Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

gurtov_v_a_tverdotelnaya_elektronika

.pdf
Скачиваний:
26
Добавлен:
18.03.2016
Размер:
16.32 Mб
Скачать

ГЛАВА 11

ФОТОПРИЕМНИКИ

11.1. Статистические параметры фотодетекторов

Фотодетекторы — полупроводниковые приборы, регистрирующие оптическое излучение и преобразующие оптический сигнал на входе в электрический сигнал на выходе фотодетектора.

Термину фотодетектор соответствует как эквивалентный термин фотоприемник, так и термин приемник оптического излучения.

Поскольку основная задача фотоприемников — регистрация, то существует набор статических характеристик, которыми описываются качества фотоприемника. Если регистрируемый сигнал на выходе фотоприемника — напряжение, то вводят понятие вольтовая чувствительность, показывающая, насколько изменится напряжение U на выходе фотоприемника при единичном изменении мощности P падающего

лучистого потока:

SV

=

U

 

В

 

P

,

 

.

(11.1)

 

 

 

 

Вт

 

Если на выходе фотоприемника изменяется ток, то фотоприемник характеризуется токовой чувствительностью Si. Токовая чувствительность — величина, характеризующая изменение тока I, регистрируемого в цепи фотоприемника при единичном изменении мощности P падающего оптического излучения:

Si

=

I

 

В

 

 

,

 

.

(11.2)

P

 

 

 

 

Вт

 

На фотоприемнике всегда есть хаотический сигнал, связанный с флуктуациями микропараметров приемника. Этот сигнал характеризуется средним квадратичным значением шумового напряжения:

Um2 .

(11.3)

Наличие шумового напряжения на фотоприемнике является физической границей регистрации внешнего сигнала. Параметр, описывающий этот эффект, получил название пороговой чувствительности. Пороговая чувствительность — это минимальная энергия оптического излучения Pm, которая вызовет на выходе фотоприемника сигнал, находящийся в заданном отношении (m) к шуму.

m = U = Pm SV ;

 

 

Um2

 

Um2

 

Pm

=

m Um2

,

[Вт].

(11.4)

SV

 

 

 

 

 

Gurtov.indd 299

17.11.2005 12:29:05

Глава 11. Фотоприемники

D*(λ,f,y), см·Гц1/2/Вт

1015

 

8

 

6

GdS (300 K)

4

2

 

1014

D* (идеальная)

8

(77 К)

6

 

4

Si (300 K)

 

2ФД

1013

 

D*

 

 

8

 

(идеальная)

GaAs

6

Ge:Au (77 K)

(300 К)

4

 

 

(4,2 K)

 

 

 

 

2

InSb (77 K) ФД

 

 

 

1012

 

 

 

GaAs

 

 

 

8

PbTe (77K) ФД

 

(300 K)

 

6

ФД

 

 

 

4

 

 

 

PbS (77 K)

 

 

InSb

 

 

Ge:Ga (4,2 K)

2

 

 

(1,5 К)

 

 

 

1011

GeNi (77 K)

 

 

 

8

 

 

 

 

6

PbS (300 K)

 

Si:P (4,2 K)

 

4

InSb (77 K)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

HgCdTe (77 K)

Ge:Zn (4,2 K)

1010

 

 

 

 

Ge:Cu (4,2 K)

 

8

 

 

 

6

Ge:Au (77 K)

 

 

4

PbSnTe (77 K)

 

 

 

 

2

 

 

 

 

109

 

 

 

 

0,1

1

10

100

1000

λ, мкм

Рис. 11.1. Зависимость обнаружительной способности D* от длины волны излучения для различных фоторезисторов и фотодиодов (ФД). Штрихованными кривыми представлена теоретическая идеальная D* при 77 и 300 К и угле 2π [10]

При m = 1 мощность оптического излучения Pm = Pmin называется минимальной пороговой чувствительностью. Поскольку шумовая ЭДС пропорциональна полосе частот, то пороговую чувствительность рассматривают для единичной полосы частот

f = 1, при этом:

 

 

 

m02

 

Um2 U

,

Pmin

=

Um02

.

(11.5)

 

 

 

SV

 

Величина, обратная пороговой чувствительности, называется обнаружительной способностью:

D =

1

.

(11.6)

 

 

Pmin

 

Gurtov.indd 300

17.11.2005 12:29:08

11.2. Материалы для фотоприемников

Удельная обнаружительная способность D* — величина, нормированная на единицу площади фотоприемника и на полосу частот:

 

 

 

Sv A f

 

 

 

1

 

 

 

 

D

*

=

,

 

см Гц2

.

(11.7)

 

2

 

Вт

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таким образом, удельная обнаружительная способность D* — это величина, обратная мощности оптического излучения, которая при полосе частот f = 1 и площади фотоприемника A = 1 вызывает на выходе фотоприемника сигнал, равный шуму.

На рис. 11.1 приведена зависимость обнаружительной способности D* от длины волны излучения для различных фоторезисторов и фотодиодов [9, 10, 12, 84].

11.2. Материалы для фотоприемников

Так же как и для всех оптоэлектронных устройств, для фотоприемников важно использовать прямозонные полупроводники и фундаментальное поглощение вблизи края запрещенной зоны.

Последнее условие вызывает наличие красной границы в регистрации сигнала. Граничная длина волны λгр, выше которой отсутствует регистрация излучения,

при межзонных переходах определяется из следующих простых соотношений:

hνгр

= Eg; λгр

=

c

;

λгр

(мкм) =

1,22

.

(11.8)

 

 

 

 

 

Eg

 

 

Eg (эВ)

 

В табл. 11.1 приведены значения ширины запрещенной зоны для различных полупроводников и граничная длина волны, рассчитанная по соотношениям (11.8).

Таблица 11.1. Длина волны λгр, соответствующая началу межзонного поглощения, для различных полупроводников

Материал

Параметр

Ширина

запрещенной зоны Eg, эВ

Длина волны λгр, мкм

Карбид кремния SiC

Фосфид галлия GaP

Арсенид галлия GaAs

Кремний Si

Германий Ge

Арсенид индия InAs

Антимонид индия InSb

КРТ CdHgTe

3,0

2,26

1,42

1,12

0,66

0,36

0,17

0,10

0,4

0,54

0,86

1,09

1,85

3,4

7,2

12,2

 

 

 

 

 

 

 

 

При выборе фотоприемников также имеет значение спектр пропускания среды между приемником и источником. Обычно этой средой является или атмосфера, или оптоволокно. На рис. 11.2 и 11.3 приведены эти характеристики.

Gurtov.indd 301

17.11.2005 12:29:08

 

Глава 11. Фотоприемники

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ближняя

 

Средняя

 

 

 

Дальняя ИК-область

 

 

 

 

100

ИК-область

ИК-область

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

80

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

%

60

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Пропускание,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

40

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Длина волны, мкм

 

 

 

 

 

 

 

О2

Н2О СО2Н2О СО2О2

Н2О

 

СО2О3

 

 

Н2О СО2

 

СО2

 

 

 

 

 

 

 

Поглощающие молекулы

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 11.2. Спектр пропускания атмосферы [82, 84]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Оптическое волокно на основе кварца

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

с добавкой GeO2

 

 

 

 

 

 

дБ/км

1,5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Потери,

0,6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,9

 

 

 

 

 

1,3

 

 

1,55

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Длина волны, мкм

 

 

 

 

 

 

Рис. 11.3. Спектр пропускания оптического волокна на основе кварца [8]

11.3. Фоторезисторы

При генерации в однородном полупроводнике, например n-типа проводимости, элек- тронно-дырочных пар при его освещении в полосе собственного поглощения происходит изменение концентрации основных nno и неосновных pno носителей. В том случае, если изменение концентрации основных носителей nno сопоставимо с их начальной концентрацией nno, то суммарная концентрация основных носителей nn = nno + nno возрастает, а следовательно возрастает и величина удельной проводимости. В том случае, если увеличение концентрации основных носителей существенно больше,

Gurtov.indd 302

17.11.2005 12:29:09

11.3. Фоторезисторы

чем стационарная концентрация, то суммарная проводимость будет определяться только фотопроводимостью.

Это физическое явление лежит в основе принципа действия фоторезисторов. Полупроводниковые резисторы, изменяющие свое электрическое сопротивление под действием оптического излучения, называются фоторезисторами. Поскольку фоторезисторы предназначены для регистрации слабых световых потоков, то зачастую величина полезного сигнала сравнима с шумовым током. В связи с этим для фоторезисторов с целью уменьшения шумов используют специальные конструкции, позволяющие охлаждать фоторезистор. На рис. 11.4а приведена такая конструкция с термоэлектрическим охлаждением.

а

 

1

 

 

 

 

2

 

 

3

 

9

4

 

 

 

8

5

 

 

 

7

 

 

6

 

б

Ф

d

I, U

W

l

Рис. 11.4. а) Конструкция охлаждаемого фоторезистора:

1 — входное окно; 2 — фоточувствительный элемент; 3 — контактная колодка; 4 — предусилитель; 5 — теплоотвод; 6 — электрические выводы; 7 — основание; 8 — терморезистор; 9 — термоэлектрический охладитель; б) топология фоторезистора для расчета токовой чувствительности

Gurtov.indd 303

17.11.2005 12:29:09

Глава 11. Фотоприемники

Рассмотрим основные характеристики фоторезисторов. На рис. 11.4б приведена топология рассматриваемых фоторезисторов и геометрия их освещения. Как было написано в предыдущем разделе, одной из основных характеристик фоторезистора является токовая чувствительность Si.

Изменение удельной фотопроводимости Δσ0 резистора при освещении вследствие изменения концентрации неравновесных носителей будет описываться соотношением:

Δσ0 = q( nμn + pμp) = q pμp(1 + b),

(11.9)

где b — отношение подвижностей электронов и дырок.

Полный ток I через резистор при величине внешнего напряжения U будет определяться суммой темнового IT тока и фототока IФ:

I = U(σ + Δσ0) = IT + IФ

(11.10)

Величина темнового IT тока определяется темновым омическим сопротивлением резистора, который при использовании геометрии фоторезистора, приведенной на рис. 11.4б, будет:

IT

= σ0

 

w d

U ,

(11.11)

 

 

 

 

l

 

где w — толщина, d — ширина, l — длина фоторезистора.

В стационарных условиях при освещении фоторезистора из уравнения непрерывности получаем:

 

dn

= G

n = 0 .

(11.12)

 

 

 

dt

τn

 

Следовательно, изменение концентрации основных носителей

nn будет:

 

nn = Gτn = ηαФτn,

(11.13)

поскольку темп генерации в случае однородного поглощения света в фоторезисторе будет:

G = ηαФ.

(11.14)

В выражениях (11.13) и (11.14) использованы следующие обозначения: η — квантовый выход (число неравновесных носителей, генерируемых при поглощении одного кванта), α — коэффициент поглощения, Ф — световой поток (число падающих фотонов на единицу площади).

При освещении изменение фотопроводимости Δσ будет:

Δσ = Δσ

 

w d

.

(11.15)

 

 

 

0 l

 

Согласно определению токовой чувствительности для фоторезистора, получа-

ем:

Si =

I

=

Iф

=

w d

U

Δσ0

=

w d

Uqμp (1+ b)ηα

Φ

.

(11.16)

P

P

l

P

l

P

 

 

 

 

 

 

 

 

Gurtov.indd 304

17.11.2005 12:29:09

1.3. Статистика электронов и дырок в полупроводниках

Используем для связи светового потока Ф и энергии оптического излучения, падающего на фоторезистор, P при энергии кванта hν соотношение:

Φ =

P / S

=

P dl

;ν =

1

=

c

.

(11.17)

hν

hν

 

 

 

 

 

T λ

 

Подставляя это выражение в формулу (11.16), получаем для токовой чувствительности Si фоторезистора:

S

 

=

q

(ηαλ)[τ

μ

 

(1

+ b)]

w

U.

(11.18)

 

h

 

 

 

i

 

p

 

p

 

2

 

 

Из уравнения (11.18) следует, что токовая чувствительность фоторезистора зависит от характеристик оптического излучения λ, η; геометрии фотоприемника w, l; характеристик полупроводникового материала μp, b, α, и выбора рабочей точки U.

На рис. 11.5а показаны вольт-амперные характеристики фоторезистора при различных уровнях освещения.

а

б

Чувствительность, отн. ед.

 

 

 

 

 

 

 

Iф

 

 

 

 

 

 

 

Ф2 > Ф1

 

 

 

 

 

 

 

Ф1

 

 

 

 

 

 

 

Ф = 0

 

 

 

 

 

 

 

U

100

1

2

3

4

5

6

7

 

 

 

 

 

 

 

80

60

40

20

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

 

 

 

 

 

Длина волны, мкм

 

 

 

 

 

Рис. 11.5. а) Вольт-амперные характеристики фоторезистора при различных уровнях освещения; б) спектральная чувствительность фоторезисторов на основе CdS (кривая 1), CdSe (2 ), PbS (3 ), твердого раствора PbS-PbSe (4, 5 ), PbSe (6), PbSnTe (7 ) [84]

Gurtov.indd 305

17.11.2005 12:29:09

Глава 11. Фотоприемники

Для фоторезисторов характерны стабильность фотоэлектрических характеристик во времени, малая инерционность, простота устройства, допускающая различные конструктивно-технологические решения. Выбор полупроводникового материала позволяет получить избирательную фоточувствительность. Фоторезисторы на основе CdS и CdSe чувствительны к видимому и УФ-излучению, а фоторезисторы на основе InSb и СdHgTe — к длинноволновому ИК-излучению. На рис. 11.5б приведены спектральные зависимости фоточувствительности различных фоторезисторов.

11.4. Фотодиоды на основе p-n-перехода

11.4.1. Общие сведения

При попадании кванта света с энергией hν в полосе собственного поглощения в полупроводнике возникает пара неравновесных носителей — электрон и дырка. При регистрации электрического сигнала необходимо зарегистрировать изменение концентраций носителей. Очевидно, что при прочих равных условиях зарегистрировать изменение концентрации неосновных носителей проще.

Так, например, в n-GaAs с легирующей концентрацией 1014 концентрация основных носителей электронов составляет 1014 см–3, а концентрация неосновных носителей — дырок — 1 см–3. Поэтому если при оптическом поглощении в фотоприемнике на основе GaAs возникает 1010 неравновесных носителей, то проще зарегистрировать изменение концентрации неосновных носителей. В фотоприемных устройствах, как правило, используется принцип регистрации неосновных носителей заряда. Наиболее распространенные фотоприемники реализуются на основе диодных структур. Среди них фотодиоды на основе p-n-переходов, барьеров Шоттки и гетеропереходов. Ниже на рис. 11.6 приведена конструкция наиболее распространенных фотодиодов.

В фотодиодах на основе p-n-переходов используется эффект разделения на границе электронно-дырочного перехода созданных оптическим излучением неосновных неравновесных носителей. Схематически фотодиод изображен на рис. 11.7.

11.4.2. Вольт-амперная характеристика фотодиода

Обратный ток p-n-перехода обусловлен дрейфовыми компонентами тока и выражается:

j0

=

qpn0 Dp

+

qnp0 Dn

,

(11.19)

Lp

 

 

 

 

Ln

 

где pn0 и np0 — концентрации неосновных носителей.

Изменение концентрации неосновных носителей вызывает изменение фототока. Величина фототока при обратном смещении фотодиода выражается соотношением:

jФ = q

pDp

+ q

pDn

=

q pLp

+

q

nLn

,

(11.20)

Lp

Ln

τp

 

τn

 

 

 

 

 

 

 

где p и n — неравновесные концентрации фотогенерированных неосновных носителей на расстоянии Ln и Lp от области пространственного заряда в квазинейтральном объеме эмиттера и базы диода.

Gurtov.indd 306

17.11.2005 12:29:10

 

 

 

 

 

11.4. Фотодиоды на основе p-n-перехода

 

 

hν

 

Металлический

hν

 

Просветляющее

 

 

p

+

 

контакт

p

+

покрытие

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

SiO2

i

 

 

 

 

n+

 

 

 

n+

 

 

 

 

а

 

 

 

б

 

 

Металл

 

Просветляющее

 

 

 

hν

покрытие

Охранное

 

 

 

 

hν

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

кольцо

n

+

SiO2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

n

 

 

n

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n+

 

 

 

p+

 

 

 

Тонкий полупрозрачный

 

 

 

 

 

слой металла

 

 

 

 

 

 

 

в

 

 

 

г

 

 

Контакты

p GaInAs i

n-InP

Эпоксидная смола

Вход излучения (1—1,6 мкм)

д

Рис. 11.6. Конструкции наиболее распространенных фотодиодов:

а) фотодиод на основе p-n-перехода; б) p-i-n-фотодиод; в) фотодиод на основе барьера Шоттки; г) фотодиод на основе p-n-перехода с лавинным умножением; д) фотодиод на основе p-i-n-гетероструктуры

Свет

 

R

n

p

 

 

VG

K

+

 

Рис. 11.7. Схематическое изображение фотодиода и схема его включения:

n — эмиттер, p — база фотодиода

Gurtov.indd 307

17.11.2005 12:29:11

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]