3.3. Устройство и работа микроскопа

Блок оптико-механический (рис. 4.4) имеет массивное основание 1, на котором закреплены стойка 41, столик приборный 28, переключатели 2 и 30, управляющие электродвигателями 36, приводящими в движение отсчетные лимбы шкал 26 и 9 поляризатора и анализатора и тумблер 42 для включения лампы освещения оптической головки 16.

На стойке 41 с помощью подвижного кронштейна 37 закреплено шкальное устройство 6, служащее для изменения углов наклона тубуса поляризатора 20 и тубуса анализатора 7 при помощи червячного сектора 40 и регулятора угла наклона 15.

Тубусы представляют собой прямые ступенчатые трубы. В широкой части корпуса тубусов сделаны окна для визуального наблюдения лимбов отсчетной системы. Предусмотрена возможность удаления компенсатора 24 и анализатора 11 во время настройки микроскопа.

Вращение поляризатора 19, анализатора 11 и компенсатора 24 осуществляется барабанами 21, 10, 22, а отсчет углов поворота этих элементов относительно плоскости падения производится при помощи лимбов шкал 26, 9, 18. Для фиксации лимбов служат винты 23, 8, 25.

В верхней части тубуса поляризатора расположен источник монохроматического излучения — оптический квантовый генератор типа ЛГ-56 (лазер).

В верхней части тубуса анализатора установлен фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) в корпусе 13 и светофильтр 33. В верхней части тубуса анализатора установлен отражатель 14 — в этом случае регистрация эллипсометрического изображения визуальная и фотоэлектрическая.

Отражатель имеет отверстие, через которое луч попадает (при открытой заслонке 12) на ФЭУ. Вместо отражателя может устанавливаться приемник. В этом случае регистрация эллипсометрического изображения — телевизионная и фотоэлектрическая.

В нижние части обоих тубусов ввинчиваются диафрагмы или объективы 27 и 3 типа ОС-39, ОМ-13П 90, 20.

Шкальное устройство 6 вместе с тубусами 20 и 7 может быть грубо установлено по высоте путем перемещения вдоль стойки 41 гайкой 39 при помощи рукоятки 15 и закреплено в данном положении маховичком 38.

Тубусы поляризатора 20 и анализатора 7 могут быть установлены под углом в диапазоне обеспечивая изменение угла падения света в пределах Регулировка углов наклона тубусов производится рукояткой 15. Отсчет углов наклона тубусов осуществляется с помощью шкалы 17 червячного сектора 40. Для фиксации тубусов служат маховички 35.

Рис. 4.4. Оптико-механический блок микроскопа: 1 — основание; 2, 30 — переключатели; 3, 27 — объектив; 4, 5 — регулировочные гайки; 6 — шкальное устройство; 7 — анализатор; 8, 23, 25 — винты фиксации лимбов; 9, 18, 26 — шкалы лимбов; 10, 21, 22 — регулировочные барабаны; 11 — анализатор; 12 — заслонка; 13 — фотоумножитель; 14 — отражатель; 15 — регулятор угла наклона тубусов; 16 — оптическая головка; 17 — шкала; 19 — поляризатор; 20 — тубус поляризатора; 24 — компенсатор; 28 — приборный столик; 29 — регулировочные винты; 31 — ручки для переноса; 32 — гайка фиксации рабочего столика; 33 — светофильтр; 35 — маховички фиксации тубусов; 36 — управляющие электродвигатели; 37 — подвижной кронштейн; 38 — маховик; 39 — гайка-фиксатор; 40 — червячный сектор; 41 — стойка; 42 — тумблер

Приборный столик 28 служит для выставления исследуемого образца в горизонтальном положении при помощи трех винтов 29. Винты также служат для получения на экране ВК, индикаторном приборе максимума интенсивности путем легкого наклона его верхней части. Для фокусировки верхнюю часть приборного столика можно перемещать вверх и вниз при помощи гайки 32. Кроме того верхняя часть приборного столика, на которой размещается исследуемый образец, может перемещаться по окружности и вращаться вокруг своей оси. Это позволяет исследовать образцы диаметром до 80 мм. Исследование образцов диаметром до 100 мм достигается перемещением их относительно верхней части столика. Для переноса лазерного микроскопа служат ручки 31.