Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Физика твердого тела. Учебное пособие

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
15.08.2026
Размер:
1 Мб
Скачать

Подставим полученные выражения для генерации, рекомбинации, диффузии и дрейфа в уравнение (4.8):

n

dtdx Gdtdx

n n

dtdx D

2n

dtdx

 

 

n

dtdx

t

0

 

 

 

|E |

x

 

n

n x

2

 

n

 

 

и после сокращения на dtdx получим уравнение непрерывности для избыточных электронов:

 

g

n n

D

2

n

 

 

 

 

 

 

(4.17)

n

0

 

 

 

 

n .

t

 

n

n x

2

 

n

 

E

 

x

 

 

 

 

 

 

Можно получить аналогичное выражение для избыточных дырок:

p

 

p p

2 p

 

 

p

 

 

 

g

0

Dp

 

p

E

 

,

(4.18)

t

 

x2

x

 

p

 

 

 

 

где Dp – коэффициент диффузии дырок; p – подвижность дырок.

Уравнения (4.17) и (4.18) можно обобщить на трехмерный случай, когда присутствует градиент концентрации по всем трем направлениям, и электрическое поле также имеет три составляющие:

 

 

 

n G

n n0

D 2n

 

n

(E grad n),

(4.19)

 

 

 

t

 

 

 

 

n

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

G

p p0

Dp 2 p p (E grad p),

(4.20)

 

 

 

t

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где

 

2

 

2

 

 

 

 

2

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

, grad

 

 

 

i

 

 

 

 

j

 

 

k .

 

x2

 

y2

 

z2

x

 

 

y

z

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для стационарного случая, когда

 

0,

уравнение непрерывности

примет вид

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

G

n n

 

 

 

 

 

2n

 

 

E

n

 

 

 

(4.21)

 

 

 

 

 

0

D

 

2

n

 

 

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

n

x

 

 

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

51

Уравнение непрерывности имеет смысл закона сохранения количества частиц: в стационарных условиях количество частиц, вытекающих из объема, равно количеству частиц, генерируемых в этом объеме, за вычетом количества рекомбинирующих частиц.

4.3. Соотношение Эйнштейна

Дрейфовый ток в полупроводнике может возникнуть и при отсутствии внешнего поля, если есть градиент концентрации электронов или дырок. Рассмотрим полупроводник n -типа, в котором присутству-

ет градиент концентрации донорной примеси

dN

d

 

а значит и сво-

 

 

dx

 

 

 

бодных электронов

dn

 

вдоль оси x . Из-за разницы концентраций в

dx

 

 

 

 

полупроводнике будет

 

наблюдаться диффузионный поток электро-

нов Jn диф в направлении меньшей концентрации (рис. 4.5). Из-за пе-

ремещения электронов в полупроводнике возникнет нескомпенсированный заряд положительных ионов доноров (откуда ушли электроны), а в месте, куда пришли электроны, возникнет избыточный отрицательный заряд свободных электронов. Таким образом, в полупроводнике возникнет электрическое поле, препятствующее диффузионному потоку электронов и создающее обратный дрейфовый поток

электронов Jn др .

Jn др

 

 

 

Jn диф

jn др

 

 

 

jn диф

 

E

+

 

 

 

 

+

+

 

 

 

+ +

+

 

dndx 0

Рис. 4.5

52

Направления плотностей токов jn др и jn диф противоположны направлениям потоков отрицательно заряженных частиц Jn др и Jn диф

. В условиях термодинамического равновесия дрейфовый и диффузионный токи будут:

j

n др

j

n диф

,

 

e |E|n

n

eD n

,

 

 

 

 

 

 

 

n x

 

 

|E|n

n

D

n

,

n

 

|E|n n

.

(4.22)

 

 

x

 

 

 

 

n x

 

 

 

D

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

Потенциальная энергия электрона U , находящегося в электрическом поле с напряженностью E,

U (x) e (x),

где (x) – потенциал электрического поля. Напряженность и потенциал связаны известным соотношением

 

 

 

d (x)

.

 

(4.23)

|E|

 

dx

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С другой стороны, в условиях равновесия концентрация электро-

нов подчиняется закону распределения Больцмана

 

 

 

U (x)

 

 

e (x)

 

 

n Ce

kT Ce

 

kT ,

(4.24)

 

 

где C – некоторая постоянная.

Продифференцируем (4.24) по координате x и с учетом соотношения (4.23) получим

dn

e

d (x)Ce

e (x)

 

 

kT

 

 

 

kT

 

dx

dx

 

 

 

 

 

 

e

 

 

e (x)

 

 

en

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

|E|Ce

 

 

 

|E|.

(4.25)

kT

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

53

Подставив (4.22) в (4.24), получим соотношение Эйнштейна, связывающее коэффициент диффузии Dn и подвижность носителей заря-

да n :

|E|n n

 

 

 

 

 

 

 

 

en

|E|,

D

kT .

(4.26)

 

kT

 

D

 

n

n e

 

 

n

 

 

 

 

 

Аналогичное выражение можно записать и для дырок:

Dp p

kT .

(4.27)

 

e

 

4.4. Поглощение света в полупроводниках

Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом приводит к образованию неравновесных носителей заряда, и, как следствие этого, изменяются электрофизические свойства полупроводника.

Рассмотрим пучок света интенсивностью I0 , падающий на поверх-

ность полупроводника (рис. 4.6). Внутри полупроводника свет поглощается и его интенсивность по мере удаления от поверхности уменьшается. Выделим на глубине x от поверхности полупроводника слой

толщиной dx . Интенсивность света dI , поглощаемая в слое dx,

dI Idx ,

(4.28)

где – коэффициент поглощения. Коэффициент поглощения – это относительное изменение интенсивности при прохождении светом

единичного пути. Размерность коэффициента поглощения [ ] м 1.

Знак «–» в (4.28) указывает на то, что интенсивность света уменьшается по мере удаления от поверхности полупроводника.

Интегрируя (4.28) с учетом граничного условия I (x 0) I0 , полу-

чим закон Бугера–Ламберта

I I0e x .

(4.29)

При поглощении света полупроводником в нем появляются избыточные носители заряда. Можно выделить несколько типов оптического поглощения.

54

Собственное поглощение связано с переходом электронов из валентной зоны в зону проводимости при поглощении фотона с энергией

большей ширины запрещенной зоны h Eg (рис. 4.7).

 

 

I0

 

x

EС

 

 

 

 

 

 

 

Eg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dx

 

 

 

 

EV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

h

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 4.6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 4.7

 

Примесное поглощение связано с переходом электронов с донор-

ных уровней в зону проводимости при поглощении фотона с энергией большей энергии активации h Ed (рис. 4.8, а) или с переходом электронов из валентной зоны на акцепторный уровень (для акцепторного полупроводника h Ea , рис. 4.8, б).

E

 

 

 

 

EС

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С

 

 

 

 

Ed

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

h

 

 

 

Ea

E

 

 

EV

 

 

 

V

 

 

 

 

 

h

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

а

 

 

 

б

Рис. 4.8

Коэффициент примесного поглощения на несколько порядков ниже коэффициента собственного поглощения, поскольку количество примесных состояний гораздо меньше количества состояний электрона в валентной зоне. Примесное поглощение возможно только в том случае, если на примесных уровнях есть электроны (для донорного полу-

55

проводника), т. е. полупроводник должен находиться при температуре ниже температуры истощения примесей TS . Поэтому величина коэф-

фициента примесного поглощения зависит от степени легирования и температуры.

 

 

 

 

Зависимость коэффициента по-

 

 

 

глощения от длины волны падающе-

 

1

 

 

 

 

 

 

го излучения показана на рис. 4.9.

 

 

 

 

Область 1 – это собственное погло-

 

 

 

 

щение

при длинах

волн,

боль-

 

 

 

 

ших 0,

коэффициент поглощения

 

2

 

 

резко падает, поскольку передавае-

 

 

3

 

мая фотоном энергия

hc уже недо-

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

0

 

статочна для переброса электрона из

 

 

 

 

Рис. 4.9

 

 

валентной зоны в зону проводимо-

 

 

 

сти. Для собственных полупровод-

ников ширина запрещенной зоны порядка 1…3 эВ, поэтому 0

hc

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Eg

 

6,63 10 34 3 108

0,6

мкм. Область собственного поглощения ле-

2 1,6 10 19

жит в видимой части спектра. Область 2 – это полоса примесного по-

глощения, соответствующая длине волны пр hc , она расположе-

на в инфракрасной области спектра.

Ed

Часть энергии излучения может расходоваться на увеличение энергии колебаний кристаллической решетки, что приводит к появлению дополнительной узкой полосы поглощения 3 (рис. 4.9).

56

4.5. Фотопроводимость полупроводников

Фотопроводимость – изменение электропроводности тела под действием электромагнитного излучения. Основная причина появления фотопроводимости – это внутренний фотоэффект, когда в полупроводнике появляются неравновесные свободные носители заряда. Если носители заряда появились за счет перехода электронов из валентной зоны в зону проводимости, то это собственная фотопроводимость. Если носители заряда появились за счет перехода электронов с участием примесных уровней, то это примесная фотопроводи-

мость.

Красная граница фотопроводимости определяется уравнениями:

0

Eg

(4.30)

h

 

 

– для собственной фотопроводимости и

пр d

Ed ,

пр а

Ea

(4.31)

 

h

 

h

 

– для примесной фотопроводимости.

Измеряя красную границу собственной фотопроводимости, можно определить ширину запрещенной зоны полупроводника.

Поскольку Ea Eg ( Ed Eg ), то красная граница фотопрово-

димости находится в области более длинных волн для примесных полупроводников по сравнению с собственными полупроводниками. Кроме того, чтобы наблюдать примесную фотопроводимость, полупроводник необходимо охлаждать, поскольку примесная фотопроводимость может наблюдаться только при температурах ниже темпера-

туры истощения примесей TS .

Фотопроводимость определяется избыточной (относительно равновесной) концентрацией носителей заряда

ф e( n n p p ).

(4.32)

Полная проводимость

т ф,

(4.33)

57

где т темновая фотопроводимость, проводимость при отсутствии

облучения, вызванная только термическими переходами носителей заряда.

После включения источника света фотопроводимость плавно увеличивается и достигает стационарного значения только через некоторое время. Это происходит за счет того, что одновременно с процессами генерации носителей заряда происходят акты их рекомбинации. При по-

стоянной интенсивности облучения I

через некоторое

время, когда

скорость генерации станет равна скорости рекомбинации (G R) , уста-

навливается стационарное количество избыточных носителей заряда

n0 G n I n , p0

G p I p ,

(4.34)

где n0( p0)– стационарные неравновесные концентрации электронов (дырок); – квантовый выход, показывающий, сколько пар носите-

лей заряда генерируется при поглощении одного фотона; I – количество световой энергии, поглощаемой в единицу времени в единице

объема полупроводника ( – коэффициент поглощения); n ( p ) –

время жизни неравновесных электронов (дырок).

Таким образом, стационарная (установившаяся фотопроводимость) будет определяться выражением

ф0 eI ( n n p p ) .

(4.35)

При выключении источника света избыточная концентрация носителей заряда убывает по экспоненциальному закону (4.7). Соответственно фотопроводимость также будет спадать по экспоненциальному закону. На рис. 4.10 показан вид зависимости фотопроводимости при включении и выключении света

Спектральная зависимость фотопроводимости изображена на рис. 4.11. Красная граница собственной проводимости совпадает с краем собственного поглощения. При уменьшении длины волны спектральная зависимость фотопроводимости проходит через максимум и начинает уменьшаться. Этот эффект объясняется тем, что в этой области резко возрастает коэффициент поглощения (рис. 4.9), и, следовательно, носители заряда существуют только в узком приповерхностном слое полупроводника, что и приводит к уменьшению фотопроводимости.

58

ф

ф0

 

 

t

 

 

Включение света

Выключение света

 

Рис. 4.10

ф

0

Рис. 4.11

В спектральной зависимости фотопроводимости также присутствует полоса примесной фотопроводимости, смещенная в область более длинных волн (рис. 4.11).

59

5.КОНТАКТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ

ВПОЛУПРОВОДНИКАХ

Прогресс в развитии электроники начался в 70-х годах прошлого столетия, когда научились использовать свойства контакта двух полупроводников с различным типом проводимости. Такой контакт называется электронно-дырочным переходом или p n -переходом. Полу-

чить переход простым контактом двух полупроводников нельзя, для этого используют различные технологии современной микроэлектроники.

5.1. Равновесное состояние p–n-перехода

5.1.1. Движение электронов и дырок

Рассмотрим p–n-переход, находящийся в равновесном состоянии (рис. 5.1). В полупроводнике p- типа концентрация примесных акцеп-

торных атомов Na , в полупроводнике n-типа концентрация примесных донорных атомов Nd . В каждом из полупроводников есть основные и неосновные носители заряда, представленные в табл. 5.1.

Таблица 5.1

Тип носителей

p- тип

 

n-тип

 

 

 

 

 

 

 

 

Основные носители

Дырки

 

pp0

Электроны

 

nn0

заряда

 

 

Неосновные носители

Электроны

 

np0

Дырки

 

pn0

заряда

 

 

В p- области основными носителями заряда являются дырки, в n- области основными носителями заряда являются электроны. Концен-

60

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]