ИДЗ_1_расчет
.pdf
КЭФ0,7
ρ:= 0.7 Ом см xj := 2.3 10- 4 см
Navg := 5 1017 см- 3
Исходная концентрация подложки (фосфор)
Nish := |
1 |
|
= 6.158 1015 см- 3 |
|
1.6 10- 19ρ 1450 |
||||
|
|
|||
Доза |
|
|
|
|
Q:= xj Navg = 1.15 1014 см- 2
Создаемслой p-типа,легируембором 
Загонка 
Ns1 := |
5 1020 |
|
см- 3 |
|
|
|
||||
:= |
|
|
-3.425 |
|
|
|||||
DB(T) |
|
0.544 exp |
|
- 5 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
8.625 10 |
T |
|||
D1t1 := |
|
πQ2 |
= 4.155 10- 14 |
см2 |
||||||
|
4Ns12 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T1 := 900 + 273 K |
|
|
|
|||||||
DB(T1) = 1.079 10- 15 |
см2 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
t1 := |
|
|
D1t1 |
|
|
= 0.641 |
мин |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
DB(T1) 60 |
|
|
|
||||||
Время слишкоммало,поэтомудля загонкииспользуемионнуюимплантацию
Rp := 2964 10- 8 |
см |
|
|
|
|
|
||||
dRp := 733 10- 8 |
см |
|
|
|
|
|
||||
E := 100 |
кэВ |
|
|
|
|
|
|
|
||
Nmax := |
|
Q |
|
= 6.259 1018см- 3 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
2π |
dRp |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Xj := Rp + dRp |
|
Nmax |
= 5.692 |
10 |
- 5 |
см |
||||
2 ln |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
Nish |
|
|
|
|
|
k:= Xjxj = 4.041
Разгонка отжигом
Ищемкореньтрансцендентногоуравнения (D2t2)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nish |
|
π(2dRp |
2 |
+ 4Dt) |
|
|
|
-(xj |
- Rp) |
2 |
||||||
A(Dt) := |
|
|
B(Dt) := |
exp |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
Q |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2dRp |
|
+ 4Dt |
||||
D2t2 := |
2.07 10- 9 см2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
0.1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
D2t2 |
|
|
|
|
||||
0.01
A(Dt)
B(Dt)
1 10- 3
1 10- 4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
1 10- 9 |
2 10- 9 |
3 10- 9 |
||||
0 |
|||||||
|
|
|
|
Dt |
|
|
|
T2 := 1150 + 273 |
|
|
K |
см2 |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
DB(T2) = 4.132 10- 13 |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
t2 := |
|
D2t2 |
|
= 83.486 |
мин |
|
|
|
|
|
|
|
|||||
DB(T2) 60 |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Итоговоераспределение примесей |
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
Q |
|
|
|
|
-(x - Rp) |
2 |
|
|||||
N(x) := |
|
|
|
|
|
exp |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|||||
|
|
|
π(2dRp |
2 |
+ 4D2t2) |
|
2dRp |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
+ 4D2t2 |
||||||||||
1 1018 2.3 10- 4
1 1017
N(x)
Nish
1 1016
|
1 1015 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
1 10- 4 |
2 10- 4 |
|
|||||||||
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
|
Сопротивление слоя |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
μp(x) := 47.7 + |
|
|
|
447 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
(N(x) + Nish) 0.76 |
|
|
|
||||||||||||
|
|
1 + |
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
6.3 10 |
16 |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Rs := |
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
= 644.841 |
Ом |
|
xj |
- 19 |
|
|
|
|
|
|
|
cм |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
1.6 10 |
|
|
Nish - N(x) |
|
μp(x) dx |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|