- •1.Введение.
- •2.Классификация лазеров и их характеристики.
- •3.Технологические операции с применением лазеров
- •3.1 Тенденции применения лазеров в технологических процессах
- •3.1.1. Лазерная сварка
- •3.1.2. Размерная обработка материалов
- •3.1.3. Лазерная термообработка
- •3.2.Лазерное осаждение слоев
- •3.2.1.Вакуумное лазерное напыление пленок
- •3.2.2.Лазерные установки осаждения пленок
- •3.3.Лазерная обработка пленочных элементов
- •3.3.1. Термохимические методы получения рисунков
- •3.3.2.Лазерный отжиг
- •4.Заключение
- •Процессы, использующие нагрев материала электронным лучом.
3.Технологические операции с применением лазеров
3.1 Тенденции применения лазеров в технологических процессах
Использование лазеров в первую очередь предполагается в тех технологических процессах, которые неосуществимы с помощью других источников энергии или их осуществление связано с большими энергетическими и временными затратами. Предпочтительным оказывается применение лазеров при термической обработке элементов электронных схем, когда обрабатываемые участки сочетаются с участками или деталями, имеющими низкотемпературную стойкость, а также для микроразмерных и локальных термообработок. В последнее время широко используется ЛТ лазерная техника в операциях, где обработка материалов с помощью лазеров осуществляется с меньшими энергетическими и трудовыми затратами (например, для обработки хрупких, твердых и термостойких материалов) по сравнению с другими технологиями. Во многих процессах оказалось возможным сочетать лазерное воздействие с другими видами энергии, например с действием плазмы электрического разряда, взрывной волны, ультразвука, механического и химического воздействия. Это значительно расширило круг задач, решаемых с помощью ЛТ. Очень часто лазерная обработка проводится в присутствии химических, газовых и других рабочих сред, что позволяет проводить ряд работ, неосуществимых в других технологиях.
Предпочтительным оказывается использование лазеров в процессах, где с его помощью возможно выполнение целого ряда операций одновременно или в одном технологическом цикле. Преимуществом ЛТ является простота управления лазерным пучком, высокая точность обработки и оперативность.
Рассмотрим наиболее типичные технологические операции.
3.1.1. Лазерная сварка
Пожалуй, наиболее широкое применение лазерная сварка нашла в производстве изделий электронной техники, так как позволяет сваривать тугоплавкие металлы (вольфрам, молибден); проводить микролокальную сварку (~10 мкм); обрабатывать короткими импульсами (~10-2 - 10-3 с), что исключает нежелательные структурные изменения в материалах из-за подавления диффузных процессов; вести сварку в любой атмосфере, в труднодоступных местах, бесконтактно и без загрязнений; соединять материалы с различными теплофизическими и механическими свойствами. Процесс сварки лазером позволяет проводить операции вблизи от термочувствительных элементов. Несколько примеров сварки в труднодоступных местах схематично представлены на рис.1.
Рис. 1. Лазерная сварка в труднодоступных местах:
а - и б - через отверстия малых диаметров; в - через прозрачное для ла-
зерного излучения окно; г - через тыльную сторону полупроводнико-
вой подложки; д - с помощью инструмента из сапфира; 1- свариваемые
детали; 2 - луч лазера; 3 - стеклянная крышка; 4 - трубчатый корпус
Лазерная сварка является энергоемким процессом, поскольку требует плавления материала. Основная особенность изучения физики плавления связана с тем, что при плавлении большинства металлов их электропроводность скачком уменьшается в 2–3 раза, что влечет за собой скачок теплопроводности и отражательной способности и тем самым приводит к новому режиму нагревания, характеризующемуся дополнительной затратой тепла на плавление. В этом случае очень часто прибегают к решениям, позволяющим резко увеличить производительность лазерной сварки за счет использования дополнительной энергии или специальной реактивной среды.
!!!!!!!!!!Развитие лазерной сварки прошло через два этапа. Вначале развивалась точечная сварка на - основе импульсных твердотельных лазеров (на рубине, на стеклах с неодимом). С появлением мощных СО2-лазеров на гранате с неодимом, дающих непрерывное или импульсно-непрерывное (в виде последовательности часто повторяющихся импульсов) излучение высокой мощности, стала развиваться шовная сварка с глубиной проплавления до нескольких миллиметров (максимально достигнутая глубина лазерной сварки составляет 2 см за один проход лазерного луча по поверхности материала).
Примеры применения точечной лазерной сварки: соединение никелевого контакта с клеммой никелевого сплава на основании транзистора, приваривание тонких медных проводов друг к другу или к клеммам, взаимное соединение микроэлектронных компонентов. Шовная лазерная сварка с использованием излучения мощностью в несколько сотен ватт применяется для осуществления герметизации корпусов различных приборов.!!!!!!!!