ZOMBIE / OBLOZKA

Министерство высшего и среднего специального образования СССР.

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.

ФАКУЛЬТЕТ : Микротехнология материалов и компонентов технических систем информатики.

КАФЕДРА Физико-химических основ технологии микроэлектроники.

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

К ДИПЛОМНОМУ ПРОЕКТУ

НА ТЕМУ: Разработка обучающей программы

«Газофазные процессы эпитаксии кремния».

Дипломант: (Заглумин П. А.)

Руководитель проекта: (Акуленок М. В.)

Консультант: (Шарапов В. И.)

Консультант по организационно-

экономической части: (Костина Г. Д.)

Консультант по технике

безопасности: (Рябышенков А. С.)

1997 г.