Основные материалы, применяемые для тонкопленочных резисторов:
•чистые металлы (Cr, W, Ta, Re): R□= 500…1000 Ом.
•нихром Х20Н80: R□ = 50…300 Ом.
•нитрид тантала Ta2N: R□ = 200...104 Ом, αρ = 0, отличается высокой температурно-временной стабильностью свойств, пленку получают ионно-плазменным осаждением в среде аргона.
•металлосилицидные сплавы группы PC (табл. 10) - сплавы системы Si-Cr-Fe с температурами плавления Тпл = 1250…1550°С,
R□ = 200…600 Ом.
•сплавы группы МЛТ - 32 сплава, маркируемые порядковым номером. Основными компонентами сплавов являются металлы
Si, Fe, Cr, Ni, Al, W и оксиды SiO2, V2O5, Ge2O5, Dy2O3, (табл. 11).
Для этих сплавов характерны значения R□ до 35 кОм.
Таблица 10
Свойства металлосилицидных сплавов для тонкопленочных резисторов
|
Марка |
Химический состав |
ρ, мкОм·м |
Траб.max.,°C |
|
||
|
PC 4800 |
|
Si+48%Cr |
30,0 |
1550 |
|
|
|
PC 3710 |
Si+37%Cr+10%Fe |
6,0 |
1250 |
|
|
|
|
PC 3001 |
Si+30%Cr+1%Fe |
30,0 |
1350 |
|
|
|
|
PC 1714 |
Si+17%Cr+14%Fe |
4,0 |
1570 |
|
|
|
|
PC 1004 |
Si+10%Cr+4%Fe |
50,0 |
1380 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 11 |
||
|
Примеры сплавов МЛТ для тонкопленочных резисторов |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Марка сплава |
|
Химический состав |
|
|
|
|
|
МЛТ1 |
|
30%Si+28%Fe+6%Cr+12%Ni+23%W+1%SiO2 |
|
|
||
|
МЛТ28 |
|
28%Si+8%Cr+46%Ni+23%W+10%V2O5 |
|
|
||
|
МЛТ31 |
|
28%Si+7%Cr+7%Al+8%W+3%SiO2+47%Dy2O3 |
|
|
||
Вопросы для самоконтроля
1. От чего зависит электропроводность идеальных и реальных металлов?
57
2.Как определить удельное сопротивление металла при любой температуре?
3.В чем принципиальное отличие изменения ρ и αρ от состава сплавов Cu-Au и Cu-Ni?
4.Как зависит ρ и αρ от толщины тонкой металлической пленки? Что такое сопротивление квадрата?
5.Назовите основные материалы высокой проводимости и их применение.
6.Как влияют примеси на свойства меди и алюминия?
7.Перечислите основные благородные металлы, особенности их свойств и применение.
8.Назовите основные тугоплавкие металлы, особенности их свойств и применение.
9.Какие материалы применяются для неподвижных контактов?
10.Какие материалы используют для слаботочных разрывных контактов?
11.Какие материалы применяют для высоконагруженных разрывных контактов?
12.Из какого материала изготовляют коллекторные пластины электрических машин?
13.Какие электрические щетки лучше всего применять для мощного электродвигателя низкого напряжения; маломощного электродвигателя и быстроходных электрических машин?
14.Расшифруйте сплавы МНМц3-12 и МНМц40-1,5, укажите их свойства и применение.
15.Какие материалы применяются для электронагревательных элементов?
16.Перечислите методы получения тонких резистивных пленок. Какие материалы используются в качестве испарителя и почему?
17.Какие основные материалы применяются для тонкопленочных резисторов? Как определить сопротивление тонкопленочного резистора?
18.Что такое контактолы? С какой целью они используются?
58