Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

SHADOW / OTZIV

.DOC
Скачиваний:
2
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
14.85 Кб
Скачать

Отзыв

на дипломный проект студента группы ЭКТ-57 МГИЭТ

ДЕРЯБИНА ПАВЛА АЛЕКСАНДРОВИЧА по теме

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ”.

Разработка промышленной технологии проекционной фотолитографии, обеспечивающей субмикронное разрешение, считается одним из наиболее важных направлений исследований, определяющим возможность производства в России СБИС ёмкостью 4 Мбит.

Таким образом, тема дипломного проекта является актуальной и имеющей практическое значение для применения в электронной промышленности.

Представленное в дипломном проекте решение проблемы получения минимального линейного размера, за счёт оптимизации технологического процесса, отличается дешевизной и доступностью в отсутствии соответствующего класса оборудования и обеспечивает существенное улучшение воспроизводимого разрешения.

В разделах пояснительной записки, относящихся к вопросам охраны труда и природы, а также экономики, представлен очень хороший, по мнению консультантов, материал, что свидетельствует о знании данных вопросов автором проекта.

Недостатком проекта, если это можно так квалифицировать, является композиционная “рыхлость” обзорного материала.

Тем не менее, задание на дипломное проектирование выполнено в полном объёме, а уровень его решения заслуживает общей оценки “отлично”.

П.А. Дерябин заслуживает присуждения ему квалификации “инженер-физик”.

РУКОВОДИТЕЛЬ ПРОЕКТА Нач. отд. 47 НИИМЭ

О.П. Гущин

Соседние файлы в папке SHADOW