
Диплом Messir 2002г (отл) / polirovka / плакат №1
.docПараметры пластин кремния
|
Топологическая норма |
||
Параметры |
2.0 мкм |
1.0 – 0.8 мкм |
0.5 мкм |
1. Диаметр и его допуск, мм |
1000,5 |
1500,3 |
2000,2 |
2. Коробление, не более, мкм |
40 |
25 |
20 |
3. Локальная неплоскостность, не более, мкм, на участке:
|
2,0 --- |
1,2 0,8 |
--- 0,5 |
4. Качество поверхности (HAZE, ppm), не более, ат/см2 |
1,2 |
0,6 |
0,2 |
5. Неплоскостность (TIR), не более, мкм. |
|
|
|
6. Разнотолщинность (TTV), не более, мкм. |
|
|
|
Факторы операции полирования
Технологические факторы |
Кинематические факторы |
Динамические факторы |
Геометрические факторы |
1.Материалы пластины и полировальника
2. Вид рабочей жидкости полировальной суспензии
3.Величина рабочей нагрузки.
4.Температура в зоне полирования. |
1.Скорости вращения звеньев исполнительного механизма станка.
2. Линейные размеры звеньев исполнительного механизма станка. |
1.Закон изменения силы взаимодействия пластины и полировальника.
2.Амплитудно-частотные и фазо-частотные характеристики процесса обработки. |
1.Точность геометрической формы рабочей поверхности полировальника.
2.Соотношение линейных размеров обрабатываемых поверхностей пластины и полировальника. |