8. Физико-химические основы химических и электрохимических методов нанесения и травления тонких пленок и материалов

Химическое осаждение. Механизмы реакций, кинетика.

Электрохимическое осаждение. Термодинамика электрохимического осаждения. Электролиз, его законы. Применение электролеза при изготовлении элементов ЭС.

Коррозия. Механизмы коррозии и условия ее протекания. Влияние коррозии надежность элементов ЭС. Химические и электрохимические методы защиты от коррозии ЭС.

Химические методы жидкостного травления. Травление полупроводников и их окислов, диэлектриков, металлов и их окислов. Закономерности травления. Скорость травления, селективное травление, локальное травление. Анизотропное травление. Термодинамика анизотропного травления. Возможности анизотропного травления. Растворы травителей.

Методы химической металлизации и селективного химического травления в технологии тонкопленочных схем и печатных плат с органическими и металлическими маскирующими покрытиями.

Методы анодного вытравливания, полирования и анодирования. Физико-химические свойства некоторых видов гальванопокрытий электронных деталей.

Физико-химические принципы регенерации травителей и электролитов.

Химическое покрытие.

Впервые металлическое покрытие методом химического восстановления было получено Ю. Либихом в 1836 году. Он осуществил химическое серебрение стекла и впоследствии разработал технологию процесса серебрения, которая получила промышленное применение. Покрытия такого типа известны в литературе как химические покрытия.

Отличительной особенностью химических покрытий является высокая равномерность их осаждения по всей поверхности. Благодаря низкой пористости такие покрытия обладают высокой защитной способностью, что имеет важное значение при их эксплуатации. Так, например, никелевое покрытие с успехом применяют для защиты от коррозии энергетического оборудования, работающего при температуре 600С в газовой среде, для покрытия магниевых и титановых деталей вертолетных роторов, а также алюминиевых зеркал, используемых на спутниках в условиях космоса. Оно применяется для защиты от коррозии хирургических инструментов, деталей часов и различных изделий электроники.

В последние десятилетия химический способ нанесения покрытий находит применение для металлизации диэлектриков, придавая поверхности электропроводящие свойства. В частности, металлизированные пластмассы обладают химической устойчивостью, износостойкостью, теплостойкостью и механической прочностью, имеют декоративный вид и устойчивы к свету. Благодаря этим свойствам металлизированная пластмасса широко используется в автомобиле- и приборостроении. Из декоративно-металлизируемых пластмасс изготавливают фурнитуру для мебели, бижутерию, игрушки и другие бытовые изделия. Как же получают металлические покрытия химическим методом? Существуют несколько способов химического осаждения металлических покрытий из водных растворов: 1) контактный; 2) контактно-химический; 3) метод химического восстановления.

Контактный способ основан на вытеснении ионов металла из раствора более активным металлом. Примером может быть хорошо известная из школьного курса реакция меднения железного гвоздя, помещенного в раствор сульфата меди. Контактно-химический способ осаждения металлов заключается в создании гальванической пары между металлом основы и более активным металлом. Так, при осаждении серебра на медную основу создают гальваническую пару с помощью более активного металла алюминия или магния. В этом случае более активный металл отдает свои электроны меди и на отрицательно заряженной медной поверхности ионы Ag+ восстанавливаются до металла. Рассмотренный процесс используют при нанесении серебряного покрытия на волноводные трубы и изделия сложной конфигурации из меди и ее сплавов. Метод химического восстановления (химическая металлизация) заключается в том, что металлические покрытия получают в результате восстановления ионов металла из водных растворов, содержащих восстановитель.

Рассмотрим более подробно получение металлических покрытий методом химического восстановления.