Диплом Messir 2002г (отл) / polirovka / Аннотация

Аннотация.

Данный дипломный проект посвящен исследованию операции химико-механического полирования. В работе были исследованы основные факторы и показатели процесса химико-механического полирования, был проведен анализ технологических особенностей одностороннего химико-механического полирования пластин кремния. Установлено, что на станках односторонней обработки пластин в данный момент невозможно получить пластины большого диаметра с параметрами, удовлетворяющими современным стандартам. Предложено полировать пластины на станках двухсторонней обработки пластин, в частности на станке 16В4Р. Т.к. станок изначально не предназначен для полирования кремниевых пластин, были предложены технологические решения, позволяющие использовать станок 16В4Р для полирования пластин кремния. Были проведены испытания. В результате испытаний установлено, что наилучшие предварительные результаты получаются с применением двухстороннего полирования склеенных между собой в единый пакет пластин.

В результате анализа производственных опасностей при работе на участке ХМП были выявлены опасные и вредные факторы, был также проведен расчет освещенности рабочего места. Было произведено экономическое обоснование эффективности перехода к двухсторонней обработке пластин.

В данном дипломном проекте содержится 98 страниц текста, 6 таблиц, 20 рисунков, 13 наименований цитированной литературы.