Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ОПТ_КР.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.07.2026
Размер:
1.29 Mб
Скачать

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

1. И.И. Зятьков, А.Н. Кривошеева. Базовые процессы планарной технологии: учеб. пособие // СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2018. – 63 с.

25

Соседние файлы в предмете Основы планарной технологии