Дегтяренко Свойства дефектов и их ансамблей, радиационная 2011
.pdfнапримерI=с помощью рассеяния назад быстрых=Eобычно с энергией= ≥ МэВF=ионовK=
Теоретически |
движение |
ионов |
в |
твердом |
теле |
описывается= |
|||||||||||||||||||
функцией |
|
распределения= |
r r |
|
r |
|
r |
F I= |
зависящей |
от |
начальной= |
||||||||||||||
|
cEvIrItIvM IrM |
||||||||||||||||||||||||
|
r |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
r |
|
|
|
|
|
||
скорости= vM и начального положения= rM ионаK=Функция распределеJ |
|||||||||||||||||||||||||
ния удовлетворяет уравнению= |
|
|
r |
|
|
r ù |
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
¶c |
|
|
v |
|
¶c |
|
|
|
¶c |
é |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
¶t |
|
H v ¶rr Z kpe ¶b Hk òëcE v FJ cDE vDFû× |
|
|
|
=====EPKQQF= |
||||||||||||||||||
|
|
æ |
r r |
|
|
|
jNHj O |
|
|
|
|
|
jNO |
ö |
|
|
|||||||||
|
|
v×vD |
|
|
b Jq |
|
|
|
|
b |
|
dΩD |
|
||||||||||||
×δ ç |
J |
J |
J |
|
÷dσEbIqF |
K |
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
ç |
|
|
|
|
|
|
b |
OjN |
|
|
|
bHq |
O |
÷ |
|
Qπ |
|
||||||
|
|
è v×vD |
|
|
|
ø |
|
|
Интеграл столкновений выражает изменение функцииI=распреJ деления иона в результате столкновений с неподвижными атомами= мишениK= Здесь= ds= EbI =ТF= –= дифференциальное сечение передачи=
энергии=Т=атому мишени ионом с энергией= bZ jNvO K=ИнтегрироваJ
O
ние по= dW= D =производится по всем направляющим углам скорости = иона=v’ после столкновенияI=которые допускают законы сохраненияI= описываемые= d-функциейK= Торможение вследствие возбуждения= электронов рассматривается как действие непрерывной силыI=равной= kpе и направленной антипараллельно скорости ионаK= Обычно интеJ ресуются лишь распределением остановившихся ионов и рассматриJ
r
вают функцию распределения= cEzIbIeF I=не зависящую от времени=t и= от текущей скорости иона= vK =Если при этом граничное условие для = функции= распределения соответствует равномерному потоку ионовI=
r
падающих на поверхностьI=то функция=распределения= cEzIbIeF завиJ сит лишь от глубины= zI= начальной энергии= Е= и направления влета=
r
ионов= e K=Однако даже в этом случае решение кинетического уравнеJ ния для функции распределения является сложной задачейK=Обычно=
r
функцию= cEzIbIeF разлагают по полиномам Лежандра от направляJ
r
ющих косинусов вектора= e и ищут моменты распределения по глуJ бине=zK=
Зная моменты распределенияI=можно определить его основные= характеристикиW= среднюю глубину проникновения= <z>I средний= квадрат глубины проникновения= <zO>I который характеризует стеJ
NRN=
=
пень= …размытия»= профиляK= Кроме тогоI= можно приближенно найти= функцию= распределения в виде некоторой функцииI= параметры коJ торой определяются через соответствующие моменты распределеJ нияK= Наиболее простым из используемых распределений является= гауссовское=
|
|
a |
|
|
|
æ |
O ö |
|
|
|
cEzFZ |
|
|
|
exp |
ç Ez J |
z F |
÷ |
|
=EPKQRF= |
|
( |
2π |
zO |
) |
ç |
zO |
÷I = |
|
|||
|
|
è |
ø |
|
|
|||||
|
|
|
|
ç 2 |
÷ |
|
|
|||
где= a= –= полная |
|
доза |
|
облучения |
|
на |
единицу |
поверхности= |
||
á zO ñ =(ázO ñ-ázñO )K= |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Аналитические выражения для моментов= ázñ и= ázO ñ получены= лишь при=pЕ=Z=M=и для степенного потенциалаI=когда сечение рассеяJ ния описывается формулой=EPKPQFK=В этом случае=
ázñ= A |
bOm |
X= ázO ñZ B= |
bQm |
X= ázP |
ñ=g= |
bSm |
K ================EPKQSF= |
|
(kCmO |
(kCmO |
|||||
|
kCm |
) |
|
) |
Здесь= АI =ВI =g= – =константыI =зависящие от соотношения массK =Хотя= пренебрежение неупругими потерями энергии= pе оправдано лишь= для достаточно медленных и тяжелых ионовK=Формулы=EPK=QSF=дают= представление об энергетической зависимости характеристик расJ пределенияK= Более точные расчеты моментов распределения с учеJ том неупругих потерь энергии и с потенциалом=EPKPMF=выполняются= методом численного интегрирования уравненийK=В настоящее время= имеются первые моменты распределения внедренных ионовK=В таблK=
PKP= для иллюстрации даны значения= ázñ и= ázO ñ I= рассчитанные для= нескольких комбинаций ион= –= мишень в зависимости от начальной= энергии иона при нормальном падении иона на мишень K=
В случае наклонного падения ионов на мишень средняя глубиJ на проникновения= ázñ ZopÅosqI=где=q=–=угол паденияI=отсчитываемый= от нормали к поверхностиI= op= –= проектный пробегI= определяемый=
как проекция среднего расстоянияI= на которое проникает |
ионI= на= |
направление начальной скорости ионаK= Для определения |
среднего= |
квадрата глубины проникновения= ázO ñ при наклонном |
падении= |
NRO= |
|
= |
|
необходимо знать также второй момент= á y O ñ распределения в = направленииI= перпендикулярном направлению начальной скорости= ионаK=
Параметры распределения внедренных ионов зависят от соотJ ношения масс иона и атомов мишени=МOK=ТакI=для легких ионов=jN=«=
jOI=которые сильно рассеиваютсяI=ширины распределения= |
á z O ñ и= |
|
á yO ñ |
больше средней глубины проникновения= ázñ I= |
причем= |
á z O ñ » á y O ñI в то время как для тяжелых ионов=МN=»=МOI= у которых=
траектория= …менее изломана»I= ширины= á z O ñ и= á yO ñ меньшеI=
чем= ázñ и= á z O ñ =[= á y O ñ I=т.еK=распределение вытянуто сигарообразно=
вдоль первоначального направления движения ионовK=
По мере увеличения энергии ионов их профили=становятся все= более асимметричнымиI=при этом убывание функции распределения= от максимума к поверхности более медленноеI=чем убывание в глубь= мишениK=
На рисK=PK8=представлены профили=остановившихся протонов в= тяжелой мишени=EМO=»=МNF=для разных значений безразмерной энерJ гии еK=Глубина выражена также в безразмерных единицахW=
ρZ zkπ~O |
QjNj OO |
|
K |
EjNHj O F |
O |
||
|
= |
||
Имеющиеся сейчас методы расчета распределений внедренных= |
ионов вполне удовлетворительныK= При энергиях ионов больше неJ скольких сотен электрон-вольт расчетные и экспериментально измеJ ренные профили достаточно хорошо совпадаютK= НапримерI= расхожJ дение в значениях проективного пробега=oр между теорией и экспеJ риментом не превышает=NMJOM=BK=При малых энергиях=NMM=эВ теория= «работает»= значительно хужеI= но при этом сама глубина проникноJ вения ионов не превышает нескольких десятков ангстремI=и ошибки= не очень существенны для практикиK =В табK =PKQK =представлены расJ четные данные для параметров распределения внедренных ионов =в различные мишениK=
=
NRP=
=
=
РисK= PK8K= Профили= распределения остановившихся протонов в= тяжелой мишени для разных значений безразмерной энергииW=J=J=J=J== –= гауссовские распределенияI= использующие два момента= E ázñ и=
ázOñ FX==JJJJJ==–=распределения ЭджевортаI=использующие три момента=
=
Представляет интерес также пространственное распределение=
дефектовI= создаваемых бомбардирующими ионамиI= которое |
совпаJ |
|||
дает с распределением энергииI=выделенной при упругих столкновеJ |
||||
нияхK= Теоретически |
этот |
вопрос исследуется с |
помощью |
функции= |
æ |
® ®ö |
которая представляет |
собой |
плотность= |
распределения= c ç |
r I v ÷I |
|||
a |
ø |
|
|
|
è |
|
|
|
энергииI=выделенной при упругих столкновениях в точке=rI=в резульJ
тате каскада инициированного |
частицейI= которая начинает свое= |
® |
® |
движение в точке= r =M со скоростью= v K
Если налетающий ион идентичен атомам мишениI=то функция=
æ® ® ö
распределения= ca ç r I v ÷ удовлетворяет уравнению==
èø
|
r |
|
|
|
¶ca |
|
r |
r |
r |
|
|
v |
|
¶ |
|
|
|||||
J |
|
ca Z kpe |
H k òdσ |
ëéca E v FJ ca E vDFJ ca E vDDFûùI ====EPKQTF= |
||||||
v |
® |
|
||||||||
|
|
¶ r |
¶b |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
NRQ=
=
®®
где= v D I= v DD = – скорости первого и второго= Eвначале неподвижногоF= атомов после столкновения соответственноX= dу содержит помимо=
®
дифференциального сечения также= d-функциюI= связывающую= v I=
® ®
vD I= v DD в соответствии с законами сохраненияK=
Если же ионI=инициирующий каскад отличен от атомов мишеJ
|
|
|
|
|
æ® ® ö |
|
|
ниI=то приходится вводить две функции= распределенияW= caN ç r I v ÷ == |
|
||||||
|
|
|
|
|
è |
ø |
|
|
|
|
æ® ®ö |
|
|
|
|
для каскадаI= инициированного иономI= и= |
caO ç r I v ÷ для |
каскадаI= |
|
||||
|
|
|
è |
ø |
|
|
|
инициированного атомом мишениK= caO |
удовлетворяет уравнению= |
|
|||||
EPKQTFI=а= caN =–= уравнениюI= аналогичному=EPKQTFI= в которомI= однакоI= |
|
||||||
последний |
член |
подынтегрального |
выражения |
|
заменен= |
н |
æ® ®DD ö
c |
ç r I v |
÷ |
K= В этом случае приходится решать систему из двух= |
aO |
ç |
÷ |
|
|
è |
ø |
|
уравненийK=Если же мишень состоит из=k различных видов атомовI=то= приходится вводить=Ek=HNF функцию распределения и решать систеJ му=Ek=HNF уравненийK=
Функции=caN и=caO нормированы такI=что=
® |
|
|
òd r (caN H caO Zq)NOG K |
= |
EPKQ8F= |
|
============ |
|
æ® ® ö
Решение уравнений для функции= распределения= ca ç r I v ÷ =
è ø
обычно проводится методом моментовI= аналогично томуI= как это= делается для функции распределения остановившихся ионовK= КачеJ ственно распределение дефектов похоже на распределение внедренJ ных ионовK==
=
NRR=
=
=
Таблица=PKQ===
Параметры распределения внедренных ионов=
=
bN,кэВ=
NRS=
|
|
Средняя |
глубина |
проникновения |
ионов= ázñ оказывается= |
|||||||
большеI= |
чем |
|
средняя |
глубина |
залегания |
дефектов= ázña I= причем= |
||||||
различие |
тем |
существеннееI= чем больше |
отношение масс= МN/МOK= |
|||||||||
Это связано с темI=что ион в конце пробегаI=имея еще энергиюI=доJ |
||||||||||||
статочную для движенияI=уже не может создавать дефектыK== |
||||||||||||
|
|
Между ширинами распределения дефектов и внедренных= |
||||||||||
ионов имеются следующие соотношенияI=зависящие от массW= |
||||||||||||
á Δz O ña < |
á |
z O ñX |
á y O ña < |
á y O ñ для легких ионов=EМN=«=МOFX= |
||||||||
á Δz O ña » |
á |
z O ñ X |
áy O ña » |
áy O ñ для равных масс=EМN=Z=МOFX= |
||||||||
á Δz O ña > |
á |
z O ñ X |
áy O ña > |
áy O ñ для тяжелых ионов=EМN»МOFK= |
||||||||
|
|
Решение уравнений типа=EPKQTF=дает распределение дефектовI= |
||||||||||
усредненное по многим каскадамK= Размеры каждого единичного= |
||||||||||||
каскада оказываются меньшеI= чем размеры распределенияI= усредJ |
||||||||||||
ненного |
по |
многим |
каскадамK= Если |
обозначить среднеквадратичJ |
||||||||
ные размеры единичного каскада= á |
z O ñaN и= á y O ñaN I=то отношения= |
|||||||||||
δz Z |
á |
zO ñaN |
|
и= δy Z |
áyO ñaN |
приблизительно равны между собой и= |
||||||
|
zO ña |
áyO ña |
||||||||||
á |
|
|
|
|
|
|
меняются в зависимости от соотношения масс=МN/МO от=dz=≈=dy ≈=MIV=
при= МN/МO=Z=NM=до= dz= ≈= dy ≈=MIOTR= при= МN/МO=Z= MINK= Малые относиJ
тельные размеры единичных каскадовI=создаваемых легкими ионаJ миI =обусловлены темI =что длина пробега смещенных ими атомов = значительно меньше длины пробега ионовI= а ионы сильно рассеиJ ваются и повторяемость конфигураций каскадов малаK= ОтметимI= что для легких ионовI= которые создают в основном одиночные деJ фектыI= лучше говорить о размере области дефектовI=а не о размере= каскадаK= В этом случае= dz и= dy характеризуют размер области деJ фектовI=созданной единичным иономK=
Имеющиеся теоретические расчеты распределения дефектовI= созданных ионами с энергиями=[N=кэВI= достаточно хорошо соглаJ суются с экспериментамиK=
=
=
NRT=
=
P.O.R. Взаимодействие электронов с веществом
Вследствие малой массы энергия электроновI= способных= привести к структурным нарушениям в металлахI= превышает= MIRМэВK= Для электронов с такой высокой энергией можно пренеJ бречь экранированиемI= обусловленным орбитальными электронаJ миI= и использовать релятивистское описание процесса передачи= энергии электронов ядрам мишениK=При энергии пучка электронов= около=NМэВ=EнапримерI=при облучении в ВВЭМ на=N=–=PМэВF=расJ чет скорости образования смещении наиболее простI= поскольку= основная часть первично выбитых атомов не способна вызывать= повторного смешений и развития каскадов смещенийK=
При упругом кулоновском рассеянии электронов средняя= энергияI=переданная атомам электронами с энергией=ЕNI=имеет вид=
|
|
Z |
αNO bNbd |
ln |
αNO bN |
I ==================================EPKQVF= |
|
q |
|||||||
|
|
||||||
|
NO |
(αNO bN J bd F |
|
bd |
|||
|
|
|
|
ˆNO – максимальная энергияI= которую способен передать атому= q
электрон с энергией=ЕN=I=равна=
|
|
ˆ |
|
|
|
|
OEb HOm cO |
Fb |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
N |
e |
|
N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
qNO ZαNObNZ |
|
|
|
|
|
|
|
|
I == |
|
|
|
|
|
|
|
EPKRMF= |
||||||
|
|
|
jOcO |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
где==mе=–=масса электронаX=с=–=скорость светаK= |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
Дифференциальное сечение передачи энергии атому= |
|
||||||||||||||||||||||
|
O O O |
|
|
O |
é |
|
|
|
|
|
ì |
|
|
|
O |
|
|
|
üù |
µ |
|
|||
|
4π~M ZO bo |
|
N- b |
|
|
|
|
O q pa ïæ q |
ö |
N |
|
|
q ïú |
qNO |
|
|||||||||
ds = |
|
|
|
ê |
|
|
|
|
dqK |
|||||||||||||||
mOcQ |
× |
b Q |
|
× |
êN- b |
|
µ |
+ |
b |
|
íç |
µ |
÷ |
|
- |
|
µ |
ýú |
× |
q O |
||||
|
M |
|
|
|
|
ê |
|
|
qNO |
|
|
|
è q NO ø |
|
|
qNO |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ï |
|
|
|
|
|
|
|
ïú |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
ë |
|
|
|
|
|
î |
|
|
|
|
|
|
|
þû |
|
|
|
Полное сечение образования смещений можно оценить из следуюJ щего выраженияW=
|
|
4π~O Z O bO |
|
N- βO |
||||
σd Z |
|
M O o |
× |
|
|
|
´ |
|
|
mOcQ |
|
βQ |
|||||
|
|
|
e |
|
|
|
|
|
ìæ |
|
ˆ |
ö |
|
|
ˆ |
||
ï |
q |
JN÷J βO ln |
q |
|||||
´íç |
|
NO |
NO |
-πα'β |
||||
|
|
|
||||||
ç b |
÷ |
|
|
b |
||||
ïè |
|
d |
ø |
|
|
d |
||
î |
|
|
|
|
|
|
|
|
=
|
é |
|
éæ qˆ |
öNL O |
||
× |
ê |
O |
ê |
ç |
NO |
÷ |
|
||||||
|
ê |
|
|
ç |
|
÷ |
|
|
êè bd |
ø |
|||
|
ë |
|
ë |
|
|
|
NR8=
ù |
ˆ |
|
JNúJln |
qNO |
|
bd |
||
ú |
||
û |
|
ù |
ü = |
=EPKRNF= |
ú |
ï |
|
ýI |
|
|
ú |
ï |
|
û |
þ |
|
β=Z=ve=Lс=Eve=–=скорость электронов с энергией=bNFI=a=DZ=ZOLlPTK=
Для электронов с энергиейI=не намного превышающей пороJ говую энергию образования смещенийI= I= следовательноI= с=
αNObNqd незначительно больше единицы=
|
|
|
4π~OZ ObO |
|
NJ βO æ α b |
ö |
||
σ |
d |
Z |
M O o |
|
|
ç |
NO N |
JN÷K |
mOcQ |
|
βQ |
bd |
|||||
|
|
|
è |
ø |
||||
|
|
|
e |
|
|
|
|
|
При достаточно высоких энергиях электронов=sd чески приближается к значению=
|
|
|
8π~O Z O bO |
I===b >m cO K= |
|
σ |
|
® |
M O o |
||
|
|
||||
|
d |
|
b j |
cO |
N e |
|
|
|
d O |
|
|
EPKROF=
асимптотиJ
=EPKRPF=
Уравнение=EPKRPF=обычно используется для оценочных расчеJ тов полного сечения рассеяния электронов на атомах твердого телаK= Скорость поврежденияI= выраженная числом смещений на= атом в единицу времениI= при электронном облучении материалов=
имеет вид=
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
φI ======================================EPK=RQF= |
||
|
h Z |
σ |
|
éN+νEq |
Fù |
|||||||||||
|
|
|
|
d ë |
|
|
|
|
NO |
û |
|
|
|
|||
|
4π~ |
O |
Z |
O |
b |
O |
æ |
|
|
|
α b |
ö |
||||
|
|
O |
o |
|
|
|
|
NO |
N |
|
||||||
hZφ |
M |
|
|
|
|
çOHln |
|
÷K=============================EPKRRF= |
||||||||
|
|
|
|
|
O |
|
|
|||||||||
|
b j |
|
c |
ç |
|
|
|
bd |
÷ |
|||||||
|
O |
|
|
è |
|
|
|
ø |
||||||||
|
d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
При энергии электронов выше порога ядерных реакций=EЕN= [= NM= МэВF= в дополнение к упругому рассеянию частиц необходимо= учесть нарушения за счет протекания процессов неупругого взаиJ модействия= Eядер отдачиI= нуклоновI= g-квантовFK= Прохождение выJ сокоэнергетичных= Eдесятки= – =сотни МэВF =электронов через вещеJ ство связано с развитием электронно-фотонного ливняK=С увеличеJ нием глубины проникновения электронов в твердое тело возрастает= число лавинных частицI= уменьшается их энергия и увеличивается= количество= g-квантовI= способных внести существенный вклад = в дефектообразованиеK= ПроцессыI= протекающие при облучении маJ териалов быстрыми электронами и= g-квантамиI= схематически приJ ведены на рисKPKVK=
=
NRV=
=
=
РисK=PKVK=Схема процессовI=протекающих в материале при= действии высокоэнергетичных электронов и=g-квантов=
=
=
P.O.6. Взаимодействие g-квантов с веществом
Хотя дефектообразующая способность= g-квантов по сравнеJ нию с быстрыми нейтронами малаI=этот вид облучения имеет место= в активной зоне реакторов всех типов и часто используется при= исследованииK=
Максимальная энергияI= которую способен передать атомам= = g-квант с энергией=ЕNI=имеет вид=
ˆ |
|
æ |
j OcO öJN |
||
q |
Z b |
çNH |
|
÷ K =========================EPKRSF= |
|
Ob |
|||||
NO |
N ç |
÷ |
|||
|
|
è |
N |
ø |
При=ЕN=»=МOсO эта формула принимает вид=
ˆ |
j OcO |
|
qNO ZbN |
|
K ===========================EPKRTF= |
|
O |
При энергии= ЕN=Z=N=МэВ значение= ˆNO составляет несколько= q
десятков эВ и непосредственное взаимодействие= g-квантов с атоJ мами не приводит к существенным структурным нарушениямK= Кроме тогоI= сечение прямого взаимодействия= g-квантов указанной= энергии с ядрами очень малоK=В основном смещения атомов решетJ
NSM=
=