Лекции по гетеропереходам / курс лекций физика и технология полупроводниковых наноструктур / 17_Кристаллическая структура
.pdfФлуоресцентный экран установки дифракции быстрых электронов
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 17, стр. 21
100
10
As/Ga |
1 |
|
|
|
|
|
|
0.1
350
c(4x4)
(2x4)
(4x2)
400 450 500 550 600 650
Температура роста, 0С
Зависимость характера реконструкции поверхности GaAs(100) от температуры осаждения и соотношения потоков As и Ga при МПЭ.
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 17, стр. 22
В феноменологическом описании плоская поверхность характеризуется определенной поверхностной энергией, которая зависит от кристаллографической ориентации поверхности.
Если плоская поверхность имеет большую удельную поверхностную энергию, то она спонтанно трансформируется в гофрированную структуру (с гранями параллельно плоскостям с меньшей поверхностной энергией). Это уменьшает полную свободную энергию поверхности, несмотря на увеличение ее площади.
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 17, стр. 23
Теория спонтанного образования периодически фасетированных поверхностей была построена в работах Андреева и Марченко в начале 80х. Согласно развитым представлениям, полная энергия периодически фасетированной поверхности с периодом фасетирования D, определенная на единицу площади первоначально плоской поверхности, равна
E = E facets + Eedges + ∆Eelastic
где E facets = const(D) - поверхностная свободная энергия наклонных
граней, которая не зависит от периода, и определяется тем, на какие поверхности происходит фасетирование (т.е. углом наклона)
Eedges =C1 D - короткодействующая составляющая энергии ребер
∆Eelastic = − |
C2 |
|
D |
- энергия упругой релаксации в результате скачка |
|
|
ln |
|
|
||
D |
|
||||
|
|
a |
|
тензора поверхностного натяжения на кристаллическом ребре.
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 17, стр. 24
Полная энергия может иметь минимум при некотором оптимальном
периоде D0. |
facets |
edges |
elastic |
total |
E |
D0 |
D |
А.Е.Жуков, Физика и технология полупроводниковых наноструктур, гл. 17, стр. 25 |