Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

SHADOW / LITER

.DOC
Скачиваний:
4
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
17.41 Кб
Скачать

Список используемой литературы:

1) Моро У “Микролитография : в 2-х частях”, часть 1: Пер. с англ.- М.: Мир, 1990 ;

2) Моро У “Микролитография : в 2-х частях”, часть 2: Пер. с англ.- М.: Мир, 1990 ;

3) В.В. Мартынов, Т.Е. Базаров “Литографические процессы”,-М.:Высшая школа, 1990 ;

4) “Зарубежная электроника“ № 3 , 1991 год ;

5) “Зарубежная электроника“ № 7-8 , 1993 год ;

6) “Зарубежная электроника“ № 4 , 1995 год ;

7) EDN, 1995, v.40, N18, pp.42,43;

8) IEEE Journal of Solid-State Circuits, 1995, v.30, N9, pp. 998-1005;

9) Проспект фирмы Nikon (Semiconductor Equipment), ноябрь 1989 ;

10) Проспект фирмы Canon (Semiconductor Equipment), октябрь 1989 ;

11) Проспект фирмы ASM Lithography, 1990 ;

12) Проспект фирмы General Signal (Semiconductor Equipment Group/Europe), 1990 ;

13) ИОТ-125 Инструкция по охране труда оператора фотолитографического оборудования, 1997 ;

14) Константинова Л.А., Ларионов Н.М., Писеев В.М. Методы и средства обеспечения безопасности технологических процессов на предприятиях электронной промышленности: Учебное пособие по курсу “Охрана труда и окружающей среды”. МИЭТ. М., 1990 ;

15) Константинова Л.А., Писеев В.М. Методические указания по выполнению раздела “Охрана окружающей среды” в дипломных проектах/Под ред. В.И.Каракеяна. МИЭТ. М., 1988 ;

16) Константинова Л.А., Ларионов Н.М., Писеев В.М. Методические указания по выполнению раздела “Охрана труда” в дипломном проекте для студентов МИЭТ/Под ред. В.И.Каракеяна. МИЭТ. М., 1988 ;

17) Микроэлектроника: Учеб. пособие для втузов. В 9 кн./Под ред. Л.А.Коледова. Кн. 9. Экономика и организация разработок, освоения и производства изделий микроэлектроники/ А.В.Проскуряков, Н.К.Моисеева, Ю.П.Анискин.-М.: Высш.шк., 1987 ;

18) Анискин Ю.П. Методика планирования выхода годной продукции в период освоения. Методические указания по выполнению курсовых работ и дипломных проектов. - М.: Изд. МИЭТа, 1984 ;

83

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке SHADOW