4.6. Заключение

В разделе “Производственная и экологическая безопасность” был рассмотрен участок проекционной фотолитографии, проведён анализ опасностей и вредностей , возникающих на этом участке , описаны факторы , влияющие на состояние воздушной среды предприятий электронной промышленности, рассмотрены устройство и виды промышленной и местной вентиляции , выполнен расчёт необходимого воздухообмена для обеспечения безопасности при проведении фотолитографических работ . Получены следующие результаты : на участке проекционной фотолитографиии необходимо использовать кондиционер марки 03.2301 с типом электродвигателя привода вентагрегата 4А160М6, который обеспечивает производительность по воздуху 31,5 тыс.м³/ч.

65