Добавил:
DSLewbabmiz
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:ОПТ_КР.pdf
р2 = P( р2) = 1.186 × 10−12 см2/с
р2 = р2 р2 = 56.082 минр2 × 60
1.4 Разгонка кармана
Зная параметры всех процессов, влияющих на перераспределение примеси в кармане после его разгонки, определим постоянную диффузии самого процесса разгонки:
|
|
= ( |
|
) |
|
|
− ( |
) = 7.949 × 10−9 |
см2 |
. |
||||
|
|
|
|
|||||||||||
к2 к2 |
к2 к2 эфф |
|
р2 р2 |
эфф |
|
с |
||||||||
Зададим |
температуру |
|
процесса |
разгонки |
кармана равной к2 = |
|||||||||
1250 ºС (1523 K) и вычислим время процесса: |
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
= |
( |
) = 3.054 × 10−12 |
см2; |
||||||||
|
|
к2 |
|
|
P |
|
|
к2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
|
|
к2 к2 |
= 43.38 мин. |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
к2 |
|
|
к2 × 60 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
16