
- •А. А. Столяров, в. В. Кашин Оптические и лазерные системы
- •Рецензент:
- •Лабораторная работа №1. Изучение конструкции и основных принципов работы оптического микроскопа
- •1. Цель работы
- •2. Микроскопы
- •2.1. Общие сведения
- •2.2. Стереоскопический микроскоп. Устройство и принцип работы микроскопа мбс-1
- •Общее линейное увеличение оптической системы
- •Оптическая характеристика микроскопа мбс-1
- •3. Порядок работы
- •3.1. Подготовка к работе
- •3.2. Работа с окулярным микрометром
- •4. Задание по работе
- •Данные измерений
- •5. Содержание отчета
- •6. Литература
- •Лабораторная работа №2. Изучение характеристик фотодиодов
- •1. Цель работы
- •2. Фотодиодные структуры
- •2.1. Германиевые и кремниевые фотодиоды
- •3. Принцип действия и схемы спектрофотометра
- •3.1. Принцип действия
- •3.2. Оптическая схема
- •4. Описание установки
- •5. Порядок выполнения работы
- •6. Задание по работе
- •Результаты измерений
- •Результаты измерений
- •Результаты измерений
- •7. Содержание отчета
- •8. Литература
- •Лабораторная работа №3. Изучение характеристик фототранзистора
- •1. Цель работы
- •2. Фототранзисторы
- •3. Принцип действия и схемы спектрофотометра
- •3.1. Принцип действия
- •3.2. Оптическая схема
- •4. Описание установки
- •5. Порядок выполнения работы
- •6. Задание по работе
- •Результаты измерений
- •Результаты измерений
- •Результаты измерений
- •7. Содержание отчета
- •8. Литература
- •Лабораторная работа №4. Изучение конструкции и основных принципов работы лазерного эллипсометрического микроскопа
- •1. Цель работы
- •2. Общие сведения
- •2.1. Эллипсометрические методы контроля параметров структур «диэлектрик–полупроводник»
- •2.2. Лазерная эллипсометрическая микроскопия
- •3. Описание лазерного эллипсометрического микроскопа лэм-2м
- •3.1. Назначение
- •3.2. Принцип действия
- •3.3. Устройство и работа микроскопа
- •3.4. Указание мер безопасности
- •4. Проведение измерений
- •4.1. Порядок работы
- •4.2. Методика измерения параметров
- •4.3. Порядок подсчета результатов измерения
- •Диапазоны изменения а и р
- •5. Задания по работе
- •6. Содержание отчета
- •7. Литература
- •Содержание
- •Александр Алексеевич Столяров Виталий Валерьевич Кашин Оптические и лазерные системы
- •248000, Г. Калуга, ул. Баженова, 2, тел. 57–31–87
3. Принцип действия и схемы спектрофотометра
3.1. Принцип действия
Спектрофотометр СФ-26 рассчитан для
измерения коэффициента пропускания
исследуемого образца
равного отношению интенсивности потока
излучения
прошедшего через измеряемый образец,
к интенсивности потока излучения
падающего на измеряемый образец или
прошедшего через контрольный образец,
коэффициент пропускания которого
принимается за единицу и выражается
формулой
(2.1)
Измерение производится по методу электрической автокомпенсации.
В монохроматический поток излучения поочередно вводятся контрольный и измеряемый образцы. При введении контрольного образца стрелка измерительного прибора устанавливается на деление «100» регулировкой ширины щели, и значение установившегося при этом светового потока принимают за 100% пропускания. При введении в поток излучения измеряемого образца стрелка измерительного прибора отклоняется пропорционально изменению потока, величина коэффициента пропускания отсчитывается по шкале в процентах пропускания.
3.2. Оптическая схема
Оптическая схема монохроматора —
автоколлимационная. Излучение от
источника 1 (рис. 2.4) или
падает на зеркальный конденсор 2,
который направляет его на плоское
поворотное зеркало 3 и дает изображение
источника излучения в плоскости линзы
4, расположенной вблизи входной щели
5. Прошедшее через входную щель
излучение падает на зеркальный объектив
6 и, отразившись, параллельным пучком
направляется на призму 7.
Пройдя призму под углом, близким к углу наименьшего отклонения, и отразившись от её алюминированной грани, диспергированный пучок направляется обратно на объектив и фокусируется им на выходной щели 8, расположенной над входной щелью. При вращении призмы монохроматическое излучение различных длин волн проходит через выходную щель 8, линзу 9, контрольный или измеряемый образец, линзу 10 и с помощью поворотного зеркала 11 собирается на светочувствительном слое одного из фотоэлементов 12 или 13.
Объектив представляет собой сферическое зеркало с фокусным расстоянием 500 мм.
Диспергирующая призма имеет преломляющий
угол
основание 30 мм и эффективный диаметр
44 мм.
Рис. 2.4. Оптическая схема монохроматора: 1 и 1 — источники освещения; 2 — зеркальный конденсор; 3 — плоское поворотное зеркало; 4, 9, 10 — линзы; 5 — щель; 6 — объектив; 7 — призма; 8 — щель; 11 — поворотное зеркало; 12, 13 — фотоэлементы
Призма, линзы и защитные пластинки изготовлены из кварцевого стекла с высоким коэффициентом пропускания в ультрафиолетовой области спектра.
Для обеспечения работы спектрофотометра в широком диапазоне спектра используются два фотоэлемента и два источника излучения сплошного спектра. Сурьмяно-цезиевый фотоэлемент с окном из кварцевого стекла применяется для измерений в области спектра от 186 до 650 нм, кислородно-цезиевый фотоэлемент — для измерений в области спектра от 600 до 1100 нм. Длина волны, при которой следует переходить от измерений с одним фотоэлементом к измерению с другим фотоэлементом, указывается в паспорте спектрофотометра.
Дейтериевая лампа предназначается для работы в области спектра от 186 до 350 нм, лампа накаливания — для работы в области спектра от 340 до 1100 нм. Для проверки градуировки используется ртутно-гелиевая лампа.