Порядок выполнения работы на микроинтерферометре Настройка микроинтерферометра

1. Включить лампу и положить испытуемую деталь на столик при­­бо­ра исследуемой поверхностью вниз (к объективу) (рис. 2.8). Для на­стройки правильного освещения необходимо обратиться к ла­бо­­ранту.

Рис. 2.8

2. Повернуть рукоятку 2 так, чтобы указательная стрелка стояла на ней вертикально, и с помощью микрометрического винта 4 сфо­кусировать (получить резкое изображение) интерферометр на ис­следуемую поверхность.

3. Поворотом рукоятки 2 включить головку объектива 5 (стрел­ка на рукоятке должна быть горизонтальной); при этом в поле зре­ния должны быть видны интерференционные полосы (аналогич­ные, изображенным, на рис. 2.7).

4. С помощью микрометрического винта 1 можно добиться наи­более резкого изображения полос и такого положения, при котором в поле зрения будут видны одновременно изображение контро­ли­руемой поверхности и интерференционная картина.

5. Для получения бóльшей контрастности полос рекомендуется по­­воротом кольца 7 несколько уменьшить отверстие апертурной ди­а­фрагмы.

6. Необходимый для работы интервал между полосами интер­фе­ренционной картины устанавливается вращением головки винта 3 во­круг собственной оси.

7. Поворотом винта 3 вокруг оси головки объектива 5 необ­хо­димо установить интерференционные полосы перпендикулярно штриху (исследуемой царапины) на испытуемой поверхности.

8. Для работы с монохроматическим светом необходимо вк­лю­чить один из светофильтров направляющей 6 до упора.

Измерение с помощью винтового окулярного микрометра и обработка результатов

Оценка качества полированной поверхности производится по ре­зультатам ряда измерений, проводимых с помощью окулярного мик­рометра. Перед началом измерений следует, поворачивая окулярный мик­рометр 8 вокруг своей оси, выставить его так, чтобы подвижный индекс, состоящий из двух рисок, совпал с направлением ин­тер­ференционных полос (в неискривлённой их части) (рис. 2.9).

Затем для определения высоты или глубины одной из нахо­дя­щихся в поле зрения микроинтерферометра неровностей, выполняют следующие операции:

а) измеряют интервал между интерференционными полосами

б) измеряют высоту изгиба полосы ;

в) вычисляют глубину или высоту неровности

Рис. 2.9

Глубина царапины (высота неровности) определяется по фор­муле

. (2.12)

Для определения интервала перекрестие в поле зрения оку­ляр­ного микрометра совмещают с серединой одной из темных по­лос, а затем по неподвижной шкале в поле зрения и по барабану мик­рометрического винта производят отсчет величины . Полные мил­ли­метры берутся по шкале, десятые и сотые доли миллиметра – по барабану винта. Затем, вращая барабан микрометрического винта, со­вмещают перекрестие с серединой соседней темной полосы и про­изводят отсчет величины . По формуле определяют интервал. Для определения высоты изгиба полосы перекрестие на­водят сначала на середину интерференционной полосы (подошву из­гиба), а затем на вершину изгиба и производят последовательно от­счеты величин и .

Высота изгиба находится по формуле Ис­тин­ная глубина неровности определяется по формуле (2.12). Все изме­рен­ные и вы­численные величины заносятся в табл. 2.1.

Таблица 2.1

Номер измерения
1
2
3

Перемещая столик с образцом винтами 9 и 10, (см. рис. 2.9), в по­ле зрения окулярного микрометра вводят различные неровности и для них производят описанные выше измерения и расчеты.

Для определения необходимо найти высоту или глубину трех неровностей на исследуемой поверхности.

Получив значение , определяют класс чистоты поверхности по табл. 2.2, в которой приведены предельные значения для пяти клас­сов шероховатости поверхности по ГОСТ 2789–73*.

Таблица 2.2

Классы ше­ро­хо­ва­тос­ти	10	11	12	13	14
мкм	0,5–0,8	0,25–0,5	0,12–0,25	0,06–0,12	до 0,6

Примечания:

1. В случае работы с монохроматическим светом имеет место фор­мула где длина волны света.

2. Если царапина имеет глубину за пределами классов 10–14, то прибор МИИ-4 измерения не выполнит.