Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
25
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
43.52 Кб
Скачать

Параметры пластин кремния

Топологическая норма

Параметры

2.0 мкм

1.0 – 0.8 мкм

0.5 мкм

1. Диаметр и его допуск, мм

1000,5

1500,3

2000,2

2. Коробление, не более, мкм

40

25

20

3. Локальная неплоскостность, не более, мкм, на участке:

  • 10 х 10 мм

  • 20 х 20 мм

2,0

---

1,2

0,8

---

0,5

4. Качество поверхности (HAZE, ppm), не более, ат/см2

1,2

0,6

0,2

5. Неплоскостность (TIR), не более, мкм.

6. Разнотолщинность (TTV), не более, мкм.

Факторы операции полирования

Технологические факторы

Кинематические факторы

Динамические факторы

Геометрические факторы

1.Материалы пластины и полировальника

2. Вид рабочей жидкости полировальной суспензии

3.Величина рабочей нагрузки.

4.Температура в зоне полирования.

1.Скорости вращения звеньев исполнительного механизма станка.

2. Линейные размеры звеньев исполнительного механизма станка.

1.Закон изменения силы взаимодействия пластины и полировальника.

2.Амплитудно-частотные и фазо-частотные характеристики процесса обработки.

1.Точность геометрической формы рабочей поверхности полировальника.

2.Соотношение линейных размеров обрабатываемых поверхностей пластины и полировальника.

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке polirovka