gurtov_v_a_tverdotelnaya_elektronika
.pdfГлава 7. Тиристоры
в случае низкого уровня инжекции проводимость, а следовательно, и сопротивление полупроводника при инжекции неосновных носителей не меняются.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
IЭ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Омический |
|
|
|
IБ2 |
Точка |
Область |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
минимума |
|
|
|
|
|||||||||
|
контакт |
|
|
|
|
|
|
|
насыщения |
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
Б2 |
|
|
|
IV |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
p |
|
|
|
|
|
|
|
Область |
|
|
|
|
|||||
|
|
IE |
|
|
|
|
|
|
|
|
отрицательного |
|||||||||
|
|
|
n |
A |
|
|
VБ1Б2 |
|
сопротивления Точка |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
максимума |
|||
VЭБ1 |
|
|
Э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
VЭБ1 |
|||
Омический |
|
|
Б1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
V |
|
|
|
||||||
|
контакт |
|
|
|
|
|
|
|
VV |
Область |
p |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ip |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
IБ1 |
|
|
отсечки |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
а |
|
|
|
|
|
|
|
б |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
VБ1Б2 |
|
|
|
|
|
|
Э |
Б2 |
|
|
|
|
VЭБ1 |
|
|
RАБ2 |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
Б1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
RАБ1 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
в |
|
|
|
|
|
|
|
|
г |
|
|
|
|
Рис. 7.13. Однопереходной транзистор:
а) схема включения; б) вольт-амперная характеристика; в) условно-графическое обозначение; г) эквивалентная схема
В случае высокого уровня инжекции (pn >> nn0) ситуация другая. Поскольку концентрация инжектрированных неосновных носителей больше, чем концентрация основных носителей, в случае высокого уровня инжекции проводимость, а следовательно, и сопротивление полупроводника при инжекции неосновных носителей существенно меняются.
Рассмотрим, каким образом условие высокого уровня инжекции проявляется в вольт-амперных характеристиках однопереходного транзистора. При подаче напряжения между базами Б1 и Б2 вследствие омических контактов к этим базам приложенное напряжение линейно распределится вдоль полупроводниковой базы однопереходного транзистора. Эмиттер однопереходного транзистора Э находится примерно посередине базы. На рис. 7.13 эта точка обозначена буквой А. При положительном потенциале в точке Б2 (например, напряжение питания V = +5 В) величина потенциала в точке А будет также положительна (соответственно V = +2 В). При нулевом напряжении на эмиттере это соотвествует обратному смещению p-n-перехода эмиттер – база. При росте напряжения на эмиттере до тех пор, пока напряжение на эмиттере не сравняется со значением потенциала в точке А, эмиттерный переход будет смещен в обратном направлении. На вольт-амперной характеристике этот участок находится ниже оси абсцисс.
Gurtov.indd 258 |
17.11.2005 12:28:54 |
Контрольные вопросы
Когда значение напряжения на эмиттере сравняется и будет чуть выше, чем значение потенциала в точке А, произойдет прямое смещение p-n-перехода эмиттер – база. В этом случае в базу будут инжектированы неосновные носители. База однопереходного транзистора слабо легирована, концентрация основных носителей в ней невелика. Поэтому при прямом смещении эмиттерного перехода легко реализуется критерий высокого уровня инжекции. Это приводит к тому, что в области базы А-Б1 суммарная концентрация основных и неосновных носителей становится выше, чем в равновесном состоянии, а, следовательно, сопротивление этой области уменьшается. На рис. 7.13г эта область базы представлена в виде переменного резистора, сопротивление которого начинает уменьшаться при достижении напряжения на эмиттере.
Уменьшение сопротивления базы на участке А-Б2 вызывает уменьшение потенциала в точке А, формируемого за счет источника питания в цепи Б1-Б2. Это, в свою очередь, увеличивает прямое смещение эмиттерного перехода и величину инжекционного тока. Такая положительная обратная связь обуславливает переключение однопереходного транзистора в состояние с высоким значением тока эмиттера. Переходной участок ВАХ является участком с отрицательным дифференциальным сопротивлением и показан на рис. 7.13б. В стационарном состоянии на участке с высоким значением тока вольт-амперная характеристика однопереходного транзистора описывается как ВАХ диода в режиме высокого уровня инжекции, ток которого ограничен объемным сопротивлением базы диода.
Контрольные вопросы
7.1.Каковы особенности конструкции тиристора?
7.2.На каком участке ВАХ тиристора идет накопление объемного заряда в базах тиристора?
7.3.Какова причина зависимости коэффициента передачи от напряжения на тиристоре?
7.4.Как влияет знак тока базы на напряжение переключения тиристора?
7.5.Почему ВАХ тиристора имеет участок отрицательного сопротивления?
Gurtov.indd 259 |
17.11.2005 12:28:54 |
ГЛАВА 8
ЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫЕ
ДИОДЫ
8.1. Общие сведения
Лавинно-пролетным диодом (ЛПД) называют полупроводниковый диод с отрицательным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, работающий при обратном смещении p-n-перехода в режиме лавинного умножения носителей заряда и их пролета через область пространственного заряда (ОПЗ) полупроводниковой структуры. Теоретические разработки с описанием идеи создания ЛПД впервые были изложены У. Ридом
в1958 году, поэтому базовый вариант лавинно-пролетного диода на основе асимметричного p-n-перехода обычно называют диодом Рида. Генерация СВЧ-колебаний в такого сорта германиевых структурах впервые наблюдалась в 1959 году А. С. Тагером, а затем в 1965 году на кремниевых диодах Р. Л. Джонсоном [6, 14, 17, 20, 23].
Возникновение отрицательного сопротивления в лавинно-пролетных диодах обусловлено двумя физическими процессами, имеющими конечные времена протекания в ОПЗ p-n-перехода в режиме лавинного умножения. Первый процесс связан с временем нарастания лавинного тока, а второй процесс связан с прохождением носителей через пролетную область. Их суперпозиция приводит к появлению фазового сдвига между током и напряжением на выводах диода. Одним из основных критериев, необходимым для работы ЛПД, является примерное равенство между периодом колебаний СВЧ-поля и характерным временем пролета носителей через ОПЗ.
Вэтом случае пакет инжектированных носителей, дрейфуя через пролетную область в ускоряющем постоянном поле, но тормозящем СВЧ-поле, осуществляет преобразование энергии постоянного электрического поля в энергию СВЧ-колеба- ний, что и служит физической основой для использования лавинно-пролетных диодов
вкачестве генераторов СВЧ-колебаний.
8.2. Устройство и зонная диаграмма
Рассмотрим устройство и параметры лавинно-пролетного диода на основе классического диода Рида со структурой p+-n-i-n+. На рис. 8.1 приведены схема, распределение легирующих примесей, электрического поля и коэффициента ударной ионизации в диоде Рида при напряжении, равном напряжению лавинного пробоя [10, 20, 31].
Для обратносмещенного p-n-перехода максимальное значение напряженности электрического поля наблюдается на металлургической границе, а поскольку коэффициент лавинного умножения, согласно формуле (4.36), сверхэкспоненциально резко зависит от напряженности поля, то практически весь процесс умножения носителей происходит в узком слое высокого поля p-n-перехода, составляющего малую долю ширины обедненной области p+-n-перехода. Ширина области умножения Wу определяется таким образом, чтобы при интегрировании коэффициента ионизации
Gurtov.indd 260 |
17.11.2005 12:28:54 |
|
|
|
8.2. Устройство и зонная диаграмма |
||
от 0 до Wу получить 95% полной величины эффективного коэффициента. Для случая, |
|||||
приведенного на рис. 8.1, ширина области лавинного умножения составляет 0,2 мкм |
|||||
для кремниевых структур. Вне этой области умножение не происходит. Поэтому ос- |
|||||
тавшуюся часть ОПЗ будем называть областью дрейфа. Важнейшей характеристикой |
|||||
области дрейфа является скорость носителей заряда, с которой они проходят через эту |
|||||
область. Для того чтобы время пролета было минимально, необходимо в ОПЗ иметь |
|||||
высокие значения напряженности электрического поля. Для высоких электрических |
|||||
полей вследствие рассеивания на оптических фононах дрейфовая скорость достигает |
|||||
насыщения. Значение электрического поля, соответствующего этому критерию, для |
|||||
кремния равняется 104 В/см, для арсенида галлия 103 В/см. |
|||||
Различные разновидности лавинно-пролетных диодов реализованы в виде диода |
|||||
с симметричным p-n-переходом, диода с трехслойной базой и в виде p-i-n-диода. |
|||||
а |
– |
|
Диод Рида |
|
+ |
|
|
|
|||
p+ |
n |
|
i |
n+ |
|
|
|
||||
б |
1020 |
Si |
|
|
|
–3 |
|
N1 |
|
|
|
см |
5·1016 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
, |
|
|
|
|
|
A |
|
|
|
|
|
– N| |
|
|
|
|
|
D |
|
|
|
|
|
|N |
|
|
N2 |
|
|
|
1013 |
|
|
|
|
|
0 |
1 |
2 |
x, мкм |
|
|
|
3 |
|||
в |
5 |
|
|
|
|
5 |
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
·10 |
3 |
|
Площадь ∫E dx = VB = 60 B |
||
B/см |
2 |
|
|
|
|
E, |
1 |
|
|
|
|
|
|
W |
|
|
|
|
0 |
0 Wy |
b 1 |
|
x, мкм |
г |
|
2 |
3 |
||
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
·10 |
6 |
|
∫<a>dx = 1 |
|
|
–1 |
|
|
|
|
|
см |
4 |
|
|
|
|
<a>, |
2 |
|
|
|
|
|
0 |
0 Wy |
|
|
x, мкм |
|
|
1 |
2 |
3 |
|
Рис. 8.1. Схема (а), распределение концентраций легирующих примесей (б), |
|||||
электрического поля (в), коэффициента ударной ионизации (г) в |
|||||
диоде Рида при напряжении, близком к напряжению лавинного |
|||||
пробоя [10, 31] |
|
|
|
|
Gurtov.indd 261 |
17.11.2005 12:28:55 |
Глава 8. Лавинно-пролетные диоды
аEСВЧ
0 |
0,5Т |
Т t |
бn
0,5Т t
в |
|
|
|
1 |
|
|
||
|
|
|
|
|
||||
|
|
2 |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
3 |
4 |
5 |
|
|
|
|
|
|
Рис. 8.3. а) Зависимость от времени t напряженности СВЧ-поля ЕСВЧ в слое умножения;
б) зависимость от времени t плотности носителей заряда n, инжектированных из слоя умножения в пролетную область: T — период колебаний СВЧ-поля; в) схема лавинно-пролетного диода с мезаструктурой, смонти-
рованной на теплоотводе:
1 — омический контакт;
2 — сильнолегированный слой с электронной проводимостью (n+-слой);
3 — слаболегированный слой с электронной проводимостью (n-слой);
4 — сильнолегированный слой с дырочной проводимостью (р+-слой); 5 — теплоотводящая металлизированная пластина
На рис. 8.3в показана типичная схема ЛПД со структурой p+-n-n+, смонтированной на теплоотводящей пластине [84].
8.4. Использование ЛПД для генерации СВЧ-колебаний
Полупроводниковая ЛПД-структура обычно монтируется в типовой СВЧ-корпус. Как правило, диод крепится диффузионной областью или металлическим электродом на медный или алмазный теплоотвод для обеспечения эффективного охлаждения p-n-перехода во время работы. Для работы на частотах, соответствующих резонансной частоте собственного контура диода, достаточно поместить диод в разрез коаксиального контура. При работе на частотах, отличных от частоты собственного
Gurtov.indd 264 |
17.11.2005 12:28:55 |
Глава 8. Лавинно-пролетные диоды |
|
|
|
|
|
||||
|
102 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1/f ) |
6,8 × |
|
|
|
|
×+ GaAsSi ^Импульс |
||
|
|
× |
|
|
|
||||
|
|
|
23+ |
3,6 |
|
|
|
Si |
Непрер. |
|
12 |
25 |
32 |
× |
|
|
|
GaAs^(SD) |
|
|
+ 21 |
× 2,3 |
|
|
|||||
|
|
25 |
+ |
|
|
|
Si |
Непрер. |
|
|
|
|
+ 18 |
|
|
GaAs |
^(DD) |
||
|
101 |
27 |
|
|
×10 |
|
|||
|
|
|
31 |
|
× 6,9 |
|
|
|
|
|
|
|
12 |
25 |
|
|
|
|
|
|
37 |
|
|
25 |
|
|
|
|
|
|
|
|
36 |
24 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
16 |
|
|
12 |
|
|
|
|
|
|
|
16 |
10 |
|
|
|
|
|
100 |
|
|
|
14 |
|
|
|
|
Вт |
|
|
|
|
19 |
|
× 4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
× |
|
|
мощность, |
|
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
13 |
|
||
|
|
|
|
|
|
9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
11 |
|
×1,5 |
||
|
|
|
|
|
7,4 |
|
|||
10–1 |
|
|
|
|
|
|
2,8 |
|
|
Выходная |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
3,2 |
2,5 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
(1/f 2) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10–2 |
|
|
|
|
|
|
|
0,4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,13 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,05 |
|
10–3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
10 |
|
|
|
100 |
1000 |
|
|
|
|
|
f , ГГц |
|
|
|
||
Рис. 8.6. Характеристики ЛПД. Рядом с экспериментальными точками |
|||||||||
|
указаны значения КПД в процентах [10]: |
|
SD — одна область дрейфа; DD — две области дрейфа
8.5. Коммутационные pin-диоды
Полупроводниковый диод предназначеный для управления уровнем или фазой СВЧ-сигнала, называется переключательным СВЧ-диодом. Наряду с термином «переключательный» в отечественной литературе применяют также термины «ограничительные» или «коммутационные» диоды, а в зарубежной литературе обычно используется термин «pin-diodes» [30].
Наибольшее распростронение получили переключательные диоды с p-i-n-струк- турой, хотя имеются варианты на основе p-n-перехода и барьера Шоттки. На рис. 8.7а приведена топологическая схема типового pin-диода. Обычно p- и n-области диода легированы до вырождения (n+, p+), активная i-область имеет удельное сопротивление
Gurtov.indd 266 |
17.11.2005 12:28:56 |
8.5. Коммутационные pin-диоды
ρi от 100 до 1000 Ом·см с достаточно большим временем жизни неравновесных носителей τэф до 1,0 мкс. Толщина i-слоя базы диода составляет Wi = 3÷30 мкм.
Принцип действия коммутационного pin-диода основан на резком изменении его полного электрического сопротивления при изменении полярности управляющего напряжения или тока. При подаче прямого напряжения pin-диод для СВЧ-сигнала эквивалентен активному сопротивлению по величине, равной доли ома. При подаче обратного напряжения (а также при нулевом напряжении) сопротивление такого диода на СВЧ резко возрастает и составляет величину, равную нескольким килоомам. При обратном смещении коммутационный pin-диод эквивалентен емкости (величина 0,1—1,0 пФ), соединенной последовательно с активным сопротивлением порядка 1 Ом. Коэффициент изменения сопротивления при переключении полярности напряжения на диоде обычно составляет 103 и более раз.
p+ |
|
LК |
CК |
LК |
CК |
i |
(3–30) мкм |
rпр |
|
||
n+ |
|
rобр |
C |
|
|
|
|
|
обр |
||
|
|
|
|
|
а |
б |
в |
Рис. 8.7. а) Устройство коммутационного pin-диода;
б) эквивалентная схема на высоких частотах при прямом смещении; в) эквивалентная схема на высоких частотах при обратном
смещении
Специфические особенности p-i-n-структуры, существенные для работы диодов в СВЧ-диапазоне, заключаются в следующем.
При работе в прямом направлении на достаточно высоких частотах f, определяемых соотношением:
2πf τэфф >> 1, |
(8.6) |
диффузионная емкость Сдиф p+-i- и n+-i-переходов полностью шунтирует переходы. Таким образом, эквивалентная схема p-i-n-диода сводится к рис. 8.7б, где rпр — сопротивление базы, модулированное прямым током. Соотношение (8.6) заведомо
справедливо на сверхвысоких частотах f > 109 Гц.
При прямом смещении вследствие двойной инжекции дырок из p+-области и электронов из n+-области вся база «заливается» носителями и в эквивалентной схеме (рис. 8.7б) выполняется:
rпр |
~ |
kT q |
. |
(8.7) |
|
||||
|
|
Iпр |
|
Значения rпр в номинальном режиме близки к величине ~1 Ом; при изменении прямого тока величина rпр может изменяться в широких пределах по закону, близкому к:
rпр |
~ |
1 |
. |
(8.8) |
|
||||
|
|
Iпр |
|
Gurtov.indd 267 |
17.11.2005 12:28:56 |