gurtov_v_a_tverdotelnaya_elektronika
.pdfГЛАВА 11
ФОТОПРИЕМНИКИ
11.1. Статистические параметры фотодетекторов
Фотодетекторы — полупроводниковые приборы, регистрирующие оптическое излучение и преобразующие оптический сигнал на входе в электрический сигнал на выходе фотодетектора.
Термину фотодетектор соответствует как эквивалентный термин фотоприемник, так и термин приемник оптического излучения.
Поскольку основная задача фотоприемников — регистрация, то существует набор статических характеристик, которыми описываются качества фотоприемника. Если регистрируемый сигнал на выходе фотоприемника — напряжение, то вводят понятие вольтовая чувствительность, показывающая, насколько изменится напряжение U на выходе фотоприемника при единичном изменении мощности P падающего
лучистого потока:
SV |
= |
U |
|
В |
|
|
P |
, |
|
. |
(11.1) |
||
|
||||||
|
|
|
Вт |
|
Если на выходе фотоприемника изменяется ток, то фотоприемник характеризуется токовой чувствительностью Si. Токовая чувствительность — величина, характеризующая изменение тока I, регистрируемого в цепи фотоприемника при единичном изменении мощности P падающего оптического излучения:
Si |
= |
I |
|
В |
|
|
|
, |
|
. |
(11.2) |
||
P |
|
|||||
|
|
|
Вт |
|
На фотоприемнике всегда есть хаотический сигнал, связанный с флуктуациями микропараметров приемника. Этот сигнал характеризуется средним квадратичным значением шумового напряжения:
Um2 . |
(11.3) |
Наличие шумового напряжения на фотоприемнике является физической границей регистрации внешнего сигнала. Параметр, описывающий этот эффект, получил название пороговой чувствительности. Пороговая чувствительность — это минимальная энергия оптического излучения Pm, которая вызовет на выходе фотоприемника сигнал, находящийся в заданном отношении (m) к шуму.
m = U = Pm SV ;
|
|
Um2 |
|
Um2 |
|
|
Pm |
= |
m Um2 |
, |
[Вт]. |
(11.4) |
|
SV |
||||||
|
|
|
|
|
Gurtov.indd 299 |
17.11.2005 12:29:05 |
|
Глава 11. Фотоприемники |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
Ближняя |
|
Средняя |
|
|
|
Дальняя ИК-область |
|
|
|
||||
|
100 |
ИК-область |
ИК-область |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
% |
60 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Пропускание, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
40 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
14 |
15 |
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Длина волны, мкм |
|
|
|
|
|
|
|||
|
О2 |
Н2О СО2Н2О СО2О2 |
Н2О |
|
СО2О3 |
|
|
Н2О СО2 |
|
СО2 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Поглощающие молекулы |
|
|
|
|
|
|
|||
|
Рис. 11.2. Спектр пропускания атмосферы [82, 84] |
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Оптическое волокно на основе кварца |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
с добавкой GeO2 |
|
|
|
|
|
|
||
дБ/км |
1,5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Потери, |
0,6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,9 |
|
|
|
|
|
1,3 |
|
|
1,55 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Длина волны, мкм |
|
|
|
|
|
|
Рис. 11.3. Спектр пропускания оптического волокна на основе кварца [8]
11.3. Фоторезисторы
При генерации в однородном полупроводнике, например n-типа проводимости, элек- тронно-дырочных пар при его освещении в полосе собственного поглощения происходит изменение концентрации основных nno и неосновных pno носителей. В том случае, если изменение концентрации основных носителей nno сопоставимо с их начальной концентрацией nno, то суммарная концентрация основных носителей nn = nno + nno возрастает, а следовательно возрастает и величина удельной проводимости. В том случае, если увеличение концентрации основных носителей существенно больше,
Gurtov.indd 302 |
17.11.2005 12:29:09 |
Глава 11. Фотоприемники
Рассмотрим основные характеристики фоторезисторов. На рис. 11.4б приведена топология рассматриваемых фоторезисторов и геометрия их освещения. Как было написано в предыдущем разделе, одной из основных характеристик фоторезистора является токовая чувствительность Si.
Изменение удельной фотопроводимости Δσ0 резистора при освещении вследствие изменения концентрации неравновесных носителей будет описываться соотношением:
Δσ0 = q( nμn + pμp) = q pμp(1 + b), |
(11.9) |
где b — отношение подвижностей электронов и дырок.
Полный ток I через резистор при величине внешнего напряжения U будет определяться суммой темнового IT тока и фототока IФ:
I = U(σ + Δσ0) = IT + IФ |
(11.10) |
Величина темнового IT тока определяется темновым омическим сопротивлением резистора, который при использовании геометрии фоторезистора, приведенной на рис. 11.4б, будет:
IT |
= σ0 |
|
w d |
U , |
(11.11) |
|
|||||
|
|
|
l |
|
где w — толщина, d — ширина, l — длина фоторезистора.
В стационарных условиях при освещении фоторезистора из уравнения непрерывности получаем:
|
dn |
= G − |
n = 0 . |
(11.12) |
|
|
|||
|
dt |
τn |
|
|
Следовательно, изменение концентрации основных носителей |
nn будет: |
|||
|
nn = Gτn = ηαФτn, |
(11.13) |
поскольку темп генерации в случае однородного поглощения света в фоторезисторе будет:
G = ηαФ. |
(11.14) |
В выражениях (11.13) и (11.14) использованы следующие обозначения: η — квантовый выход (число неравновесных носителей, генерируемых при поглощении одного кванта), α — коэффициент поглощения, Ф — световой поток (число падающих фотонов на единицу площади).
При освещении изменение фотопроводимости Δσ будет:
Δσ = Δσ |
|
w d |
. |
(11.15) |
|
|
|||
|
0 l |
|
Согласно определению токовой чувствительности для фоторезистора, получа-
ем:
Si = |
I |
= |
Iф |
= |
w d |
U |
Δσ0 |
= |
w d |
Uqμp (1+ b)ηα |
Φ |
. |
(11.16) |
|
P |
P |
l |
P |
l |
P |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Gurtov.indd 304 |
17.11.2005 12:29:09 |
Глава 11. Фотоприемники
Для фоторезисторов характерны стабильность фотоэлектрических характеристик во времени, малая инерционность, простота устройства, допускающая различные конструктивно-технологические решения. Выбор полупроводникового материала позволяет получить избирательную фоточувствительность. Фоторезисторы на основе CdS и CdSe чувствительны к видимому и УФ-излучению, а фоторезисторы на основе InSb и СdHgTe — к длинноволновому ИК-излучению. На рис. 11.5б приведены спектральные зависимости фоточувствительности различных фоторезисторов.
11.4. Фотодиоды на основе p-n-перехода
11.4.1. Общие сведения
При попадании кванта света с энергией hν в полосе собственного поглощения в полупроводнике возникает пара неравновесных носителей — электрон и дырка. При регистрации электрического сигнала необходимо зарегистрировать изменение концентраций носителей. Очевидно, что при прочих равных условиях зарегистрировать изменение концентрации неосновных носителей проще.
Так, например, в n-GaAs с легирующей концентрацией 1014 концентрация основных носителей электронов составляет 1014 см–3, а концентрация неосновных носителей — дырок — 1 см–3. Поэтому если при оптическом поглощении в фотоприемнике на основе GaAs возникает 1010 неравновесных носителей, то проще зарегистрировать изменение концентрации неосновных носителей. В фотоприемных устройствах, как правило, используется принцип регистрации неосновных носителей заряда. Наиболее распространенные фотоприемники реализуются на основе диодных структур. Среди них фотодиоды на основе p-n-переходов, барьеров Шоттки и гетеропереходов. Ниже на рис. 11.6 приведена конструкция наиболее распространенных фотодиодов.
В фотодиодах на основе p-n-переходов используется эффект разделения на границе электронно-дырочного перехода созданных оптическим излучением неосновных неравновесных носителей. Схематически фотодиод изображен на рис. 11.7.
11.4.2. Вольт-амперная характеристика фотодиода
Обратный ток p-n-перехода обусловлен дрейфовыми компонентами тока и выражается:
j0 |
= |
qpn0 Dp |
+ |
qnp0 Dn |
, |
(11.19) |
Lp |
|
|||||
|
|
|
Ln |
|
где pn0 и np0 — концентрации неосновных носителей.
Изменение концентрации неосновных носителей вызывает изменение фототока. Величина фототока при обратном смещении фотодиода выражается соотношением:
jФ = q |
pDp |
+ q |
pDn |
= |
q pLp |
+ |
q |
nLn |
, |
(11.20) |
Lp |
Ln |
τp |
|
τn |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
где p и n — неравновесные концентрации фотогенерированных неосновных носителей на расстоянии Ln и Lp от области пространственного заряда в квазинейтральном объеме эмиттера и базы диода.
Gurtov.indd 306 |
17.11.2005 12:29:10 |
|
|
|
|
|
11.4. Фотодиоды на основе p-n-перехода |
|||
|
|
hν |
|
Металлический |
hν |
|
Просветляющее |
|
|
|
p |
+ |
|
контакт |
p |
+ |
покрытие |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
n |
|
|
SiO2 |
i |
|
|
|
|
n+ |
|
|
|
n+ |
|
|
|
|
а |
|
|
|
б |
|
|
Металл |
|
Просветляющее |
|
|
|
|||
hν |
покрытие |
Охранное |
|
|
|
|||
|
hν |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
кольцо |
n |
+ |
|
SiO2 |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
n |
|
n |
||
|
|
n |
|
|
p |
|||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
n+ |
|
|
|
p+ |
|
|
|
Тонкий полупрозрачный |
|
|
|
|
|||
|
слой металла |
|
|
|
|
|
||
|
|
в |
|
|
|
г |
|
|
Контакты
p GaInAs i
n-InP
Эпоксидная смола
Вход излучения (1—1,6 мкм)
д
Рис. 11.6. Конструкции наиболее распространенных фотодиодов:
а) фотодиод на основе p-n-перехода; б) p-i-n-фотодиод; в) фотодиод на основе барьера Шоттки; г) фотодиод на основе p-n-перехода с лавинным умножением; д) фотодиод на основе p-i-n-гетероструктуры
Свет |
|
R |
|
n |
p |
||
|
|||
|
VG |
K |
|
+ |
– |
||
|
Рис. 11.7. Схематическое изображение фотодиода и схема его включения:
n — эмиттер, p — база фотодиода
Gurtov.indd 307 |
17.11.2005 12:29:11 |