ZOMBIE / OT3

Отзыв руководителя и консультанта

на дипломный проект

Заглумина П.А.

«Разработка обучающей программы «Газофазные процессы эпитаксии кремния».

Данный дипломный проект является итогом соединения результатов курсового проектирования, производственной и преддипломной практик и дипломного проектирования, а именно с сентября 1995г. по настоящее время.

За этот период дипломантом изучены важнейшие вопросы эпитаксиальной технологии - равновесный термодинамический анализ, влияние реагентов процесса на микроморфологию эпитаксиальных слоев, явление автолегирования и методики моделирования профилей распределения легирующих примесей в переходном эпитаксиальном слое, особенности локальной эпитаксии и существующей модели этого процесса. Предложены новые оригинальные решения для математического моделирования локальной эпитаксии кремния, уточнены решения системы уравнений термодинамического анализа.

Дипломантом разработаны Windows-подобный пользовательский интерфейс всех уровней работы программ, библиотека математических функций, математическое наполнение программ, банк микрофотографий поверхности эпитаксиальных структур, система экранных подсказок и комментариев. При выполнении такого большого объема работы дипломант проявил настойчивость, инициативу, достаточную самостоятельность и творческий подход к делу. Только сочетание знаний предметной области с высокой квалификацией программиста позволили выполнить эту оригинальную работу.

В качестве замечаний можно отметить своеобразный «программистский» стиль изложения пояснительной записки, что, однако, не снижает значения выполненной работы.

Считаем, что данная работа несомненно заслуживает отличной оценки, а дипломант присвоения квалификации инженера электронной техники.

Руководитель доцент, к.т.н. Акуленок М. В.

Консультант доцент, к.т.н. Шарапов В. И.