SHADOW / OGL

Содержание

Введение 3

Аналитический обзор

Глава 1. Современный уровень развития схем ДОЗУ в мире

1.1 Экономические показатели рынка схем ДОЗУ 11

1.2 Основные тенденции развития 15

1.3 Разработка схем ДОЗУ следующих поколений 19

Глава 2. Оптические мультипликаторы в современном производстве

схем ДОЗУ

2.1 Введение 24

2.2 Требования к современным мультипликаторам 27

2.3 Оснащение мультипликаторами производства

современных ДОЗУ 32

2.4 Заключение 36

Специальная часть

Глава 3. Экспериментальная часть

3.1 Постановка задачи 40

3.2 Аттестация фотолитографического промышленного

оборудования 40

3.3 Выбор установки для проведения эксперимента 45

3.4 Влияние ПЭТ на воспроизводимость линейного

размера 45

3.5 Заключение 50

Производственно-экологическая безопасность

Глава 4. Вопросы организации безопасных условий труда при работе

на участке фотолитографии

4.0 Введение 52

4.1 Анализ опасностей и вредностей на участке

фотолитографии 53

4.2 Воздушная среда предприятий электронной

промышленности 55

4.3 Промышленная вентиляция 58

4.4 Местная вентиляция 59

4.5 Создание оптимального микроклимата и расчёт

воздухообмена 61

4.6 Заключение 65

Экономико-организационная часть

Глава 5. Анализ экономического эффекта от внедрения новой

технологии

5.1 Виды технико-экономического анализа

проектных решений 67

5.2 Конструктивно-технологические факторы,

влияющие на себестоимость изделия 70

5.3 Методика расчёта составляющих экономического

эффекта 78

5.4 Расчёт составляющих экономического эффекта 79

5.5 Заключение 80

Заключение 81

Список используемой литературы 82

2