Установка вакуумного плазменно - дугового нанесения "элеватор".

Вертикальное перемещение кассет с образцами. Назначение: двустороннее локальное нанесение алюминия на выводные рамки ИС. Тип источника: два дуговых испарителя и два "Радикала". Технические характеристики: Основные параметры источников : а) Дуговой испаритель 1. Максимальный ток дуги 500 А; 2. Максимальная электрическая мощность 30 кВт; б) "Радикал" 1. Средняя энергия ионов 0,8-1 кэВ; 2. Ток ионного пучка 0,3 А; Основные параметры установки : 1. Режим работы - ручной; автоматическая откачка; 2. Обрабатываемые изделия - выводные рамки ИС (размер 250 х 250 мм); 3. Количество одновременно загружаемых изделий - 250 отрезков; 4. Производительность 125 шт/ч;

5. Средства откачки - диффузионный насос;

6. Рабочее давление 310 ^-3 Па;

7. Предельное остаточное давление 610^-4 Па;

8. Потребляемая мощность 60 кВА ;

9. Габариты 2300х3500х2600 мм ;

10. Масса 4000 кг.

Установка вакуумно-дугового напыления штоков гидроцилиндров "шток".

Назначение: нанесение коррозионно-стойких и износостойких покрытий на внешние цилиндрические поверхности. Типы источников - дуговой испаритель ИДН - 200,"Радикал". Технические характеристики. Основные параметры источников: а) Дуговой испаритель: 1. Максимальный ток дуги 280 А; 2. Максимальная электрическая мощность 6 кВт .

б) "Радикал"

1. Средняя энергия ионов 0,8 - 1,0 кэВ;

2. Ток ионного пучка 0,3 А;

Основные параметры установки

1. Режим работы - ручной;

2. Обрабатываемые изделия - штоки гидроцилиндров (размер  80 мм, 3800 мм);

3. Количество одновременно загружаемых изделий 1 шт. ;

4. Производительность - 2 штока в смену;

5. Средства откачки - диффузионный насос;

6. Рабочее давление 210^-2 Па;

7. Предельное остаточное давление 1,510^-3 Па;

8. Потребляемая мощность 30 кВА;

9. Габариты 10000 х 2000 х 1800 мм;

10. Масса 1000 кг.

Установка ионной обработки и ионно - плазменного нанесения урмз. 279.050

В этой установке происходит вращение с одновременным вертикальным перемещением подложкодержателя. Назначение: очистка пластин ионным пучком и нанесение 2-х сторонней металлизации на полиимид и анодированный алюминий. Тип источников - "Радикал", "Поток - 3". Технические характеристики: Основные параметры источников : а) "Радикал"

Средняя энергия ионов 0,8 - 1,0 кэВ;

Ток ионного пучка 0,3 А;

б) "Поток-З"

1. Потенциал на мишени 1,5 кВ;

2. Ток ионов на мишень 2 А;

Основные параметры установки:

1. Режим работы - ручной, с автоматическим блоком откачки;

2. Размер пластин  150 мм;

3. Количество одновременно загружаемых пластин 18 шт.;

4. Производительность 9 шт/ч;

5. Неравномерность нанесения ± 5 ;

6. Средства откачки - диффузионный насос;

7. Рабочее давление 510^-2 Па;

8. Предельное остаточное давление 1,310^-4 Па;

9. Потребляемая мощность 30 кВА;

10. Габаритные размеры 4000 х 1000 х 2000 мм;

11. Масса 2600 кг.