Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Смирнов В.И. Теория конструкций контактов в электронной аппаратуре

.pdf
Скачиваний:
14
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
6.82 Mб
Скачать

87.

С е в е р д е н к о

 

В.

 

П.,

Т о ч и ц к и й

 

 

Э.

И.

Структура

тонких

 

металлических

пленок.

Минск,

«Наука

и

техника»,

 

1968.

 

88.

М а к - Л и н Д. Границы

зерен в металлах. М.,

«Мир»,

1960.

 

89.

R о s n е 11

J. R.,

V о i s у

U.

С. The

 

Effect

of

Deposition

Para­

 

meters on the Structure and Resistivity of Molybdenum Films. —

 

«Thin Solid. Films*,

1970,

v. 6,

2,

p.

 

107.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

90.

H e й г e б а у e p

 

К.

 

А.

Явления

структурного

разупорядочения

 

в

тонких

металлических

пленках. — В

 

кн.: Физика

тонких

пле­

 

нок. Под ред. М. И. Елинсона. Т. II. М., «Мир»,

1967.

 

 

91.

М а т ы о з

 

Дж. У. Монокристаллические пленки, полученные

ис­

 

парением

в вакууме. — «В

кн.: Физика

тонких

пленок. Под

ред.

 

М. И. Елинсона. Т. IV, М., «Мир»,

1970.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

92.

Т у н

Р. Э. Структура тонких

пленок. — «В

кн.: Физика

тонких

 

пленок. Под ред. М. И. Елинсона. Т. I. М.,

«Мир»,

 

1967.

 

93.

Т a i

К.

 

L., Т u г n е г

P.

A.,

B a c o n

 

D. D. The Structure of

 

Evaporated and DC-Sputtered Films of

 

Gold

and

Silver Deposi­

 

ted

on

Class. — «J. Vac.

Sci. Technob,

1969,

v.

6,

 

4,

p.

687.

94.

C h a k r a v e r t y

 

В. K.

Grain

Size

Distrivution

in

Thin

Films.—

 

«J. Phys. Chem. Solids»,

1967, v. 28,

p.

 

2401.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

95.

К о с е в и ч

В. М.,

П а л а т н и к

Л. С. О

форме

частиц

метал­

 

лических

конденсаторов

на

начальных

 

стадиях

роста. — «Физи­

 

ка твердого

тела», 1964,

т. 6, №

11,

с. 3240.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

96.

V o o r t

Е.,

 

G u y

о t

P.

Electrical Resistivity by Scattering on

 

Metallic

 

Grain

Boundaries. — «Phys.

Stat.

Solidb,

1971,

v.

47,

 

2,

p.

465.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

97.

A n d r e w s

 

P. V.,

W e s t

M.

В.,

R о b e s о n C. R. The

Effect

 

of Grain Boundaries on the Electrical Resistivity of Polycrystalline

 

Copper and

Aluminium. — «Phil. Mag.»,

1969, v. 19, №

161,

p.

887.

98.

A n d r e w s

P. V. —«AppI.

Phys. Letters*,

1965,

v.

19,

p.

558.

99.

П а л а т н и к

Л. С,

 

К о м н я к

10.

Ф. Влияние

технологии кон­

 

денсации

на

структуру

и свойства

металлов. — «Вестник

Харь­

 

ковского

политехнического

института»,

 

1970,

5

(98),

с.

3.

 

100.

К о м н и к

Ю. Ф.,

П а л а т н и к

Л.

 

С. О

влиянии

структуры

 

на

электропроводность тонких

пленок

 

висмута. — «Физика

твер­

 

дого тела»,

1965,

т. 7,

вып. 2, с.

539.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

101.

F u c h s

 

К. — «Ргос.

Camb.

Phil. Soc.»,

1938,

v. 34,

100.

 

102.

M a y a d a s

 

A. F. et

al. Resistivity

and

Structure

of

Evaporated

 

Aluminium

Films. — «J.

Vac.

Sci.

Technol.»,

1969,

v.

 

6,

4,

 

p.

690.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

103.

N e u m a n

M. R.,

К о

W. H. Dependence of the Conductivity

 

of

Thin

Polycrystalline

Bismuth

Films

on

 

Crystalline

Grain

 

Size. — «J. Appl. Phys.», 1966, v. 37,

№ 8,

p. 3327.

 

 

 

 

 

 

 

104.

И в а н о в

В. А.,

П о п о в

A. M. О

длине свободного пробега

 

носителей тока в висмуте и его сплавах

с сурьмой. — «Физика

 

твердого тела», 1963, т. 5, с.

1427.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

105.

М а у d a s A. F . et

al. Electrical

Resistivity Model

for

Polycrys­

 

talline

Films:

The

Case

of Specular Reflection at External

Sur­

 

faces. — «Appl. Phys.

Letters*,

1969,

v.

14,

11,

p.

345.

 

 

106.Физико-химические свойства окислов. Под ред. Г. В. Самсонова. М., «Металлургия», 1969.

107.Л е - К л э р А. Д. Диффузия в металлах.— В кн.: Успехи фи­

зики металлов. Т. I. М., Металлургиздат,

1956.

108. И о с с е л ь Ю. Я.,

К о н а н о в

А. Я-,

С т р у н с к и й М. Г.

Расчет электрической

емкости. Л.,

«Энергия», 1969.

 

 

Предметный

указатель

 

 

 

Адгезия

138

 

 

 

Микроструктура

сварного со­

Адгезионные пленки

11

 

единения 79

 

 

Адсорбция кислорода

11

 

Микротопография

поверхности

Балочные

выводы

96,

97

 

9

 

 

 

 

 

Многоточечные контакты 56

Биметаллический контакт

35

Модель

пленочного

контакта

Внешние

соединения

инте­

115

 

 

 

 

гральных схем

101

 

Неподвижный

контакт

8

Выводная

рамочка

98

 

 

Неразъемные

контакты 64

Высокотемпературные

контак­

Неравномерность

окисления

ты ИС

113

 

 

 

 

 

 

пленок

148

 

 

 

Высота поднятия припоя

71,72

 

 

 

 

 

 

 

 

Деградационные явления 108 Диффузия 109, 125

Зазор 71 Защита электрических контак­

тов 59, 61 Зоны сварного контакта 80

Искрогашение 62, 63 Измерение адгезии 138 Интерметаллические соедине­

ния 68

Классификация электрических контактов 6

Контактная поверхность 52

разность потенциалов 33

сварка 86

Контакты некорродирующие 51

— тугоплавкие 50

Лазерная сварка 81 Лицевой монтаж 99

Материалы контактов 48 Механизм проводимости окис­

ла 30 Механический износ 42

— контакт 19 Механическое .разрушение пле­

нок 17

Обработка

поверхности контак­

та

52

 

 

 

 

Окисление

пленочного

контак­

та

12,

14, 122

 

 

Очистка

паяемой

поверхности

69

 

 

 

 

 

Паяные соединения

66

 

Переходное

сопротивление 73,

75,

135

 

 

 

Пленки

адгезионные

газовые

11

 

 

 

 

 

водяные 10

на поверхности металла 10

окисные 12

полимерные 17

потускнения 16

сульфидные 15

Пленочный

контакт

114,

131

Повернутый

 

монтаж

94

41

Прижимные

контакты 8,

Припой 66

 

 

 

 

Проводимость

металлического

контакта

27

 

слоев

Проводимость

окисных

27

 

 

 

 

Прочность паяного

соединения

76

 

 

 

 

Пурпурная

чума ПО

 

171

Размер кристаллитов 143 Разрывной контакт 8 Расщепленный электрод 87

Сварные соединения 78 Сварка расщепленным электро­

дом 87

— ультразвуком 90 Свойства контактных металлов

49 Скользящий контакт 8

Смачивание припоем 67 Сопротивление стягивания 24,

126 Сплавление 125

Структура тонких пленок 143, 164

Стягивание линий тока 23 Сульфидные пленки потускне­

ния 15 Сцепление 67

Тепловые эффекты 38 Термокомпрессионная сварка 88 Термомеханнческие методы

сварки 85, 89

Тугоплавкие металлы 50 Туннельная проводимость 28,

37

Установка для сварки ультра­ звуковой 93

электронно-лучевой

83 Усы на проводящих пленках

112

Форма контактных элементов

54

— кристаллитов 144 Фриттинг 32

Шариковые контакты 95, 96 Шоттковская эмиссия 29 Шумы пленочных контактов 134

Электрические процессы в контакте 23

Электромиграция алюминия 111 Электронно-лучевая сварка 81 Энергия активации 70

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3

Введение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5

Г л а в а

1. Механические, химические, электрические и

тепло­

 

вые явления в прижимных контактах

 

 

 

 

 

1.1. Основные механические

и химические явления

в элек­

 

 

трическом

контакте

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8

1.2. Механический

контакт

 

двух

поверхностей . .

 

. .

19

1.3. Электрические процессы в контакте

 

 

 

 

23

1.4. Тепловые эффекты в электрическом контакте

 

. .

38

1.5.

Физика

износа

контактов

 

 

 

 

 

 

 

42

Г л а в а

2. Принципы конструирования прижимных контактов

 

2.1. Требования к прижимным контактам

 

 

 

 

47

2.2. Выбор контактируемых

материалов

 

 

 

 

48

2.3. Контактная

поверхность

 

 

 

 

 

 

 

52

2.4. Контактное

нажатие

 

 

 

 

 

 

 

 

 

56

2.5. Защита

электрических

 

контактов

 

 

 

 

 

59

Г л а в а

3.

Неразъемные

контактные

соединения

 

 

 

3.1. Физические

основы

образования

неразъемных

кон­

 

 

тактных

соединений

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

64

3.2. Паяные

соединения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

66

3.3. Сварные

соединения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

77

Г л а в а

4. Конструкции контактов в интегральных схемах

 

4.1. Конструкции контактных

узлов

«подложка — навес­

 

 

ной

элемент»

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

94

4.2. Классификация

и

сравнительная

характеристика

кон­

 

 

струкций

контактов

в

интегральных

схемах .

. .

103

4.3. Деградационные

явления

в

контактах

интегральных

 

 

схем

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

108

4.4. Высокотемпературные

контакты

в

кремниевых

ин­

 

 

тегральных

схемах

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

113

Г л а в а

5.

Пленочный

контакт

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5.1.

Теоретический

анализ

пленочного

контакта

.

. .

115

5.2. Процессы,

определяющие

переходное

сопротивление

 

 

контакта

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

122

173

5.3. конструирование

пленочного контакта

 

127

5.4. Контроль

электрических и физических

параметров

 

 

пленочных

контактов

 

 

134

Г л а в а

6. Зависимость

сопротивления

пленочного контакта

 

ст

стркутуры

 

пленок

 

 

 

141

6.1. Основные параметры структуры тонких

пленок . .

143

6.2. Влияние

структуры на электропроводность металличе­

 

 

ских пленок

 

 

 

145

6.3. Влияние

неравномерности окисления пленок на про­

 

 

водимость

переходного окнсиого

слоя

 

147

6.4.Влияние границ зерен на составляющую переходного сопротивления, обусловленную сплавлением материа­

 

лов

пленок

 

152

6.5.

Искривление линии тока в кристаллитах . . . .

156

6.6.

Влияние распределения зерен по размерам

. . .

161

Список

литературы

 

. 1 6 6

Предметный

указатель

 

171

Вениамин Иванович Смирнов Фарид Юзеф Матта

Теория конструкций контактов в электронной аппаратуре

Редактор И. Н. Звигунова

Художественный редактор 3. Е, Вендрова

Технический редактор О. Д.

Кузнецова,

Г. 3.

Кузнецова

 

 

Корректоры: Е. П.

Озерецкая,

Н. М. Кухтяева

 

 

Сдано в набор 5/IX-73 г.

 

 

Подписано в печать 8/1-74 г.

1-00905

Формат 84x108/за

Бумага

машпномелованная

Объем 9,24 усл. п. л.,

 

9,8 уч.-изд. л.

Тираж

11000 экз.

Зак. 411

Цена 52 коп.

Издательство «Советское радио», Москва. Главпочтамт, а/я 693

Московская типография № 10 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли.

Москва, М-114. Шлюзовая наб.. 10,

Смирнов В. И., Матта Ф. Ю.

С50 Теория конструкций контактов в электронной аппаратуре.

176 с. с пл. («Библиотека радиоконструктора»).

Рассмотрены фнзнко-хнмическне и механические процессы в кон­ тактных соединениях, анализируются факторы, влияющие иа качество и надежность контактов. Большое внимание уделяется конструкциям контактов в мнкроэлектронной аппаратуре.

Книга предназначена для широкого круга специалистов, работаю­ щих в области проектирования, производства и эксплуатации РЭА.

30401-009

41-73

6Ф2.1.

046(01)-74

 

 

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ