ZOMBIE / CODERZA

Заглумин П.А. Дипломный проект.

Содержание

ВВЕДЕНИЕ 3

ГЛАВА 1. Литературный обзор.

Актуальные вопросы газофазной эпитаксии кремния. 7

1. Проблемы автолегирования в процессе газофазной

   эпитаксии кремния. 10

2. Низкотемпературные процессы эпитаксии кремния. 13

3. Взаимосвязь условий формирования эпитаксиальных

   слоев и их структурного совершенства. 19

4. Процессы эпитаксии в технологии приборов и схем.

5. Проблемы формирования тонких эпитаксиальных слоев. 21

6. Локальная эпитаксия кремния. 23

Выводы. 29

ГЛАВА 2. Методика разработки программы.

1. Структура обучающей программы. 32

2. Библиотека графических функций. 34

3. Генератор графических интерфейсов. 35

4. Библиотека математических функций. 37

5. Библиотека функций мыши. 38

6. Используемые стандартные библиотеки. 40

7. Нестандартные приемы. 41

8. Работа с программой Depos. 42

Выводы. 50

ГЛАВА 3. Разработка обучающей программы

«Газофазные процессы эпитаксии кремния». 51

1. Термодинамический анализ системы Si-Cl-H. 52

2. Влияние режимов эпитаксии на микроморфологию поверхности. 57

3. Изучение явления автолегирования в процессе газофазной

   эпитаксии кремния. 62

4. Изучение особенностей локальной эпитаксии кремния. 65

5. Оптимизация режимов низкотемпературного

эпитаксиального процесса. 68

Вывод. 71

ГЛАВА 4. Обеспечение производственно-экологической безопасности при работе оператора ПЭВМ. 72

1. Введение. 73

2. Возможные вредные факторы, их анализ и характеристика. 74

3. Общие требования к помещению машинного зала. 75

4. Основные требования к освещению. 76

5. Расчет общего освещения. 77

6. Меры защиты от поражения электрическим током. 79

7. Защита от статического электричества. 80

8. Меры по снижению уровня шума. 81

9. Нормирование метеорологических условий в

   машинном зале ПЭВМ. 82

10. Требования по пожарной безопасности. 83

11. Защита от электромагнитных полей и

    ионизирующего излучения. 84

12. Планировка рабочего места оператора ПЭВМ. 85

13. Организация работы оператора. 86

14. Международное сотрудничество в области охраны

окружающей среды. 87

Выводы. 89

ГЛАВА 5. Оценка затрат на создание программного продукта. 90

1. Описание программы. 91

2. Основные понятия. 92

3. Алгоритм оценки затрат на создание программного

   продукта. 95

4. Расчет затрат на разработку программы. 96

Выводы. 98

ВЫВОДЫ. 99

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ. 100

ПРИЛОЖЕНИЯ. 103

Приложение 1. Текст программы Depos.

Приложение 2. Текст модуля Analyze.

Приложение 3. Текст модуля Photo.

Приложение 4. Текст модуля Autoleg.

Приложение 5. Текст модуля LocalSi.

Содержание. Стр. 2