Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

ZOMBIE / 3

.DOC
Скачиваний:
3
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
19.46 Кб
Скачать

Заглумин П.А. Дипломный проект.

Выводы.

  1. Анализ литературных данных показал, что наиболее актуальными вопросами эпитаксиальной технологии являются:

  • Подавление автолегирования и формирование субмикронных слоев с различными профилями распределения примесей;

  • Снижение температуры процессов при контролируемом кристаллографическом совершенстве эпитаксиальных структур;

  • Проведение процесса эпитаксии на частично маскированной поверхности.

  1. Разработана структура программы. Создан генератор графических изображений и библиотека графических функций, сформирована библиотека математических функций и функций мыши, разработаны оболочки и пользовательский интерфейс для всех четырех разделов программы.

  2. Разработана обучающая программа «Газофазные процессы эпитаксии кремния» позволяющая:

  • Провести термодинамический анализ системы и показать теоретическую возможность протекания процесса осаждения.

  • Проанализировать микроморфологию поверхности эпитаксиальных структур при заданных режимах эпитаксии.

  • Изучить профиль распределения легирующих примесей и характер влияния режимов процесса на протяженность переходного эпитаксиального слоя.

  • Изучить особенности локальной эпитаксии кремния и определить оптимальные режимы процесса.

  1. Оптимизация режимов низкотемпературного эпитаксиального процесса в традиционных схемах его проведения показала, что оптимальными условиями его проведения являются:

  • для тотальных эпитаксиальных слоев

    ПГС [SiH2Cl2+H2+AsCl3]; Cl/H»10-3; T»1080oC.

  • для локальных эпитаксиальных слоев

    ПГС [SiH2Cl2+H2+AsCl3]; Cl/H»10-3; T»1100oC.

  1. Проведен анализ вредностей и опасностей при работе оператора ЭВМ, произведен расчет освещенности рабочего места оператора, даны рекомендации по организации рабочего места оператора ПЭВМ.

Рассчитана величина затрат на разработку обучающей программы, показаны пути сокращения затрат: исходная сумма затрат 5 миллионов 639 тысяч рублей, конечная сумма затрат 177 тысяч 600 рублей.

99

Выводы. Стр.

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке ZOMBIE