_Разное / TKЭT(ШПОРЫ) / 1 / 23(3)

23(3). Преймущества электронолитографии

В основе электронолитографии лежит непосредственная генерация, или проекционный перенос изображения с помощью электронного луча.

Основными преимуществами элект­ронолитографии, наряду с высокой разрешающей способностью, являются воз­можности управления пучком электронов, фокусирования его до очень тонкого луча а также возможность бесшаблонной печати, или непосредственной генерации изображения топологических элементов на поверхности подложки с высокой точностью совмещения.

К недостаткам электронолитографического процесса следует отнести высокую стоимость экспонирования и не­высокую производительность процесса, которая оказывается тем ниже, чем меньше размер формируемых топологических элементов. Так, если образец с топологическим размером 1 мкм формируется за 1 час, то изготовление структуры с размерами 0.1 мкм потребует 20-30 часов

Преодолеть самый большой недостаток электронолитографии, а именно эффект близости, возможно при использовании в качестве актиничного излучения не электронного пучка, а ионного. При этом большая масса ионов приводит также к уменьшению рассеяния, а более высокая эффективность поглощения ионов позволяет повысить производительность процесса.