ZOMBIE / PEFERAT

Реферат

Обучающая программа, математическое моделирование, эпитаксия кремния, газофазные процессы.

Работа посвящена разработке обучающей программы «Газофазные процессы эпитаксии кремния», отражающей наиболее актуальные проблемы эпитаксиальной технологии:

• Термодинамический анализ системы Si-Cl-H,

• Изучение влияния режимов процесса на микроморфологию эпитаксиальных структур,

• Изучение явления автолегирования,

• Особенности локальной эпитаксии кремния.

Разработана библиотека математических функций, библиотека функций мыши, библиотека графических функций, пользовательский интерфейс, математическая модель, визуализирован характер изменения профиля легирующих примесей, визуализированы результаты процесса кристаллизации на частично-маскированой поверхности, сформирован банк микрофотографий, отражающих характер влияния режимов процесса на кристаллическое совершенство эпитаксиальных структур. Предложены новые решения для системы уравнений термодинамического анализа, для моделирования локальной эпитаксии.

Проанализированы способы обеспечения производственно-экологической безопасности при работе оператора ЭВМ.

Произведен расчет затрат на создание и использование этого программного продукта.

20 рисунков, 19 таблиц, 43 источника.