Физика твердого тела. Учебное пособие
.pdfПодставим полученные выражения для генерации, рекомбинации, диффузии и дрейфа в уравнение (4.8):
n |
dtdx Gdtdx |
n n |
dtdx D |
2n |
dtdx |
|
|
n |
dtdx |
|
t |
0 |
|
|
|
|E | |
x |
||||
|
n |
n x |
2 |
|
n |
|
|
|||
и после сокращения на dtdx получим уравнение непрерывности для избыточных электронов:
|
g |
n n |
D |
2 |
n |
|
|
|
|
|
|
(4.17) |
n |
0 |
|
|
|
|
n . |
||||||
t |
|
n |
n x |
2 |
|
n |
|
E |
|
x |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Можно получить аналогичное выражение для избыточных дырок:
p |
|
p p |
2 p |
|
|
p |
|
|
|
|
g |
0 |
Dp |
|
p |
E |
|
, |
(4.18) |
t |
|
x2 |
x |
||||||
|
p |
|
|
|
|
||||
где Dp – коэффициент диффузии дырок; p – подвижность дырок.
Уравнения (4.17) и (4.18) можно обобщить на трехмерный случай, когда присутствует градиент концентрации по всем трем направлениям, и электрическое поле также имеет три составляющие:
|
|
|
n G |
n n0 |
D 2n |
|
n |
(E grad n), |
(4.19) |
||||||||||||||||||||||
|
|
|
t |
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
p |
G |
p p0 |
Dp 2 p p (E grad p), |
(4.20) |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
t |
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
где |
|
2 |
|
2 |
|
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, grad |
|
|
|
i |
|
|
|
|
j |
|
|
k . |
|||||
|
x2 |
|
y2 |
|
z2 |
x |
|
|
y |
z |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
Для стационарного случая, когда |
|
0, |
уравнение непрерывности |
|||||||||||||||||||||||||||
примет вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
t |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
G |
n n |
|
|
|
|
|
2n |
|
|
E |
n |
|
|
|
(4.21) |
||||||||||||
|
|
|
|
|
0 |
D |
|
2 |
n |
|
|
. |
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
n |
x |
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
51
Уравнение непрерывности имеет смысл закона сохранения количества частиц: в стационарных условиях количество частиц, вытекающих из объема, равно количеству частиц, генерируемых в этом объеме, за вычетом количества рекомбинирующих частиц.
4.3. Соотношение Эйнштейна
Дрейфовый ток в полупроводнике может возникнуть и при отсутствии внешнего поля, если есть градиент концентрации электронов или дырок. Рассмотрим полупроводник n -типа, в котором присутству-
ет градиент концентрации донорной примеси |
dN |
d |
|
а значит и сво- |
|
|
|
||||
dx |
|||||
|
|
|
|||
бодных электронов |
dn |
|
вдоль оси x . Из-за разницы концентраций в |
dx |
|
||
|
|
|
|
полупроводнике будет |
|
наблюдаться диффузионный поток электро- |
|
нов Jn диф в направлении меньшей концентрации (рис. 4.5). Из-за пе-
ремещения электронов в полупроводнике возникнет нескомпенсированный заряд положительных ионов доноров (откуда ушли электроны), а в месте, куда пришли электроны, возникнет избыточный отрицательный заряд свободных электронов. Таким образом, в полупроводнике возникнет электрическое поле, препятствующее диффузионному потоку электронов и создающее обратный дрейфовый поток
электронов Jn др .
Jn др |
|
|
|
Jn диф |
||
jn др |
|
|
|
jn диф |
||
|
– |
– |
E |
+ |
|
|
|
– |
– |
|
+ |
+ |
|
|
– |
|
– |
+ + |
+ |
|
dndx 0
Рис. 4.5
52
Направления плотностей токов jn др и jn диф противоположны направлениям потоков отрицательно заряженных частиц Jn др и Jn диф
. В условиях термодинамического равновесия дрейфовый и диффузионный токи будут:
j |
n др |
j |
n диф |
, |
|
e |E|n |
n |
eD n |
, |
|||
|
|
|
|
|
|
|
n x |
|
||||
|
|E|n |
n |
D |
n |
, |
n |
|
|E|n n |
. |
(4.22) |
||
|
|
x |
|
|||||||||
|
|
|
n x |
|
|
|
D |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
Потенциальная энергия электрона U , находящегося в электрическом поле с напряженностью E,
U (x) e (x),
где (x) – потенциал электрического поля. Напряженность и потенциал связаны известным соотношением
|
|
|
d (x) |
. |
|
(4.23) |
||
|E| |
|
dx |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
С другой стороны, в условиях равновесия концентрация электро- |
||||||||
нов подчиняется закону распределения Больцмана |
|
|||||||
|
|
U (x) |
|
|
e (x) |
|
|
|
n Ce |
kT Ce |
|
kT , |
(4.24) |
||||
|
|
|||||||
где C – некоторая постоянная.
Продифференцируем (4.24) по координате x и с учетом соотношения (4.23) получим
dn |
e |
d (x)Ce |
e (x) |
|
|
||||||||
kT |
|
|
|
||||||||||
kT |
|
||||||||||||
dx |
dx |
|
|
|
|
|
|||||||
|
e |
|
|
e (x) |
|
|
en |
|
|
||||
|
|
kT |
|
|
|||||||||
|
|
|
|E|Ce |
|
|
|
|E|. |
(4.25) |
|||||
kT |
kT |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
53
Подставив (4.22) в (4.24), получим соотношение Эйнштейна, связывающее коэффициент диффузии Dn и подвижность носителей заря-
да n : |
|E|n n |
|
|
|
|
|
|
|
|
en |
|E|, |
D |
kT . |
(4.26) |
|
|
kT |
||||||
|
D |
|
n |
n e |
|
||
|
n |
|
|
|
|
|
|
Аналогичное выражение можно записать и для дырок:
Dp p |
kT . |
(4.27) |
|
e |
|
4.4. Поглощение света в полупроводниках
Взаимодействие электромагнитного излучения с веществом приводит к образованию неравновесных носителей заряда, и, как следствие этого, изменяются электрофизические свойства полупроводника.
Рассмотрим пучок света интенсивностью I0 , падающий на поверх-
ность полупроводника (рис. 4.6). Внутри полупроводника свет поглощается и его интенсивность по мере удаления от поверхности уменьшается. Выделим на глубине x от поверхности полупроводника слой
толщиной dx . Интенсивность света dI , поглощаемая в слое dx,
dI Idx , |
(4.28) |
где – коэффициент поглощения. Коэффициент поглощения – это относительное изменение интенсивности при прохождении светом
единичного пути. Размерность коэффициента поглощения [ ] м 1.
Знак «–» в (4.28) указывает на то, что интенсивность света уменьшается по мере удаления от поверхности полупроводника.
Интегрируя (4.28) с учетом граничного условия I (x 0) I0 , полу-
чим закон Бугера–Ламберта
I I0e x . |
(4.29) |
При поглощении света полупроводником в нем появляются избыточные носители заряда. Можно выделить несколько типов оптического поглощения.
54
Собственное поглощение связано с переходом электронов из валентной зоны в зону проводимости при поглощении фотона с энергией
большей ширины запрещенной зоны h Eg (рис. 4.7).
|
|
I0 |
|
x |
EС |
|
|
|
|
|
|
|
Eg |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
dx |
|
|
|
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
h |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
Рис. 4.6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 4.7 |
|||||
|
Примесное поглощение связано с переходом электронов с донор- |
||||||||||||||
ных уровней в зону проводимости при поглощении фотона с энергией большей энергии активации h Ed (рис. 4.8, а) или с переходом электронов из валентной зоны на акцепторный уровень (для акцепторного полупроводника h Ea , рис. 4.8, б).
E |
|
|
|
|
EС |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|||||
С |
|
|
|
|
Ed |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
h |
|
|
|
Ea |
||||
E |
|
|
EV |
|
|
|
||||
V |
|
|
|
|
|
h |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а |
|
|
|
б |
||
Рис. 4.8
Коэффициент примесного поглощения на несколько порядков ниже коэффициента собственного поглощения, поскольку количество примесных состояний гораздо меньше количества состояний электрона в валентной зоне. Примесное поглощение возможно только в том случае, если на примесных уровнях есть электроны (для донорного полу-
55
проводника), т. е. полупроводник должен находиться при температуре ниже температуры истощения примесей TS . Поэтому величина коэф-
фициента примесного поглощения зависит от степени легирования и температуры.
|
|
|
|
Зависимость коэффициента по- |
||||
|
|
|
глощения от длины волны падающе- |
|||||
|
1 |
|
|
|||||
|
|
|
|
го излучения показана на рис. 4.9. |
||||
|
|
|
|
Область 1 – это собственное погло- |
||||
|
|
|
|
щение |
при длинах |
волн, |
боль- |
|
|
|
|
|
ших 0, |
коэффициент поглощения |
|||
|
2 |
|
|
резко падает, поскольку передавае- |
||||
|
|
3 |
|
мая фотоном энергия |
hc уже недо- |
|||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
0 |
|
статочна для переброса электрона из |
|||||
|
|
|
||||||
|
Рис. 4.9 |
|
|
валентной зоны в зону проводимо- |
||||
|
|
|
сти. Для собственных полупровод- |
|||||
ников ширина запрещенной зоны порядка 1…3 эВ, поэтому 0 |
hc |
|
||||||
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Eg |
|
|
6,63 10 34 3 108 |
0,6 |
мкм. Область собственного поглощения ле- |
|||||
2 1,6 10 19 |
||||||||
жит в видимой части спектра. Область 2 – это полоса примесного по-
глощения, соответствующая длине волны пр hc , она расположе-
на в инфракрасной области спектра.
Ed
Часть энергии излучения может расходоваться на увеличение энергии колебаний кристаллической решетки, что приводит к появлению дополнительной узкой полосы поглощения 3 (рис. 4.9).
56
4.5. Фотопроводимость полупроводников
Фотопроводимость – изменение электропроводности тела под действием электромагнитного излучения. Основная причина появления фотопроводимости – это внутренний фотоэффект, когда в полупроводнике появляются неравновесные свободные носители заряда. Если носители заряда появились за счет перехода электронов из валентной зоны в зону проводимости, то это собственная фотопроводимость. Если носители заряда появились за счет перехода электронов с участием примесных уровней, то это примесная фотопроводи-
мость.
Красная граница фотопроводимости определяется уравнениями:
0 |
Eg |
(4.30) |
|
h |
|||
|
|
– для собственной фотопроводимости и
пр d |
Ed , |
пр а |
Ea |
(4.31) |
|
h |
|
h |
|
– для примесной фотопроводимости.
Измеряя красную границу собственной фотопроводимости, можно определить ширину запрещенной зоны полупроводника.
Поскольку Ea Eg ( Ed Eg ), то красная граница фотопрово-
димости находится в области более длинных волн для примесных полупроводников по сравнению с собственными полупроводниками. Кроме того, чтобы наблюдать примесную фотопроводимость, полупроводник необходимо охлаждать, поскольку примесная фотопроводимость может наблюдаться только при температурах ниже темпера-
туры истощения примесей TS .
Фотопроводимость определяется избыточной (относительно равновесной) концентрацией носителей заряда
ф e( n n p p ). |
(4.32) |
Полная проводимость
т ф, |
(4.33) |
57
где т – темновая фотопроводимость, проводимость при отсутствии
облучения, вызванная только термическими переходами носителей заряда.
После включения источника света фотопроводимость плавно увеличивается и достигает стационарного значения только через некоторое время. Это происходит за счет того, что одновременно с процессами генерации носителей заряда происходят акты их рекомбинации. При по-
стоянной интенсивности облучения I |
через некоторое |
время, когда |
скорость генерации станет равна скорости рекомбинации (G R) , уста- |
||
навливается стационарное количество избыточных носителей заряда |
||
n0 G n I n , p0 |
G p I p , |
(4.34) |
где n0( p0)– стационарные неравновесные концентрации электронов (дырок); – квантовый выход, показывающий, сколько пар носите-
лей заряда генерируется при поглощении одного фотона; I – количество световой энергии, поглощаемой в единицу времени в единице
объема полупроводника ( – коэффициент поглощения); n ( p ) –
время жизни неравновесных электронов (дырок).
Таким образом, стационарная (установившаяся фотопроводимость) будет определяться выражением
ф0 eI ( n n p p ) . |
(4.35) |
При выключении источника света избыточная концентрация носителей заряда убывает по экспоненциальному закону (4.7). Соответственно фотопроводимость также будет спадать по экспоненциальному закону. На рис. 4.10 показан вид зависимости фотопроводимости при включении и выключении света
Спектральная зависимость фотопроводимости изображена на рис. 4.11. Красная граница собственной проводимости совпадает с краем собственного поглощения. При уменьшении длины волны спектральная зависимость фотопроводимости проходит через максимум и начинает уменьшаться. Этот эффект объясняется тем, что в этой области резко возрастает коэффициент поглощения (рис. 4.9), и, следовательно, носители заряда существуют только в узком приповерхностном слое полупроводника, что и приводит к уменьшению фотопроводимости.
58
ф
ф0
|
|
t |
|
|
|
Включение света |
Выключение света |
|
Рис. 4.10
ф
0
Рис. 4.11
В спектральной зависимости фотопроводимости также присутствует полоса примесной фотопроводимости, смещенная в область более длинных волн (рис. 4.11).
59
5.КОНТАКТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
ВПОЛУПРОВОДНИКАХ
Прогресс в развитии электроники начался в 70-х годах прошлого столетия, когда научились использовать свойства контакта двух полупроводников с различным типом проводимости. Такой контакт называется электронно-дырочным переходом или p n -переходом. Полу-
чить переход простым контактом двух полупроводников нельзя, для этого используют различные технологии современной микроэлектроники.
5.1. Равновесное состояние p–n-перехода
5.1.1. Движение электронов и дырок
Рассмотрим p–n-переход, находящийся в равновесном состоянии (рис. 5.1). В полупроводнике p- типа концентрация примесных акцеп-
торных атомов Na , в полупроводнике n-типа концентрация примесных донорных атомов Nd . В каждом из полупроводников есть основные и неосновные носители заряда, представленные в табл. 5.1.
Таблица 5.1
Тип носителей |
p- тип |
|
n-тип |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
Основные носители |
Дырки |
|
pp0 |
Электроны |
|
nn0 |
заряда |
|
|
||||
Неосновные носители |
Электроны |
|
np0 |
Дырки |
|
pn0 |
заряда |
|
|
||||
В p- области основными носителями заряда являются дырки, в n- области основными носителями заряда являются электроны. Концен-
60
