Отзыв

на дипломный проект Труфанова Константина Валерьевича

“Разработка технологии двухстороннего химико-механического полирования на станке 16В4Р”.

Работа Труфанова К.В. посвящена решению проблем точной доводки пластин кремния для СБИС и разработке технологии

.

В последние годы в России был создан комплект оборудования и разработан регламент полирования пластин кремния для СБИС с топологической нормой 0,8 мкм.

Для выпуска пластин, потребляемых производством СБИС с топологической нормой 0.5-0.8 мкм, а также для повышения производительности необходимо обновление технологии химико-механического полирования (ХМП).

При выполнении работы Труфанов К.В. проявил способность к аналитическому рассмотрению результатов выполненных ранее опытно-конструкторских работ и литературных данных. Также он проявил себя грамотным специалистом, который не боится выдвигать свою точку зрения. Экспериментальной части его труда предшествовал подробный анализ влияния на формоизменение пластин кремния как процесса химико-механического полирования поверхности, так и особенностей различных типов оборудования, предназначенного для обработки пластин.

Достоинством этой работы является комплексный подход к решению задачи сохранения макрогеометрических параметров пластин в процессе удаления приповерхностного нарушенного слоя и улучшения макрогеометрических параметров пластин.

Технологическая разработка операции ХМП на станке двухсторонней полировки пластин позволила получить пластины с улучшенными макрогеометрическими параметрами, при сохранении микрогеометрических параметров.

Работая над проектом Труфанов К.В. оказал существенную помощь, принимая участие в доработке и испытании станка 16В4Р.