SHADOW / OTZIV
.DOC
Отзыв
на дипломный проект студента группы ЭКТ-57 МГИЭТ
ДЕРЯБИНА ПАВЛА АЛЕКСАНДРОВИЧА по теме
“РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ”.
Разработка промышленной технологии проекционной фотолитографии, обеспечивающей субмикронное разрешение, считается одним из наиболее важных направлений исследований, определяющим возможность производства в России СБИС ёмкостью 4 Мбит.
Таким образом, тема дипломного проекта является актуальной и имеющей практическое значение для применения в электронной промышленности.
Представленное в дипломном проекте решение проблемы получения минимального линейного размера, за счёт оптимизации технологического процесса, отличается дешевизной и доступностью в отсутствии соответствующего класса оборудования и обеспечивает существенное улучшение воспроизводимого разрешения.
В разделах пояснительной записки, относящихся к вопросам охраны труда и природы, а также экономики, представлен очень хороший, по мнению консультантов, материал, что свидетельствует о знании данных вопросов автором проекта.
Недостатком проекта, если это можно так квалифицировать, является композиционная “рыхлость” обзорного материала.
Тем не менее, задание на дипломное проектирование выполнено в полном объёме, а уровень его решения заслуживает общей оценки “отлично”.
П.А. Дерябин заслуживает присуждения ему квалификации “инженер-физик”.
РУКОВОДИТЕЛЬ ПРОЕКТА Нач. отд. 47 НИИМЭ
О.П. Гущин