Физика твердого тела. Учебное пособие
.pdf
Перемножив левые и правые части всех трех уравнений в (2.13), получим dpdV h3, где dV dxdydz , dp dpxdpydpz . Если взять
dV 1, то получим dp h3 .
Следовательно, для одного квантового состояния электрона необ-
ходим «объем» h3 , т. е. в объеме h3 могут находиться только два электрона (принцип Паули) с разными спинами. Следовательно, число
квантовых состояний электрона dN 2dp . |
|
|||
|
|
h3 |
|
|
Если энергия электрона вблизи дна зоны проводимости имеет вид |
||||
E E |
|
p2 |
, |
(2.14) |
|
||||
C |
|
2mn |
|
|
где mn – эффективная масса электрона, то удобнее проводить расчеты в сферических координатах, в которых элемент объема имеет вид 4 p2dp . Тогда число квантовых состояний электрона dN внутри тонкого шарового слоя радиусом p и толщиной dp будет находиться по формуле
|
dN 2 |
4 p2dp |
. |
|
(2.15) |
||||
|
|
h3 |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Перейдем в (2.15) от квазимульсов к энергиям. Из (2.14) выразим |
|||||||||
импульс: |
|
|
|
|
|
|
|||
|
p2 2m (E E ). |
|
(2.16) |
||||||
|
|
|
n |
|
C |
|
|
||
Возьмем дифференциалы от левой и правой части выражения |
|||||||||
(2.16): |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2pdp 2mndE , |
|
|
||||||
dp |
mndE |
|
|
|
mndE |
. |
(2.17) |
||
|
|
|
|
||||||
|
p |
|
|
(E EC ) |
|
|
|||
|
|
|
|
|
2mn |
|
|
||
21
Подставив (2.16) и (2.17) в (2.15), получим количество электронов,
находящееся в интервале энергий от E до E dE : |
|
|
|||||
4 |
|
|
|
|
mndE |
|
|
dN 2 h3 2mn (E EС) |
|
|
|
|
|||
|
2mn E Ec |
|
|||||
4 (2mn )3/2 |
(E EС)dE . |
|
(2.18) |
||||
h3 |
|
|
|
|
|
|
|
Тогда плотность квантовых состояний электрона вблизи дна зоны |
|||||||
проводимости |
|
|
|
|
|
|
|
dN |
4 |
|
3/2 |
|
|
|
|
N(E) dE |
h3 2mт |
|
(E EС) . |
(2.19) |
|||
2.3. Концентрация носителей заряда в собственных полупроводниках
Чтобы найти концентрацию электронов в зоне проводимости собственного полупроводника, надо вычислить интеграл от (2.19) с учетом того, что электроны – частицы с полуцелым спином и подчиняются статистике Ферми–Дирака:
|
|
|
E2 |
|
|
|
n |
N (E) fn (E)dE , |
(2.20) |
|
|
|
EС |
|
где fn (E) |
1 |
– функция распределения Ферми–Дирака для |
||
E EF |
||||
1 e kT
электронов; E2 – энергия, соответствующая верхней границы зоны проводимости; k – постоянная Больцмана (напомним, что при T 0 , если энергия электрона E EF , то fn (E) 1, а если энергия электрона
E EF , то fn (E) 0. Энергию Ферми можно определить как предель-
но возможную энергию электрона при T 0 ).
Вычисления существенно упрощаются для случая невырожденного полупроводника, когда уровень Ферми находится в запрещенной зоне
22
и exp(E EF) 1, тогда статистика Ферми–Дирака превращается в
распределение Максвелла. Кроме того, поскольку экспоненциальный сомножитель быстро уменьшается с ростом энергии, верхний предел интегрирования можно заменить на . После вычисления интеграла (2.20) в указанных приближениях получим выражение для концентрации электронов в зоне проводимости
|
|
|
|
|
|
|
|
EC EF |
|
|
|
|
|
|
|
|
n NСe |
kT , |
(2.21) |
||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
2 m*kT 3/2 |
|
|
|
|
|||
где N |
С |
2 |
|
n |
|
– эффективная плотность состояний в зоне |
||||
|
2 |
|||||||||
|
|
h |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
проводимости. |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Аналогичный расчет для дырок с учетом функции распределения |
||||||||||
дырок |
|
f p (E) 1 fn (E) (дырка – |
это место, |
не занятое электроном) |
||||||
дает формулу для определения концентрации дырок в валентной зоне
|
|
|
|
|
EF EV |
|
|
|
|
p N e |
|
kT , |
(2.22) |
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
2 m kT 3/2 |
|
|
|
|
где N |
2 |
p |
– эффективная плотность состояний в валент- |
|||
|
||||||
V |
|
h2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ной зоне; mp * – эффективная масса дырок.
Значения NC и NV |
для кремния и германия при T 300 К приве- |
||||
дены в табл. 2.2 |
|
|
|
||
|
|
|
|
Таблица 2.2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Вещество |
|
NС , м–3 |
NV , м–3 |
|
|
Si |
|
2,8 1025 |
5,6 1024 |
|
|
Ge |
|
1,05 1025 |
1,13 1025 |
|
Для вычисления концентрации носителей заряда по формулам (2.21) и (2.22) нужно знать положение уровня Ферми. В собственном
23
полупроводнике концентрации электронов в зоне проводимости ni и дырок в валентной зоне pi одинаковы: ni pi (индекс i обозначает
собственный полупроводник, от англ. intrinsic), что позволяет определить положение уровня Ферми.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EC EFi |
|
|
|
|
EFi EV |
|
|
|
|
|||||
|
|
n p |
, N |
C |
e |
|
|
kT |
N e |
|
|
kT |
, |
|
|
|
|||||||||
|
|
i |
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
откуда получаем |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
E |
|
|
1 |
|
|
|
|
N |
E |
E |
|
|
3 |
|
|
mp |
|
|
|||||
EFi |
|
C |
V |
|
|
|
|
kT ln |
V |
|
C |
|
V |
|
|
kT ln |
|
, |
(2.23) |
||||||
|
|
2 |
|
2 |
|
|
2 |
|
4 |
m |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
NC |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
где индекс i указывает, что речь идет о собственном полупроводнике.
При T 0 К уровень Ферми находится в середине запрещенной
зоны E EC EV . В полупроводниках, у которых m m , поло-
F 2 p n
жение уровня Ферми не меняется с ростом температуры, он всегда находится посередине запрещенной зоны (рис. 2.2, а). Если эффектив-
ная масса дырок больше эффективной массы электронов (mp mn , рис. 2.2, б), то с ростом температуры уровень Ферми смещается ко дну зоны проводимости; если mp mn , то с ростом температуры уровень Ферми смещается к потолку валентной зоны (рис. 2.2, в).
E |
|
E |
|
EС |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
С |
|
С |
|
|
|
|
EF |
Eg EF |
Eg EF |
|
Eg |
||
EV |
|
EV |
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mp mn |
|
mp mn |
|
mp mn |
|
|
а |
|
б |
|
в |
|
|
|
|
Рис. 2.2 |
|
|
|
24
Найдем произведение np , перемножив (2.21) и (2.22):
|
|
|
|
|
|
|
EC EF EF EV |
|
|
|
||||
np N |
C |
N |
e |
|
kT |
|
|
kT |
|
|
|
|||
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E E |
|
|
|
|
Eg |
||||
|
|
|
|
|
|
C |
V |
|
|
|
|
|
|
|
N |
N e |
|
N |
|
N e |
kT , |
||||||||
|
|
kT |
|
|
||||||||||
|
C V |
|
|
|
|
|
|
C V |
|
|
|
|
||
где Eg EC EV – ширина запрещенной зоны. В собственных полупроводниках концентрацию носителей заряда можно записать как
|
|
|
|
|
|
|
Eg |
|
|
|
||
n p N |
N e |
2kT . |
(2.24) |
|||||||||
|
|
|||||||||||
i |
i |
C V |
|
|
|
|
|
|
|
|||
lnni |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lnn2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lnn |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
lnn1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1T |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
1 |
|
|
1 |
|
|
T |
|
||||
|
|
T2 |
|
|
|
T1 |
|
|
|
|
||
Рис. 2.3
На рис. 2.3 представлена температурная зависимость концентрации носителей заряда для собственного полупроводника. Зависимость по-
казана в осях lnni от T1 , где она имеет вид прямой линии. Пролога-
рифмируем (2.24):
lnni ln NC NV 2EkTg ,
25
тангенс угла наклона прямой определяется шириной запрещенной зоны Eg :
|
lnn |
|
lnn |
lnn |
|
Eg |
|
|
||||||
tg |
|
|
|
|
2 |
|
1 |
|
|
. |
(2.25) |
|||
1 |
|
|
2k |
|||||||||||
|
|
1 |
|
|
1 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T1 |
T2 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
T |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
2.4.Концентрация носителей заряда
впримесных полупроводниках
Механизмы образования свободных носителей заряда в примесных полупроводниках различны при высоких и низких температурах.
Низкие температуры
Рассмотрим в качестве примера донорный полупроводник. При низких температурах концентрация электронов в зоне проводимости
определяется в основном концентрацией примесных атомов Nd . Поскольку энергия активации Ed значительно меньше ширины запрещенной зоны Eg ( Ed Eg ), то при низких температурах электроны
с примесных уровней переходят в зону проводимости, и именно донорные уровни служат основными поставщиками электронов в зоне проводимости. Электронам валентной зоны не хватает энергии теплового движения, чтобы преодолеть запрещенную зону.
Таким образом, в примесном полупроводнике при очень низких температурах можно пренебречь собственной проводимостью. В этом случае все электроны в зоне проводимости – это электроны, перешедшие с донорных уровней, и их концентрация
n Nd nd , |
(2.26) |
где Nd – концентрация донорной примеси; nd – концентрация элек-
тронов, еще остающихся на донорных уровнях (рис. 2.4, а). Положение уровня Ферми можно найти из (2.26). Концентрация
электронов на донорных уровнях nd определяется через концентрацию доноров Nd и функцию распределения Ферми–Дирака fn (Ed ) для электронов с энергией Ed :
26
|
|
nd Nd fn (Ed ) Nd |
|
|
|
1 |
|
|
|
. |
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
E |
E |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 exp |
|
d |
F |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Подставим в (2.26) выражения (2.27) и (2.21): |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
EC EF |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
NC e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nd 1 |
|
|
E E |
F |
|
. |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 exp |
|
d |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EС |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EС |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Ed |
+ + |
|
+ + |
|
|
|
|
|
Ed |
|
|
EF |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
Eg |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Eg |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
EFi |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EFi |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2.27)
(2.28)
T
а |
б |
Рис. 2.4
Трансцендентное уравнение (2.28) ввиду его сложности не решают, а ограничиваются рассмотрением частных случаев. Так, при низких температурах (порядка десятков кельвинов) решение уравнения имеет вид
|
EF |
EC Ed |
|
1 kT ln |
Nd |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
2 |
|
|
2 |
NC |
|
|
1/2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
EC Ed |
|
|
|
|
|
Nd h |
|
|
|
|
||
|
|
|
1 kT ln |
|
|
|
|
. |
(2.29) |
||||
2 |
|
|
|
3/2 |
|||||||||
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
2 2 mnkT |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
27
При T 0 К уровень Ферми лежит посередине между донорным
уровнем и дном зоны проводимости. Последнее слагаемое в (2.29) с повышением температуры меняет знак, поэтому положение уровня Ферми при повышении температуры сначала приближается ко дну зоны проводимости, а затем при дальнейшем росте температуры начинает опускаться к середине запрещенной зоны (рис. 2.24, б). Середина запрещенной зоны соответствует уровню Ферми в собственных полу-
проводниках при T 0 К и обозначена на рис. 2.24 через EFi .
Чтобы найти концентрацию свободных электронов, подставим найденный уровень Ферми (2.29) в (2.21):
|
|
|
|
|
|
|
E |
|
EC Ed |
1kT ln |
Nd |
|
||||||
|
EC EF |
|
|
|
|
NC |
|
|||||||||||
|
|
|
|
C |
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
||||||
n NСe |
kT |
NСe |
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
E E |
|
|
Nd |
|
|
|
|
|
|
|
|
E E |
|
||||
NСe C2kT d eln |
|
NC |
|
Nd |
e |
|
C d |
|
|
|||||||||
|
NС |
|
2kT |
|
||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||
|
|
EС Ed |
|
|
|
NС |
|
Ed |
|
|
|
|||||||
|
NСNd e |
|
|
NСNd e |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
2kT |
|
|
|
2kT , |
|
|
(2.30) |
|||||||||
где Ed – расстояние между дном зоны проводимости и донорным
уровнем (энергия активации примесей).
На рис. 2.5 приведена температурная зависимость концентрации носителей заряда для примесного полупроводника n-типа. Зависи-
мость показана в осях lnn от T1 , где она имеет вид прямой линии. Прологарифмировав (2.30), получим
lnn ln NC Nd 2EkTd ,
а тангенс угла наклона прямой, изображенной на рис. 2.25, определяется энергией активации примесей Ed :
tg |
lnn |
lnn2 |
lnn1 |
|
Ed . |
(2.31) |
||||||
1 |
|
|||||||||||
|
1 |
|
1 |
|
|
2k |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
T2 |
T1 |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
T |
|
|
|
|
|
|
|||||
28
lnn |
|
lnn2 |
|
|
lnn |
lnn1 |
|
|
lnn |
|
|
|
|
1 |
1 |
|
1 |
|
T |
T2 |
|
T1 |
|
|
Рис. 2.5
Угол наклона кривой для примесных полупроводников меньше
угла наклона кривой для собственных полупроводников, так как энергия активации всегда меньше ширины запрещенной зоны
Ed Eg .
В акцепторных полупроводниках свободные носители заряда при низких температурах образуются при переходе электронов из валентной зоны на акцепторные уровни, расположенные вблизи потолка валентной зоны (рис. 2.6, а).
Для акцепторных полупроводников (полупроводников p -типа)
можно получить по аналогии с проведенными выше рассуждениями выражения для положения уровня Ферми и концентрации дырок в валентной зоне:
EFр |
EV Ea |
|
|
1 kT ln |
|
Na |
|
EV Ea |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
2 |
|
|
2 |
|
|
|
|
NV |
1/2 |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Nah3 |
|
|
|
||||||||
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
kT ln |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
(2.32) |
||
2 |
|
|
|
|
|
|
3/2 |
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
2 2 mpkT |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Eа |
|
|
|
|
||
|
|
|
p |
N N |
а |
e |
|
|
2kT , |
|
|
|
(2.33) |
|||
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
29
где Ea – энергия акцепторного уровня; Na – концентрация акцепторной примеси; Ea – энергия активации акцепторного уровня (разность
энергий между потолком валентной зоны и энергией акцепторного уровня).
E
|
|
|
|
EC |
|
EC |
|
|
|
|
|
|
|
EFi |
|
|
|
Eg |
EFi |
Eg |
Ea |
- |
- |
- |
- |
Ea |
EF |
|
||||||
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EV |
|
EV |
T
а |
б |
Рис. 2.6
Область истощения примесей
Если продолжать повышать температуру, то концентрация электронов в зоне проводимости увеличивается, а концентрация электро-
нов на донорных уровнях nd уменьшается – донорные уровни исто-
щаются. Когда все электроны перейдут с донорных уровней в зону проводимости (а электроны из валентной зоны еще не обладают достаточной энергией для преодоления запрещенной зоны), то концентрация электронов в зоне проводимости станет равной концентрации донорных уровней:
n Nd . |
(2.34) |
Эта область называется областью истощения примесей. В этой области концентрация свободных носителей заряда не зависит от температуры. Температура, при которой уровень Ферми достигнет донорного
30
