Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Приборы и устройства оптического и СВЧ диапазонов

..pdf
Скачиваний:
32
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
5.41 Mб
Скачать

121

Таким образом, при коротких образцах полупроводника их GaAs можно получить колебания СВЧ - диапазона. Период генерируемых колебаний определяется по времени прохождения домена через кристалл:

 

T0 =

 

l

.

 

 

 

 

 

 

 

Критическая частота

 

 

 

v д

 

 

 

 

 

100

 

 

 

f

 

 

=

,

(3.47)

 

кр

 

 

 

 

 

l

 

где l - в микрометрах;

f - в ГГц.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Другие виды неустойчивости здесь рассматриваться не будут.

Режимы работы. Пролетный режим генератора. Обычно так называют режим работы, в котором колебательная система, связанная с прибором имеет низкую добротность. В этом случае переменное напряжение на колебательной системе мало по сравнению с постоянным напряжением и не оказывает обратного влияния на процессы в образце из арсенида галлия. Если постоянное напряжение превышает пороговое значение, то в образце возникнут импульсы тока, частота следования которых определяется временем пролета. Этот режим уже рассмотрен как эффект Ганна.

Частота генерации в пролетном режиме определяется формулой:

fпр=1/T0=Vд /l=fпр,

где Т0 – время пролета домена.

Условие пролетного режима определено неравенством:

n 0 l ³ 5 ×1011 см-2

Коэффициент полезного действия в пролетном режиме максимален, когда домен занимает 1/2l образца, а форма тока почти синусоидальная.Обычно

η ≤ 10% . Мощность колебаний можно оценить по формуле:

P = η P0 ,

(3.48)

где Р0 – потребляемая от источника мощность Р0=U0 I0. Необходимое напряжение источника U0п L, а ток

I 0 = en 0 VS ,

где V- средняя дрейфовая скорость, s – площадь сечения образца, Еп - порого-

вое напряжение.

Тогда мощность (Р0) пропорциональна l и S. Однако площадь

влияет на сопротивление образца в слабом поле R0.

 

R 0 =

l

- сопротивление образца в слабом поле.

 

 

 

en 0 μ1S

 

 

 

 

Нельзя выбирать любую площадь образца, т.к. она влияет на сопротивление

нагрузки Rн. Мощность связана с сопротивлением, частотой, длиной образца сле-

дующим образом: PRн пропорционально l2 пропорционально 1/f2,

следовательно,

уменьшение как U0, так и Rн, вызовет снижение полезной мощности. Длина об-

разца l определяется выбранной рабочей частотой, а концентрация

n0 - услови-

122

ем n0 l ³ 5 × 1011 см−2 . Поэтому сопротивление образца R0 можно изменять

только выбором площади S.

Режим с задержкой образования домена. Этот режим наблюдается, когда колебательная система обладает высокой добротностью, постоянное напряжение больше порогового значения (U0 > U0n), а время пролета домена T0 меньше периода колебаний T (T0 < T). Домен здесь возникает при выполнении условия, когда U = U0 + U1 sinωt достигнет порогового значения. Следующий домен возни-

кает только с задержкой на время Т-T0. Период колебаний T определяется настройкой резонатора. При заданном времени пролета домена T0 возможна механическая перестройка частоты.

Вэнергетическом отношении режим с задержкой образования домена более

выгоден, чем пролетный режим. Длительность импульса тока Ти=Т-T0 может превышать сумму времени нарастания и рассасывания домена, которая определяет длительность импульса в пролетном режиме. КПД возрастает с увеличением дли-

тельности импульса Ти и достигает максимального значения примерно при Ти=Т/2=Т0, то есть на рабочей частоте, вдвое меньшей пролетной.

Врежиме с задержкой образования домена КПД теоретически достигает 25%, а экспериментально получено 20% при отдаваемой мощности 100 Вт.

Представляют интерес также режимы:

подавление домена и ограничение накопления заряда (ОНОЗ). Но они выходят за рамки изучаемого курса.

Особенности устройства и применения диодов Ганна. Диоды изготавли-

вают на основе монокристаллов или эпитаксиальных пленок арсенида галлия. В зависимости от выбираемого режима работы и параметров длина образцов со-

ставляет l= 5 мкм до 1 мм, а площадь сечения - S = 2,5 ×10−5 -10−2 см2 . Необхо-

дим хороший омический контакт, обладающий линейной ВАХ и малым сопротивлением по сравнению с сопротивлением образца.

Частотный диапазон, перекрываемый генераторами Ганна очень широк и составляет: 100 МГц – 150 ГГц. На частотах от 1 до 150 ГГц диоды Ганна

используют в основном для создания СВЧ генераторов.

Диоды Ганна достаточно эффективно работают при температурах 200-2500с. Перегрев диодов ограничивает максимальную мощность генераторов в непрерывном режиме и максимальную длительность импульсов в импульсном режиме.

Диоды Ганна включают в линии передачи и резонаторы, перестраиваемые по частоте. Коаксиально-волноводная секция с диодом Ганна, включаемая в волноводный тракт, показана на рис. 3.23. Короткозамыкающие поршни необходимы для перестройки генератора по частоте и согласования диода с нагрузкой. Увеличение рабочей частоты, требует уменьшения длины образца, следовательно, и напряжения питания.

Мощность колебаний пропорциональна квадрату напряжения питания. Для диодов Ганна, рабо-

тающих в доменных режимах, Pf 2 = 2 ¸ 5 ×103

123

Вт×ГГц2, а теоретический предел Pf 2 ≈ 104 Вт×ГГц2, что отражает преимущества этого режима. Коэффициент полезного действия зависит от режима работы и составляет от нескольких единиц до нескольких десятков процентов h = 10 - 20 %. В отдельных генераторах он доходит и до 30%. Мощность в непрерывном режиме Рнеп - 0,62 Вт на частоте 12,8 ГГц при h =3 - 4%. Ниже приведено еще несколько примеров работающих генераторов. Римп - 2,1 кВт на частоте 7,0

ГГц, h =4%.

Рнеп - 100 мВт на частоте 100 ГГц h =5%.

Перестройка частоты. Перестройку частоты можно осуществлять, изменяя параметры резонатора (емкостную или индуктивную составляющие). Механическая перестройка колебательного контура происходит при плавном переходе из одного режима в другой. Электронная перестройка достигается изменением напряжения питания и примерно равна 5-20 Мгц/В. Эта перестройка связана с изменением емкости домена.

Диоды Ганна не являются малошумящими приборами, так как эффективная температура электронов в области домена превышает температуру кристаллической решетки. Шум в диодах обусловлен также случайным изменением, неоднородностью момента зарождения домена.

Амплитудный шум генераторов примерно на 30 дБ меньше частотного, а последний близок к уровню шумов клистронов. Для лучших генераторов частотный шум составляет: - 110 дБ при смещении от основной частоты на 100 кГц; - 130 дБ при смещении на 1 МГц; - 160 дБ при смешении на 10 МГц.

В настоящее время генераторы на диодах Ганна находят применение в качестве СВЧгетеродинов и генераторов в маломощных передатчиках сантиметрового и миллиметрового диапазонов.

124

Глава 4.

Применение и регистрация СВЧ энергии

4.1.Нагрев СВЧ энергией

4.1.1.Поведение диэлектриков в электромагнитных полях

Энергия СВЧ поля широко используется в промышленном производстве (сушка, сублимация, прогрев, дробление), в медицине (диатермия), в быту и торговле (СВЧ печи). Для этих применений выделены частотные диапазоны [6]:

433,2 МГц ± 2,0%

- медицина

461,04 МГц ± 2,0%

 

915,0 МГц ± 2%

- промышленные установки

2450 ± 50 МГц

- СВЧ печи

 

- для новых разработок

5800 ± 75 МГц

22125 ±125 МГц

 

Тепловую энергию можно передавать путем излучения, конвекции или теплопроводности. В процессе СВЧ нагрева передача тепла материалу производится путем облучения его энергией СВЧ. Энергия СВЧ - это очень удобный источник тепла, имеющий несомненные преимущества перед другими источниками. Нагрев энергий СВЧ является чистым методом, так как при его использовании отсутствуют какие-либо продукты сгорания, отличается большой гибкостью в применении и практически безынерционен в управлении. Легкость, с которой СВЧ энергия преобразуется в тепло, позволяет получить очень высокие скорости нагрева, возможность мгновенно изменять количество СВЧ энергии по всему объему диэлектрика, что обеспечивает хорошее качество продукции.

Не металлические материалы полупрозрачны для СВЧ - энергии. Поля СВЧ проникают в такие среды на значительную глубину, которая зависит от их свойств, параметров. В теории электромагнитного (ЭМ) поля каждая среда харак-

теризуется параметрами: абсолютной диэлектрической проницаемостью

 

 

Ф

e

 

 

,

 

 

 

 

м

абсолютной

магнитной проницаемостью

 

Гн

и проводимостью

m

 

 

 

 

 

 

м

 

 

1

 

 

 

 

s

 

 

. В [12,13]

приводятся относительные параметры er

и mr , которые свя-

Ом

 

 

× м

 

 

заны с абсолютными величинами соотношениями: e = e0 × er и μ = μ0 × μr

Взаимодействуя со средой на атомном и молекулярном уровне, эти поля влияют на движение электронов. Электроны в таких материалах движутся более или менее свободно в зависимости от диэлектрической проницаемости и проводимости. Наличие проводимости делает диэлектрик неидеальным, с потерями. В диэлектрике с потерями, находящемся в ЭМ поле, текут токи: смещения, плот-

 

 

 

 

 

 

 

j π

 

 

 

 

ность которого j

= iw× eE = weE × e

2 , и проводимости с плотностью j = sE ,

 

 

см

 

 

 

 

 

 

 

пр

сдвинутые на π

125

при векторном представлении плотности полного тока

2

 

j = jсм + jпр (рис. 4.1.). Когда число движущихся электронов становится настолько

большим (проводимость велика), что индуцированные при их движении поля по своей интенсивности приближаются к возбуждающему полю, результирующее поле становится равным нулю. СВЧэнергия не может проникнуть внутрь материала, так как возникает явление поверхностного эффекта.

Отношение тока проводимости к току смещения называется тангенсом угла потерь

tgδ =

σ

.

(4.1)

 

 

ωε

 

Величина tgδ определяет коэффициент затухания α ЭМ поля в этом диэлектрике:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 + tg

2

d -1

 

 

a = w× em ×

 

 

 

,

(4.2)

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где ω - круговая частота электромагнитного поля.

Величина коэффициента затухания a определяет изменение амплитуды полей (электрического - Em и магнитного - Hm ) в зависимости от расстояния от по-

верхности в образце х:

E m (x) = E m (0)× e −α x × e − jβ x ,

(4.3)

здесь b-коэффициент фазы волны в диэлектрике.

В случае диэлектриков с малыми потерями ( tgδ << 1) выражение (4.2), после разложения в ряд по малому параметру, примет более простой вид:

a =

w

er × mr

×

tgd

=

p

er

× mr

× tgd ,

(4.4)

 

c

2

 

l

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где l = c длина волны в свободном пространстве. f

Расстояние, на котором амплитуда поля электромагнитной волны уменьшает-

ся в e раз, называется глубиной проникновения поля в материал -

. Для случая

сред с малыми потерями величина ∆, согласно (4.3) и (4.4), выражается как:

D =

1

=

 

λ

 

.

(4.5)

 

 

 

 

 

a

p er ×mr

× tgd

 

 

Глубина проникновения поля в металл, когда tgδ >> 1, из (4.5) c учетом (4.2)

определяется формулой:

 

 

 

 

 

мет =

 

2

.

(4.6)

ωμσ

 

 

 

В таблице 4.1. приведены электродинамические параметры [6,7] некоторых материалов на частотах, применяемых для СВЧ нагрева.

126

ЭМ поле в неидеальном диэлектрике затухает, т.е. рассеивается. Потери энергии СВЧ поля в диэлектрике это тепловые (Джоулевые) потери, мощность

P которых определяется соотношением:

 

 

 

 

 

 

пот

 

 

 

 

 

 

R R

 

 

 

 

 

 

Pпот = σ (E × E * )dV = ωε 0

ε r tgδ

 

E

 

2 dV ,

(4.7)

 

 

 

 

 

Vε

Vε

 

где V - объем нагреваемого диэлектрика;

 

 

 

 

 

 

ε

 

 

 

 

 

 

|Е| - величина электрического поля в области, занятой диэлектриком,

в

каждом конкретном случае является функцией координат.

Эффективность преобразования энергии электрического поля в тепловую энергию, согласно (4.7), увеличивается пропорционально рабочей круговой частоте и квадрату напряженности электрического поля. Но увеличивать напряженность электрического поля нельзя, так как, начиная с некоторой величины (30 кВ/см), возникает пробой. Поэтому увеличение частоты - единственный путь увеличения удельной тепловой энергии потерь. Но с ростом частоты уменьшается глубина проникновения поля в вещество (4.5) и при большом объеме диэлектрика может оказаться, что ЭМ поле будет отсутствовать в его центральной части, которая останется без тепловой обработки.

Процесс термообработки сопровождается повышением температуры ди-

электрика. Чтобы нагреть образец массой m на T градусов (от T - начальной до

 

 

н

T

- конечной температуры, т.е. DT = T

- T ) при его удельной теплоемкости

k

к

н

 

кал

 

 

 

 

γ

 

 

 

 

, необходима энергия:

г × град

 

 

 

 

 

 

W = 4,1868 × m × gc × DT ,

[Дж].

Изменение энергии нагрева за время t , т.е.

 

W

, есть мощность

 

 

 

 

Dt

(4.8)

Pпот = W , за-

Dt

трачиваемая ЭМ полем. Это равенство с учетом (4.7) и (4.8) переходит в соотношение:

Dtwe0er × tgd

 

E

 

2 dV = 4,1868 × mgDT .

(4.9)

 

 

Vε

Из (4.9) можно определить изменение температуры диэлектрика за время t , или наоборот.

 

ωε × tgδ

 

E

 

2 dV

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

DT =

Vε

× Dt

,

[

]

.

(4.10)

 

 

 

 

 

 

4,1868 × mγ

 

град

 

 

 

 

 

 

 

Величина E 2 определяется ЭМ полями в тех системах, которые применяют-

ся для нагрева, т.е. в волноводах, антеннах или резонаторной камере СВЧ печи. Таблица 4.1.

Параметры er , tgδ и теплоемкости γ

 

Материал

f

= 3 ×10

8

f = 3 ×10

9

 

кал

 

 

 

,Гц

,Гц

γ ,

 

Т,

 

 

г × град

 

 

εr

 

 

tgδ

εr

 

tgδ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0С

127

1

Мясо сырое

50

0,78

40

0,3

0,58

25

постное

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

Мясо сырое

¾

¾

33

0,32

0,65

4,4

 

жирное

 

 

 

 

 

 

3

Мясо сухое

2

0,02

2

0,02

0,3

25

4

Жир

2,5

0,12

2,5

0,07

0,43

25

 

5

Вода

77,5

0,016

76,7

0,157

1

25

6

Мышечная

49 –52

1,6 ×10-3

45 – 48

2,96 ×10-3

0,4

25

 

ткань

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

7

Печень

¾

¾

37

3×10-3

0,58

25

8

Стекло

5 – 7

0,01-0,02

5,2

0,01

0,2

20

9

Фарфор

5,8

0,0115

5,7

0,014

0,2

20

10

Снег, лед

¾

¾

¾

¾

0,43

0

11

NaCl

5,9

2×10-4

¾

¾

0,22

¾

12

Тефлон

2,0

2×10-4

2,04

2,8×10-4

0,1

25

 

 

 

 

 

 

 

 

13

Бумага

2,75

0,066

2,7

0,056

23

14

Пихта зел.

15,8

0,19

15,0

0,18

23

Следует отметить, что при падении волны на диэлектрик определенной толщины некоторая часть поля отражается от поверхности. Если Zgn – волновое сопротивление диэлектрика у поверхности, а Z0 волновое сопротивление свободного пространства, то величина отраженного сигнала [12] определяется коэффициентом отражения.

 

×

 

 

 

Г& =

Z gn Z 0

 

 

(4.11)

×

 

 

 

Z gn + Z0

 

 

 

Zgn представляет, с другой стороны, входное сопротивление диэлектрика и согласно [8] теории передающих линий, определяется по формуле:

&

= z g

z0 × ch(l ×γ×

) + z g × sh(l ×γ×

)

 

z gn

 

 

 

,

×

×

 

 

 

z g × ch(l ×γ ) + z0 × sh(l ×γ )

где Z q = μ / ε - волновое сопротивление диэлектрика;

&

&

 

l – толщина диэлектрика.

128

γ& - комплексная постоянная распространения волны, определяется уравне-

нием γ& = α + iβ . Величина α (4.2) в случае малых потерь определяется формулой (4.4), а фазовая постоянная при малых потерях равна

β = (1 + tg 2δ ) ×ω μ ×ε

8

Волновое сопротивление свободного пространства Z0= 377Ом, волновое сопротивление диэлектрика при малых потерях [12] можно определять как

 

 

μ

r

 

 

 

3

× tg 2δ + i ×

tgδ

(4.12)

Zq n

» 377

 

 

 

× 1

-

 

 

 

ε r

8

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

Хотя уравнения для Zqn , α, β имеют приближенный характер и справедливы для случая малых потерь в среде, но они позволяют оценить сложные процессы взаимодействия электромагнитной волны с диэлектриком.

4.1.2. Электродинамические системы нагрева диэлектриков полями бегущих волн

Электродинамические системы для нагрева в распространяющихся полях применяются для сушки бумаги, тканей, фанеры, пиломатериалов, для нагрева порошков, для раскалывания камней, гранита, для размораживания пищевых продуктов и т.п. Такие поля создаются с помощью волноводов (прямоугольных, цилиндрических, коаксиальных), антенн специальных конструкций, возбуждаемых волноводами, и работающими в дециметровом и сантиметровом диапазонах волн. Для создания полей бегущих ЭМ волн в таких линиях необходимо выполнить согласование сопротивлений всех узлов. Тогда, очевидно, нагрев диэлектрика происходит равномерно электрическим полем бегущей волны, а не использованная полностью энергия поступает в нагрузку.

Прямоугольный волновод для СВЧ нагрева полями бегущих волн работает на основной волне типа H10 (рис. 4.2) и его размеры сторон འb задаются неравенствами

0.5λ0

P a P λ0

 

129

 

 

или

1.2a P λ0

P 1.8a

,

0 P b P 0.5λ0

b P 0.5a

 

 

 

 

здесь λ0 =

3000

длина волны в свободном пространстве, f

- рабочая частота.

f [МГц]

Для данного волновода и типа волны необходимо рассчитать величину │Е│2 ,

определяющую мощность потерь на нагрев. Для этого используем выражения компонент полей, которые получены из уравнений Максвелла с учетом граничных условий для данного волновода:

E y

= Z c Asin

π × x

 

 

a

 

 

 

 

 

 

 

 

 

π × x

 

H x

 

 

jβb z

= -Asin

a

e

 

 

 

λb

 

(4.13)

 

 

π ×

x

 

= - jA

 

H z

 

cos

 

 

2a

 

 

 

a

 

 

H y

= Ex = Ez = 0

 

 

где βb -коэффициент фазы волны в волноводе;

А - константа, определяется величиной передаваемой мощности Р и размерами поперечного сечения волновода в виде

 

 

P

λ

 

 

2

 

 

 

0

 

 

A

= 0.103 ×

 

4 1 -

 

 

,

(4.14)

a × b

 

 

 

 

 

2a

 

 

 

 

 

 

здесь а, b – в сантиметрах;

Zc – характеристическое сопротивление волновода для волны H10 определяется из соотношения

 

Zc =

 

 

 

 

120 ×π

 

 

 

 

 

;

(4.15)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

λ

 

 

 

 

 

 

 

 

ε rι

0

2

 

 

 

 

 

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

× a

 

 

λв =

 

 

 

λ0

 

 

 

 

 

 

,

(4.16)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

λ

 

 

 

 

 

 

 

ε r¢ -

0

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2a

 

где

ε r¢ - действительная часть относительной диэлектрической проницаемости

среды волновода.

Распределение ЭМ поля и токов волны типа Н10 (структура) (рис. 4.2) построено в соответствии (4.13).Линии тока смещения направлены также как и линии электрического поля; их максимум в центре волновода, но он сдвинут вдоль оси z на π/2, относительно максимума поля Е. По внутренним стенкам волновода течет ток проводимости, создаваемый тангенциальным магнитным полем H, проходящим вблизи стенок. Картина поля с совпадением направлений линий повторяется через расстояния, равные длине волны в волноводе λв. Картины токов и ЭМ поля позволяют выбрать место расположения диэлектрика для эффективного использования энергии электрического поля, а также форму технологиче-

130

ских отверстий, в которых следует помещать дополнительные ручки управления. Из рис .4.2 следует, что диэлектрик должен быть конечной толщины, располагаться в плоскости уоz, проходящей через средину широкой стенки волновода, где линии электрического поля параллельны его границам; технологические отверстия в стенках не должны нарушать линий токов проводимости.

Амплитуда напряженности электрического поля из (4.13) с учетом (4.14) и (4.15) и при х=0,5a равна

 

38,8

 

P

 

 

 

 

 

λ

0

2

 

 

 

 

E ym =

 

 

 

 

 

 

 

 

1 -

 

.

 

 

 

(4.17)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ε

¢

 

a × b

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2a

 

 

 

 

 

 

 

r

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Волна Н10 распространяется вдоль оси z с фазовой скоростью

 

 

 

 

 

 

ϑф

 

 

 

=

 

 

 

с

 

 

.

(4.18)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

λ0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

¢

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ε r

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2a

 

При наличии потерь в стенках и диэлектрике поля ослабляются, их амплитуда уменьшается по закону:

k = k0 × e−α n z ,

(4.19)

где αnвg-постоянная затухания в системе, состоит из потерь в стенках волновода -αв и в диэлектрике αg, заполняющем волновод полностью.

Если можно пренебречь потерями в стенках волновода из-за их малости, то потери в диэлектриках следует учитывать, и тогда αng. Величина αg определяется выражением:

 

ω ×ε r ²

 

 

 

 

 

 

 

α g =

 

ε

0 × μ0

 

,

(4.20)

 

 

 

 

 

 

 

¢

 

 

λ0 2

 

 

 

 

 

 

2 ε r

-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2а

 

 

 

где ε r - мнимая часть относительной диэлектрической проницаемости среды, свя-

′′

 

 

 

 

занная с проводимостью диэлектрика (σ) соотношением:

 

σ=ωε ε ² ,

 

1

(4.21)

 

 

 

0 r

 

 

 

 

Ом

 

Для случая волноводов, частично заполненных диэлектриком (рис. 4.3),