xqAS
−Δ=
iii
/
xDqAH
−Δ=
+1
iniidi
n
(x) – избыточная плотность электронов, инжектированных в
p
;комбинантагде
,диффузанта
р-базу в точке на расстоянии х от p – n-перехода в момент t.
Концентрация носителей заряда в базе и на границе базы
соответственно равны
)
]
=
0
UUntnLxtntxn
.1/exp),0(;)/exp(),0(),(
tppnpp
На основе (5.9) можно получить распределённую физическую
модель диода (модель Линвилла), согласно которой база диода
представлена секторами, каждый из которых описывается
уравнением вида (5.9).
Модель с сосредоточенными параметрами является упрощённым вариантом распределённой физической модели (рис. 5.11).
n
(0,t)
c
S
90
Рис. 5.11. Модель диода с сосредоточенными параметрами
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]
