Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
29
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
489.98 Кб
Скачать

3.4 Результаты исследований.

Испытания проводили для десяти партий пластин 150КДБ12(100) по 12 пар пластин в каждой партии, таким образом при испытании было обработано 240 пластин. На верхний и нижний полировальные столы наклеивалось полировальное полотно SUBA-IV (фирмы “RODEL”), в качестве полировального состава использовалась золь Nalko2354, разбавленная деионизованной водой в соотношении 1:30. При проведении процессов ХМП использовались выбранные технологические режимы (см гл 3.2).

После проведения были измерены геометрические параметры пластин на установке ULTRAGAGE 9500 (ADE). Геометрические параметры для 77 пластин приведены в табл.6.

Из графиков на рис. 15 видно, что при двухсторонней обработке пластин, их макрогеометрические параметры, в частности TIR и TTV, получаются более совершенными по сравнению с односторонней обработкой.

Таблица №6

Геометрические параметры пластин

Class

Cen.THK мкм

TTV, мкм

TIR, мкм

STIR, мкм

STIR,%

Bow, мкм

Warp, мкм

1

0-oth

682,77

2,08

1,58

0,92

95,80

20,97

24,80

2

0-oth

686,47

1,86

1,57

0,90

91,70

17,55

20,23

3

0-oth

682,41

2,06

1,38

0,88

95,80

-3,18

12,75

4

0-oth

683,36

2,08

1,37

0,86

91,70

21,68

22,11

5

0-oth

686,74

1,92

1,53

0,82

95,80

29,02

35,78

6

0-oth

684,20

1,49

1,24

0,91

95,80

-14,83

33,37

7

0-oth

683,38

1,85

1,34

0,83

95,80

-8,76

11,96

8

0-oth

686,07

1,69

1,57

0,89

91,70

21,43

25,77

9

0-oth

683,89

3,77

3,66

2,90

83,30

-11,82

30,01

10

0-oth

682,96

4,22

4,10

3,38

83,30

-21,18

23,98

11

0-oth

682,31

2,12

1,56

0,91

83,30

18,34

22,42

12

0-oth

677,55

2,19

2,41

1,94

79,20

1,28

7,00

13

0-oth

682,54

2,21

1,70

0,98

79,20

-18,49

20,31

14

0-oth

679,33

1,83

1,84

1,09

75,00

-8,54

15,75

15

0-oth

680,34

1,91

1,58

0,85

91,70

24,98

26,58

16

0-oth

678,69

1,47

1,33

0,80

95,80

16,75

21,08

17

0-oth

680,38

1,74

1,80

0,91

95,80

-5,51

16,83

18

0-oth

686,67

1,83

1,21

0,85

95,80

18,16

28,57

19

0-oth

683,16

1,74

1,48

0,83

91,70

18,00

21,19

20

0-oth

687,33

1,43

1,21

0,84

95,80

-7,78

16,37

21

0-oth

687,52

1,63

1,43

0,85

95,80

-13,00

18,14

22

0-oth

680,82

1,86

0,99

0,58

100,00

16,67

19,07

23

0-oth

679,04

1,64

1,21

0,75

100,00

-27,50

36,02

24

0-oth

679,80

1,40

1,04

0,67

100,00

-15,92

22,70

25

0-oth

678,11

1,82

1,76

0,83

95,80

18,01

32,26

26

0-oth

670,88

2,25

2,20

1,00

98,10

1,57

16,71

27

0-oth

673,14

2,20

2,10

0,98

100,00

-14,23

33,63

28

0-oth

672,62

3,16

3,06

2,41

94,20

-33,52

34,72

29

0-oth

676,25

2,29

1,83

1,55

94,23

25,12

23,50

30

0-oth

670,85

2,82

2,80

1,88

96,20

36,80

37,80

31

0-oth

669,05

12,99

6,60

6,20

92,31

23,78

32,10

32

0-oth

672,18

1,24

1,22

0,69

100,00

27,40

36,67

33

0-oth

670,89

1,95

1,53

1,12

96,20

1,13

7,25

34

0-oth

669,89

1,54

1,05

0,52

100,00

0,23

7,14

35

0-oth

674,29

2,42

1,58

0,82

100,00

2,51

10,58

36

0-oth

672,59

1,81

1,20

0,48

100,00

11,96

21,80

37

0-oth

671,54

2,10

1,41

1,08

98,10

-6,97

16,30

38

0-oth

672,97

2,70

2,36

1,55

80,80

24,33

32,96

39

0-oth

671,16

2,75

2,31

1,69

82,70

10,12

19,87

40

0-oth

671,05

3,00

1,85

1,18

98,10

12,15

25,44

41

0-oth

670,91

1,60

1,78

1,31

96,20

12,82

31,84

42

0-oth

672,55

2,23

1,92

1,47

94,20

-5,11

27,51

43

0-oth

672,12

2,00

1,89

0,97

100,00

-12,58

26,41

44

0-oth

670,66

1,96

1,68

1,23

98,10

29,84

36,43

45

0-oth

676,97

2,78

1,28

0,49

100,00

-15,42

23,45

46

0-oth

671,74

1,98

1,45

0,73

100,00

10,14

22,45

47

0-oth

671,98

2,07

1,66

0,87

100,00

-10,50

29,19

48

0-oth

674,18

1,67

1,67

1,19

96,20

20,33

26,02

49

0-oth

672,29

2,42

1,90

0,93

100,00

6,56

15,53

50

0-oth

669,96

4,44

4,22

3,00

90,40

11,82

21,64

51

0-oth

672,63

2,51

2,28

1,78

92,30

31,21

31,94

52

0-oth

671,87

1,89

1,69

0,98

100,00

5,38

10,60

53

0-oth

660.32

2,09

0,87

0,59

100,00

12,35

21,12

54

0-oth

687,95

3,49

2,25

1,80

92,30

1,18

48,59

55

0-oth

686,66

3,23

1,46

0,65

100,00

6,16

58,54

56

0-oth

688,11

3,42

1,52

0,84

100,00

12,58

71,34

57

0-oth

684,06

2,02

1,30

0,57

100,00

-4,81

57,03

58

0-oth

682,95

3,77

3,07

0,94

100,00

2,53

38,91

59

0-oth

684,22

3,65

1,11

0,53

100,00

-1,10

41,11

60

0-oth

683,40

2,46

1,33

0,90

100,00

4,31

37,51

61

0-oth

685,07

2,12

1,40

0,73

100,00

4,57

36,46

62

0-oth

681,57

1,84

1,30

0,77

100,00

-1,89

45,00

63

0-oth

688,98

4,14

1,65

1,31

98,10

3,33

54,19

64

0-oth

688,41

3,30

1,41

0,69

100,00

1,35

46,29

65

0-oth

692,56

2,73

1,74

0,86

100,00

6,06

57,76

66

0-oth

687,95

3,49

2,25

1,80

92,30

1,18

48,59

67

0-oth

686,66

3,23

1,46

0,65

100,00

6,16

58,54

68

0-oth

688,11

3,42

1,52

0,84

100,00

12,58

71,34

69

0-oth

684,06

2,02

1,30

0,57

100,00

-4,81

57,03

70

0-oth

682,95

3,77

3,07

0,94

100,00

2,53

38,91

71

0-oth

684,22

3,65

1,11

0,53

100,00

-1,10

41,11

72

0-oth

683,40

2,46

1,33

0,90

100,00

4,31

37,51

73

0-oth

685,07

2,12

1,40

0,73

100,00

4,57

36,46

74

0-oth

681,57

1,84

1,30

0,77

100,00

-1,89

45,00

75

0-oth

688,98

4,14

1,65

1,31

98,10

3,33

54,19

76

0-oth

688,41

3,30

1,41

0,69

100,00

1,35

46,29

77

0-oth

692,56

2,73

1,74

0,86

100,00

6,06

57,76

19

Соседние файлы в папке polirovka