
ZOMBIE / OBLOZKA
.DOCМинистерство высшего и среднего специального образования СССР.
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ.
ФАКУЛЬТЕТ : Микротехнология материалов и компонентов технических систем информатики.
КАФЕДРА Физико-химических основ технологии микроэлектроники.
ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА
К ДИПЛОМНОМУ ПРОЕКТУ
НА ТЕМУ: Разработка обучающей программы
«Газофазные процессы эпитаксии кремния».
Дипломант: (Заглумин П. А.)
Руководитель проекта: (Акуленок М. В.)
Консультант: (Шарапов В. И.)
Консультант по организационно-
экономической части: (Костина Г. Д.)
Консультант по технике
безопасности: (Рябышенков А. С.)
1997 г.