- •Введение
- •Краткое описание методов, применяемых в процессах ионно-плазменной обработки материалов
- •Оборудование установка вакуумная ву - 2мбс
- •Установка вакуумная модели ву - ило
- •Установка вакуумная модели ву - 2м
- •Установка ионно химического травления урмз. 279.053
- •Установка реактивного ионно - лучевого
- •Автоматический модуль реактивного ионно-лучевого травления
- •Установка реактивной ионно-лучевой полировки поверхности "конус".
- •Установка настройки частоты кварцевых резонаторов "корень".
- •Установка настройки частоты и герметизации резонаторов "камея".
- •Установка термоионного нанесения «клевер».
- •Установка высокочастотного магнетронного осаждения "корунд.
- •Установка ионно-плазменного нанесения многослойных пленочных покрытий "квадрат".
- •Автоматический модуль нанесения структур
- •Установка магнетронного нанесения защитно - декоративных покрытий на детали товаров народного потребления
- •Высокопроизводительная автоматизированная установка магнетронного нанесения металлов
- •Установка вакуумно - дугового напыления урмз. 279.051
- •Установка вакуумно - дугового напыления урмз. 279.057
- •Установка вакуумного плазменно -дугового нанесения урмз.279.062
- •Установка вакуумного плазменно - дугового нанесения "элеватор".
- •Установка вакуумно-дугового напыления штоков гидроцилиндров "шток".
- •Установка ионной обработки и ионно - плазменного нанесения урмз. 279.050
- •Установка ионно-химического травления пластин диаметром до 150 мм "катер".
Установка вакуумно - дугового напыления урмз. 279.051
|
Вращение и переворот кассеты. Назначение: нанесение металлических покрытий на плоские объекты с предварительной ионной обработкой. Типы источников: два дуговых испарителя ИДН-200, два "Радикала".
Технические характеристики: Основные параметры источников: а) ИДН - 200 1. Максимальный ток дуги 230 А; 2. Максимальная электрическая мощность 6 кВт; |
б) "Радикал"
1. Средняя энергия ионов 0,8 - 1,0 кэВ;
2. Ток ионного пучка 0,3А;
Основные параметры установки:
1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от программатора.
2. Обрабатываемые изделия: - пьезокерамическиеь призмы (размер100 х 18 х 9 мм); резисторы типа Р1 - 4 или С2 - 29В - 0,125;
3. Количество одновременно загружаемых изделий: призмы 240 шт., резисторы 40000 шт.;
4. Производительность: 60 призм / ч, 10000 резисторов / ч;
5. Средства откачки - диффузионный насос ;
6. Рабочее давление 1,310-3 Па;
7. Предельное остаточное давление 6,710-4 Па;
8. Потребляемая мощность 60 кВА;
9. Габариты 3500 х 1500 х 2300 мм;
10. Масса 3300 кг.
Установка вакуумно - дугового напыления урмз. 279.057
|
Вибротарелка. Назначение: нанесение токо-проводящих покрытий резисторов типа МЛТ низкоомного диапазона. Тип источника: дуговой испаритель ИДН-200.
Технические характеристики Основные параметры испарителя : 1. Максимальный ток дуги 230 А; 2. Максимальная электрическая мощность 6 кВт; Основные параметры установки 1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от программатора; 2. Обрабатываемые изделия - резисторы МЛТ 0,125 Вт; 3. Количество одновременно загружаемых деталей 50000 шт.; 4. Производительность 50000 резиторов/ч; 5. Средства откачки - диффузионный насос; |
6. Рабочее давление 1,3 10-3 Па;
7. Предельное остаточное давление 1,510 -4 Па;
8. Потребляемая мощность 30 кВА;
9. Габариты 640 х 1400 х 1750 мм;
10. Масса 1100 кг.
Установка вакуумного плазменно -дугового нанесения урмз.279.062
Планетарное вращение деталей. Назначение: послойная металлизация керамических деталей, включая нанесение покрытий на плоские, цилиндрические поверхности и внутренние отверстия. Типы источников: два дуговых испарителя ИД-200-1, ИДН-200 и "Радикал".
|
Технические характеристики:
Основные параметры источников: а) Дуговые испарители ИД-200-1 и ИДН-200 1. Максимальный ток дуги : ИД-200-1 ‑ 450 А и ИДН-200 ‑ 200 А; 2. Максимальная электрическая мощность: ИД-200-1 - 9 кВт, а ИДН-200 - 6 кВт;
б) "Радикал" 1. Средняя энергия ионов 0,8 - 1,0 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 А.
Основные параметры установки |
1. Режим работы - автоматический, кроме загрузки / выгрузки, управление от программатора;
2. Обрабатываемые изделия - керамические детали (размер 30 х 3 мм);
3. Количество одновременно загружаемых изделий 1000 шт.;
4. Производительность 400 шт/ч;
5. Средства откачки - диффузионный насос;
6. Рабочее давление 1,310-3 Па;
7. Предельное остаточное давление 6,6510-4 Па;
8. Потребляемая мощность 30 кВА;
9. Габаритные размеры 2400 х 1580 х 1860 мм;
10. Масса - 1500 кг.