Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

gurtov_v_a_tverdotelnaya_elektronika

.pdf
Скачиваний:
36
Добавлен:
18.03.2016
Размер:
16.32 Mб
Скачать

Глава 11. Фотоприемники

чем 1012 см–2 возможен локальный механизм генерации неосновных носителей типа параллельного поверхностного туннельного диода.

Другой тип аномальной генерации может быть обусловлен повышенной локальной концентрацией в ОПЗ рекомбинационных центров Nt Шокли – Рида. Третий тип аномальной генерации может быть обусловлен повышенной локальной концентрацией в ОПЗ легирующей примеси ND,A и реализацией перпендикулярного к поверхности туннельного диода.

 

 

VG < 0

 

 

t → ∞

Z

Z

Z

 

E

 

 

 

EC

 

 

Z = 0

 

 

F VG < 0, t → ∞

 

 

EV

 

 

x, y

Рис. 11.28. Зонная диаграмма МДП-структуры, иллюстрирующая

равновесное состояние после завершения релаксационных

процессов

 

 

11.6.2. Время релаксации неравновесного обеднения

Пусть импульсом напряжения на затворе VG в момент времени t = 0 МДП-структу- ра из равновесного состояния переведена в состояние неравновесного обеднения. Вследствие генерационных процессов неравновесное состояние будет релаксировать. Под временем релаксации неравновесного обеднения τрел обычно понимают среднее время, за которое МДП-структура перейдет от неравновесного к равновесному состоянию. Величина времени релаксации τрел зависит от того, в каком режиме — постоянного заряда на затворе QB = const или постоянного напряжения на затворе VG = const — происходила релаксация неравновесного обеднения. Время релаксации зависит также от доминирующего мехенизма генерации неосновных носителей, параметров МДП-структуры и величины тестирующего сигнала.

Время релаксации в режиме постоянного заряда на затворе

При условии постоянного заряда на затворе QG = const постоянным будет и заряд в ОПЗ (QG = Qsc = const). Поскольку релаксация ОПЗ происходит при условии постоянства заряда в ОПЗ (Qsc = const), то Qp + QB = const и увеличение заряда свободных электронов сопровождается уменьшением ширины неравновесной ОПЗ W. Для объемной генерации и рекомбинации Шокли – Рида генерационный ток будет равен:

jген

=

qni

W(t).

(11.57)

 

 

 

τ0

 

Gurtov.indd 328

17.11.2005 12:29:18

11.6. МДП-фотоприемники с неравновесным обеднением

Тогда заряд свободных дырок Qp:

t

Qгенp = j

0

 

qn

t

 

(t)dt =

 

i

W(t)dt.

(11.58)

τ

0

 

 

0

 

Величина заряда ионизированных доноров QB равна QB = qNDW(t). Поскольку:

Qp = QB , t t

получаем:

qn

W(t)

= qN

 

dW(t)

.

 

 

i

τ0

D dt

Отсюда, разделяя переменные и интегрируя, выводим:

 

 

n

 

t

 

 

W(t) =W(0)exp

i

 

 

,

(11.59)

ND τ0

 

 

 

 

где W(0) — ширина неравновесного участка ОПЗ в момент времени t = 0.

Таким образом, время релаксации ОПЗ при объемном механизме генерации будет равно:

τ

рел

= τ

0

ND

.

(11.60)

 

 

 

n

 

 

 

 

 

i

 

Время релаксации τрел определяется вероятностью захвата электронов γn и дырок γp, числом генерационных центров Nt, их энергетическим положением φ0t относительно уравнения Ферми, температурой T, собственной концентрацией ni и концентрацией примеси в подложке ND. Значение τ0 в (11.60) будет:

 

 

 

 

βϕ

 

 

γ

n

 

−βϕ

 

 

τ

 

= τ

e

 

0t

+

 

e

 

0t ,

(11.61)

 

 

 

 

 

 

0

 

n

 

 

 

γ p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где τn — время жизни неравновесных электронов.

Из соотношений (11.60) и (11.61) следует, что определяемое время релаксации τрел сложным образом связано со временем жизни неравновесных носителей τn, а рассчитанная из уравнения (11.60) величина τ0, как правило, будет больше, чем время

жизни τn.

В уравнении (11.59) величина времени релаксации τрел определяется значением (11.60) как время, за которое ширина ОПЗ уменьшилась в e раз по сравнению с шириной ОПЗ в момент времени t = 0. Отметим, что τрел в режиме QG = const не зависит от величины начального внешнего напряжения VG и величины импульса напряжения

VG, переводящего МДП-структуру в неравновесное обеднение.

Время релаксации в режиме постоянного напряжения на затворе

Представляет определенный интерессравнитькинетикурелаксации ОПЗв режиме постоянного заряда QG = const с кинетикой релаксации в режиме постоянного напряжения VG = const. В случае VG = const из уравнения электронейтральности следует, что:

C

dψ

s

 

Qp

 

Q

 

 

 

+

B = 0 .

(11.62)

 

 

t

ox dt

 

 

 

t

 

Gurtov.indd 329

17.11.2005 12:29:19

Глава 11. Фотоприемники

Воспользуемся следующим соотношением:

 

ε

(н)

− ψ( р) )

1

 

2

 

W(t) =

s

0

s

s

.

 

 

qND

 

 

 

 

 

 

 

 

Поскольку:

 

 

 

 

1

 

 

dW

 

εsε0

 

 

 

 

 

dψ(sн)

 

 

2

 

=

 

 

 

 

 

 

dt

(н)

( р)

 

 

dt

 

2qND s

− ψs

)

 

где CB — емкость обедненной области, следовательно:

dψ(sн) = 1 dW . dt CB dt

CB dψ(sн) ,

dt

Подставляя (11.65) в (11.66) и проведя перестановки, получаем:

(11.63)

(11.64)

(11.65)

qni

W(t)

 

 

Cox

dW(t)

 

 

 

= 1

+

 

 

 

.

(11.66)

τ0

CB

dt

 

 

 

 

 

 

Решение уравнения (11.66), так же как и (11.58), дает экспоненциальную зависимость ширины ОПЗ W(t) от времени t:

 

 

t

 

 

W(t) =W(0)e

τрел ;

 

τрел = τ0

ND

 

+

Cox

 

 

1

.

(11.67)

 

 

 

ni

 

CB

 

Отметим, что величина емкости обедненного слоя CB в соотношении (11.66) — усредненная величина согласно уравнению (11.64).

Сравнение времени релаксации τрел в режиме постоянного заряда и постоянного напряжения дает:

τрел (VG = const) > τрел (QG = const);

τрел (VG

= const)

=1

+

Cox

>1.

(11.68)

τрел (QG = const)

CB

 

 

 

 

Физически этот факт обусловлен тем, что в режиме VG = const необходимо нагенерировать в ОПЗ большее число неосновных носителей для инверсионного слоя, чем в режиме QG = const.

11.6.3. Дискретные МДП-фотоприемники

Рассмотрим работу фотоприемника на основе МДП-структуры МДП ФПУ в режиме прибора с зарядовой инжекцией. На рис. 11.29 показана зонная диаграмма, иллюстрирующая его работу. После подачи импульса напряжения VG < 0 за момент времени, равный максвелловскому времени релаксации τМ, реализуется состояние неравновесного обеднения (рис. 11.29). Состояние неравновесного обеднения сохраняется время t, равное времени релаксации неравновесной емкости τp. Если за это время в неравновесную ОПЗ попадет квант света в полосе собственного поглощения hν > Eg, то в ОПЗ произойдет генерация электронно-дырочных пар. Неосновные фотогенерированные носители будут заполнять неравновесную яму у поверхности (рис. 11.29). Поскольку наблюдается изменение заряда Qp/t в инверсионном слое, то через диэлектрик потечет

Gurtov.indd 330

17.11.2005 12:29:19

11.6. МДП-фотоприемники с неравновесным обеднением

довольно большой ток смещения Jсм, который будет зарегистрирован во внешней цепи. Возможен и другой принцип регистрации фотонов — считывание информационного заряда, как в приборах с зарядовой связью (рис. 11.29).

Прозрачный

Полупроводник

металл

Диэлектрик

 

VG = 0

VG < 0

 

t = 0

а) исходное состояние

б) неравновесное обеднение

VG < 0

VG < 0

t < tp

t < tp

 

hν

в) регистрация фотона

г) хранение информационного заряда

Рис. 11.29. Зонная диаграмма, иллюстрирующая работу МДП-структуры в качестве фотоприемного устройства

Через время t, равное времени релаксации неравновесной емкости τp, вследствие термогенерации яма для неосновных носителей заполнится. МДП-структура придет в равновесное состояние и утратит способность регистрировать кванты света. Поэтому необходимо привести МДП-структуру сначала в исходное состояние, а затем снова в состояние неравновесного обеднения. Следовательно, МДП ФПУ будет находиться в рабочем состоянии, если тактовая частота импульсов напряжения VG будет больше, чем обратное время релаксации неравновесной емкости МДП-структуры.

11.6.4.Матрицы фотоприемников с зарядовой связью (ФПЗС)

Новым типом полевых полупроводниковых приборов, работающих в динамическом режиме, являются приборы с зарядовой связью (ПЗС). На рис. 11.30 приведена схема, поясняющая устройство и основные физические принципы работы ПЗС. Приборы с зарядовой связью представляют собой линейку или матрицу последовательно расположенных МДП-структур. Величина зазора между соседними МДП-структурами невелика и составляет 1—2 мкм. ПЗС-элементы служат для преобразования оптического излучения в электрические сигналы и передачи информации от одного элемента электронной схемы к другому. На рис. 11.30 показан принцип работы трехтактного прибора с зарядовой связью [8, 68].

Gurtov.indd 331

17.11.2005 12:29:19

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]