Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ZOMBIE / LITOBOZ.DOC
Скачиваний:
27
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
73.22 Кб
Скачать

Выводы.

Таким образом, наиболее актуальными проблемами использования газофазной эпитаксии кремния являются:

  • Подавление автолегирования и формирование субмикронных слоев с различными профилями распределения примесей;

  • Снижение температуры процессов при контролируемом кристаллографическом совершенстве эпитаксиальных структур;

  • Проведение процесса эпитаксии на частично маскированой поверхности.

27

Глава 1. Литературный обзор Стр.

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке ZOMBIE