Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

ИДЗ_2_расчет

.pdf
Скачиваний:
0
Добавлен:
08.07.2026
Размер:
397.46 Кб
Скачать

pкарман

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nish :=

1 1015 см3

 

 

 

 

 

 

 

Ns2 :=

1.5 1016

см3

 

 

 

 

 

 

 

xj := 3.2 10- 4 см

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Разгонка отжигом(примесьбор)

 

 

 

Изусловия равенства дозы:

 

 

 

D2t2 :=

 

 

xj2

 

 

 

= 9.453 10- 9 см2

 

 

 

Ns2

 

 

 

 

4 ln

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Nish

 

 

 

 

 

 

 

T2 := 1200 + 273

 

К

 

 

 

 

 

 

 

t2 :=

 

 

D2t2

 

 

 

= 147.857

мин

 

 

 

DB(T2) 60

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Загонкадиффузией

 

 

 

 

 

 

 

D1t1 :=

D2t2

π Ns2

= 4.455

- 13

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

10

см

 

2 Ns1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

T1 := 900 + 273 К

 

 

 

 

 

 

 

t1 :=

 

 

D1t1

 

 

 

= 6.878

мин

 

 

 

DB(T1) 60

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Доза

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Q:= Ns2

 

 

= 2.585 1012

см- 2

 

 

πD2t2

 

 

Распределениепримесипослезагонки

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

 

N(x) :=

Ns2 exp

 

-x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4D2t2

 

 

 

 

Предельная растворимостьбора

Ns1 := 5 1020

Диффузия бора

 

 

 

 

-3.425

 

 

DB(T) := 0.544 exp

 

 

 

- 5

 

 

8.625 10

T

1 1017

1 1016

N(x)

Nish

1 1015

1 1014

1 10- 4

2 10- 4

3 10- 4

4 10- 4

0

x

Соседние файлы в предмете Основы планарной технологии