- •Глава 3. Разработка технологии одностороннего хмп пластин кремния на станке 16в4р
- •3.1 Методика подготовки станка к проведению технологических процессов хмп.
- •3.2 Выбор схемы обработки и подбор технологических режимов.
- •Количество пар пластин, 6
- •3.3 Методика проведения процессов хмп.
- •1. Склеивание пластин кремния.
- •Порядок проведения процесса химико-механического полирования на станке 16в4р.
- •3.4 Результаты исследований.
- •Геометрические параметры пластин
Какую работу нужно написать?
3.4 Результаты исследований.
Испытания проводили для десяти партий пластин 150КДБ12(100) по 12 пар пластин в каждой партии, таким образом при испытании было обработано 240 пластин. На верхний и нижний полировальные столы наклеивалось полировальное полотно SUBA-IV (фирмы “RODEL”), в качестве полировального состава использовалась золь Nalko2354, разбавленная деионизованной водой в соотношении 1:30. При проведении процессов ХМП использовались выбранные технологические режимы (см гл 3.2).
После проведения были измерены геометрические параметры пластин на установке ULTRAGAGE 9500 (ADE). Геометрические параметры для 77 пластин приведены в табл.6.
Из графиков на рис. 15 видно, что при двухсторонней обработке пластин, их макрогеометрические параметры, в частности TIR и TTV, получаются более совершенными по сравнению с односторонней обработкой.
Таблица №6
Геометрические параметры пластин
|
№ |
Class |
Cen.THK мкм |
TTV, мкм |
TIR, мкм |
STIR, мкм |
STIR,% |
Bow, мкм |
Warp, мкм |
|
1 |
0-oth |
682,77 |
2,08 |
1,58 |
0,92 |
95,80 |
20,97 |
24,80 |
|
2 |
0-oth |
686,47 |
1,86 |
1,57 |
0,90 |
91,70 |
17,55 |
20,23 |
|
3 |
0-oth |
682,41 |
2,06 |
1,38 |
0,88 |
95,80 |
-3,18 |
12,75 |
|
4 |
0-oth |
683,36 |
2,08 |
1,37 |
0,86 |
91,70 |
21,68 |
22,11 |
|
5 |
0-oth |
686,74 |
1,92 |
1,53 |
0,82 |
95,80 |
29,02 |
35,78 |
|
6 |
0-oth |
684,20 |
1,49 |
1,24 |
0,91 |
95,80 |
-14,83 |
33,37 |
|
7 |
0-oth |
683,38 |
1,85 |
1,34 |
0,83 |
95,80 |
-8,76 |
11,96 |
|
8 |
0-oth |
686,07 |
1,69 |
1,57 |
0,89 |
91,70 |
21,43 |
25,77 |
|
9 |
0-oth |
683,89 |
3,77 |
3,66 |
2,90 |
83,30 |
-11,82 |
30,01 |
|
10 |
0-oth |
682,96 |
4,22 |
4,10 |
3,38 |
83,30 |
-21,18 |
23,98 |
|
11 |
0-oth |
682,31 |
2,12 |
1,56 |
0,91 |
83,30 |
18,34 |
22,42 |
|
12 |
0-oth |
677,55 |
2,19 |
2,41 |
1,94 |
79,20 |
1,28 |
7,00 |
|
13 |
0-oth |
682,54 |
2,21 |
1,70 |
0,98 |
79,20 |
-18,49 |
20,31 |
|
14 |
0-oth |
679,33 |
1,83 |
1,84 |
1,09 |
75,00 |
-8,54 |
15,75 |
|
15 |
0-oth |
680,34 |
1,91 |
1,58 |
0,85 |
91,70 |
24,98 |
26,58 |
|
16 |
0-oth |
678,69 |
1,47 |
1,33 |
0,80 |
95,80 |
16,75 |
21,08 |
|
17 |
0-oth |
680,38 |
1,74 |
1,80 |
0,91 |
95,80 |
-5,51 |
16,83 |
|
18 |
0-oth |
686,67 |
1,83 |
1,21 |
0,85 |
95,80 |
18,16 |
28,57 |
|
19 |
0-oth |
683,16 |
1,74 |
1,48 |
0,83 |
91,70 |
18,00 |
21,19 |
|
20 |
0-oth |
687,33 |
1,43 |
1,21 |
0,84 |
95,80 |
-7,78 |
16,37 |
|
21 |
0-oth |
687,52 |
1,63 |
1,43 |
0,85 |
95,80 |
-13,00 |
18,14 |
|
22 |
0-oth |
680,82 |
1,86 |
0,99 |
0,58 |
100,00 |
16,67 |
19,07 |
|
23 |
0-oth |
679,04 |
1,64 |
1,21 |
0,75 |
100,00 |
-27,50 |
36,02 |
|
24 |
0-oth |
679,80 |
1,40 |
1,04 |
0,67 |
100,00 |
-15,92 |
22,70 |
|
25 |
0-oth |
678,11 |
1,82 |
1,76 |
0,83 |
95,80 |
18,01 |
32,26 |
|
26 |
0-oth |
670,88 |
2,25 |
2,20 |
1,00 |
98,10 |
1,57 |
16,71 |
|
27 |
0-oth |
673,14 |
2,20 |
2,10 |
0,98 |
100,00 |
-14,23 |
33,63 |
|
28 |
0-oth |
672,62 |
3,16 |
3,06 |
2,41 |
94,20 |
-33,52 |
34,72 |
|
29 |
0-oth |
676,25 |
2,29 |
1,83 |
1,55 |
94,23 |
25,12 |
23,50 |
|
30 |
0-oth |
670,85 |
2,82 |
2,80 |
1,88 |
96,20 |
36,80 |
37,80 |
|
31 |
0-oth |
669,05 |
12,99 |
6,60 |
6,20 |
92,31 |
23,78 |
32,10 |
|
32 |
0-oth |
672,18 |
1,24 |
1,22 |
0,69 |
100,00 |
27,40 |
36,67 |
|
33 |
0-oth |
670,89 |
1,95 |
1,53 |
1,12 |
96,20 |
1,13 |
7,25 |
|
34 |
0-oth |
669,89 |
1,54 |
1,05 |
0,52 |
100,00 |
0,23 |
7,14 |
|
35 |
0-oth |
674,29 |
2,42 |
1,58 |
0,82 |
100,00 |
2,51 |
10,58 |
|
36 |
0-oth |
672,59 |
1,81 |
1,20 |
0,48 |
100,00 |
11,96 |
21,80 |
|
37 |
0-oth |
671,54 |
2,10 |
1,41 |
1,08 |
98,10 |
-6,97 |
16,30 |
|
38 |
0-oth |
672,97 |
2,70 |
2,36 |
1,55 |
80,80 |
24,33 |
32,96 |
|
39 |
0-oth |
671,16 |
2,75 |
2,31 |
1,69 |
82,70 |
10,12 |
19,87 |
|
40 |
0-oth |
671,05 |
3,00 |
1,85 |
1,18 |
98,10 |
12,15 |
25,44 |
|
41 |
0-oth |
670,91 |
1,60 |
1,78 |
1,31 |
96,20 |
12,82 |
31,84 |
|
42 |
0-oth |
672,55 |
2,23 |
1,92 |
1,47 |
94,20 |
-5,11 |
27,51 |
|
43 |
0-oth |
672,12 |
2,00 |
1,89 |
0,97 |
100,00 |
-12,58 |
26,41 |
|
44 |
0-oth |
670,66 |
1,96 |
1,68 |
1,23 |
98,10 |
29,84 |
36,43 |
|
45 |
0-oth |
676,97 |
2,78 |
1,28 |
0,49 |
100,00 |
-15,42 |
23,45 |
|
46 |
0-oth |
671,74 |
1,98 |
1,45 |
0,73 |
100,00 |
10,14 |
22,45 |
|
47 |
0-oth |
671,98 |
2,07 |
1,66 |
0,87 |
100,00 |
-10,50 |
29,19 |
|
48 |
0-oth |
674,18 |
1,67 |
1,67 |
1,19 |
96,20 |
20,33 |
26,02 |
|
49 |
0-oth |
672,29 |
2,42 |
1,90 |
0,93 |
100,00 |
6,56 |
15,53 |
|
50 |
0-oth |
669,96 |
4,44 |
4,22 |
3,00 |
90,40 |
11,82 |
21,64 |
|
51 |
0-oth |
672,63 |
2,51 |
2,28 |
1,78 |
92,30 |
31,21 |
31,94 |
|
52 |
0-oth |
671,87 |
1,89 |
1,69 |
0,98 |
100,00 |
5,38 |
10,60 |
|
53 |
0-oth |
660.32 |
2,09 |
0,87 |
0,59 |
100,00 |
12,35 |
21,12 |
|
54 |
0-oth |
687,95 |
3,49 |
2,25 |
1,80 |
92,30 |
1,18 |
48,59 |
|
55 |
0-oth |
686,66 |
3,23 |
1,46 |
0,65 |
100,00 |
6,16 |
58,54 |
|
56 |
0-oth |
688,11 |
3,42 |
1,52 |
0,84 |
100,00 |
12,58 |
71,34 |
|
57 |
0-oth |
684,06 |
2,02 |
1,30 |
0,57 |
100,00 |
-4,81 |
57,03 |
|
58 |
0-oth |
682,95 |
3,77 |
3,07 |
0,94 |
100,00 |
2,53 |
38,91 |
|
59 |
0-oth |
684,22 |
3,65 |
1,11 |
0,53 |
100,00 |
-1,10 |
41,11 |
|
60 |
0-oth |
683,40 |
2,46 |
1,33 |
0,90 |
100,00 |
4,31 |
37,51 |
|
61 |
0-oth |
685,07 |
2,12 |
1,40 |
0,73 |
100,00 |
4,57 |
36,46 |
|
62 |
0-oth |
681,57 |
1,84 |
1,30 |
0,77 |
100,00 |
-1,89 |
45,00 |
|
63 |
0-oth |
688,98 |
4,14 |
1,65 |
1,31 |
98,10 |
3,33 |
54,19 |
|
64 |
0-oth |
688,41 |
3,30 |
1,41 |
0,69 |
100,00 |
1,35 |
46,29 |
|
65 |
0-oth |
692,56 |
2,73 |
1,74 |
0,86 |
100,00 |
6,06 |
57,76 |
|
66 |
0-oth |
687,95 |
3,49 |
2,25 |
1,80 |
92,30 |
1,18 |
48,59 |
|
67 |
0-oth |
686,66 |
3,23 |
1,46 |
0,65 |
100,00 |
6,16 |
58,54 |
|
68 |
0-oth |
688,11 |
3,42 |
1,52 |
0,84 |
100,00 |
12,58 |
71,34 |
|
69 |
0-oth |
684,06 |
2,02 |
1,30 |
0,57 |
100,00 |
-4,81 |
57,03 |
|
70 |
0-oth |
682,95 |
3,77 |
3,07 |
0,94 |
100,00 |
2,53 |
38,91 |
|
71 |
0-oth |
684,22 |
3,65 |
1,11 |
0,53 |
100,00 |
-1,10 |
41,11 |
|
72 |
0-oth |
683,40 |
2,46 |
1,33 |
0,90 |
100,00 |
4,31 |
37,51 |
|
73 |
0-oth |
685,07 |
2,12 |
1,40 |
0,73 |
100,00 |
4,57 |
36,46 |
|
74 |
0-oth |
681,57 |
1,84 |
1,30 |
0,77 |
100,00 |
-1,89 |
45,00 |
|
75 |
0-oth |
688,98 |
4,14 |
1,65 |
1,31 |
98,10 |
3,33 |
54,19 |
|
76 |
0-oth |
688,41 |
3,30 |
1,41 |
0,69 |
100,00 |
1,35 |
46,29 |
|
77 |
0-oth |
692,56 |
2,73 |
1,74 |
0,86 |
100,00 |
6,06 |
57,76 |