Выводы.

Таким образом, наиболее актуальными проблемами использования газофазной эпитаксии кремния являются:

• Подавление автолегирования и формирование субмикронных слоев с различными профилями распределения примесей;

• Снижение температуры процессов при контролируемом кристаллографическом совершенстве эпитаксиальных структур;

• Проведение процесса эпитаксии на частично маскированой поверхности.

27

Глава 1. Литературный обзор Стр.