ZOMBIE / 3

Заглумин П.А. Дипломный проект.

Выводы.

1. Анализ литературных данных показал, что наиболее актуальными вопросами эпитаксиальной технологии являются:

• Подавление автолегирования и формирование субмикронных слоев с различными профилями распределения примесей;

• Снижение температуры процессов при контролируемом кристаллографическом совершенстве эпитаксиальных структур;

• Проведение процесса эпитаксии на частично маскированной поверхности.

2. Разработана структура программы. Создан генератор графических изображений и библиотека графических функций, сформирована библиотека математических функций и функций мыши, разработаны оболочки и пользовательский интерфейс для всех четырех разделов программы.

3. Разработана обучающая программа «Газофазные процессы эпитаксии кремния» позволяющая:

• Провести термодинамический анализ системы и показать теоретическую возможность протекания процесса осаждения.

• Проанализировать микроморфологию поверхности эпитаксиальных структур при заданных режимах эпитаксии.

• Изучить профиль распределения легирующих примесей и характер влияния режимов процесса на протяженность переходного эпитаксиального слоя.

• Изучить особенности локальной эпитаксии кремния и определить оптимальные режимы процесса.

4. Оптимизация режимов низкотемпературного эпитаксиального процесса в традиционных схемах его проведения показала, что оптимальными условиями его проведения являются:

• для тотальных эпитаксиальных слоев

  ПГС [SiH₂Cl₂+H₂+AsCl₃]; Cl/H»10^-3; T»1080^oC.

• для локальных эпитаксиальных слоев

  ПГС [SiH₂Cl₂+H₂+AsCl₃]; Cl/H»10^-3; T»1100^oC.

1. Проведен анализ вредностей и опасностей при работе оператора ЭВМ, произведен расчет освещенности рабочего места оператора, даны рекомендации по организации рабочего места оператора ПЭВМ.

Рассчитана величина затрат на разработку обучающей программы, показаны пути сокращения затрат: исходная сумма затрат 5 миллионов 639 тысяч рублей, конечная сумма затрат 177 тысяч 600 рублей.

99

Выводы. Стр.